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[发明专利]一种蒸镀产线的挡板机构-CN202110407278.0有效
发明人：黄稳;廖良生;赵平;赵鹏鹏;胡淳;高永喜;顾婉莹;张敬娣;武启飞 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀产线的挡板机构，蒸镀产线包括多个蒸镀腔和流转卡夹，蒸镀腔内设置有蒸发组件及蒸镀通道，流转卡夹承载基片依次经过蒸镀通道上方进行蒸镀工作，挡板机构包括多个挡板组件，挡板组件对应所述蒸镀通道设置，所述挡板组件动态遮挡其所对应的所述蒸镀通道形成工作通道，所述工作通道与所述基片在蒸镀通道的暴露部分相匹配。本发明通过挡板组件形成工作通道，防止蒸镀腔中的蒸发源泄露出去，本发明可以有效的阻止在蒸镀的过程中材料从一个功能腔体到另一个功能腔体去，造成交叉污染。
一种蒸镀产线挡板机构

[发明专利]蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备-CN202011264184.4有效
发明人：廖良生;梁舰;陈晓;陈敏;武启飞 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。其中，所述蒸镀设备自动开关门控制方法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向密封腔室方向的压力F3；向密封腔室内充入惰性气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱，提高器件制备及封装的稳定性，避免密封腔室暴露于大气中。
设备自动开关门控方法开门装置

[发明专利]一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法-CN202011459627.5有效
发明人：廖良生;黄稳;武启飞;赵平;赵鹏鹏;胡淳;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法。其中蒸镀源供料装置包括蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头、蒸镀探头和控制模块，蒸镀组件包括用于蒸镀的工作位和用于预蒸的等候位，工作位和等候位上均设置有加热组件，坩埚置于加热组件内，位于等候位的加热组件能对其上的坩埚内的材料预蒸至预设蒸镀速率；驱动组件用于驱动工作位和等候位上的加热组件调换位置；预蒸探头用于检测等候位上材料的蒸镀速率；蒸镀探头用于检测工作位上材料的蒸镀速率；控制模块用于根据预设指令或操作指令控制蒸镀组件、驱动组件、预蒸探头或蒸镀探头执行预设动作。本发明的蒸镀组件能连续蒸镀，提高了蒸镀效率。
一种蒸镀源供料装置方法

[发明专利]一种测试装置-CN202110635211.2有效
发明人：赵平;胡淳;廖良生;武启飞;赵鹏鹏 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： G01R31/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种测试装置，包括恒流电源及与其串联连接的多个测试切换单元形成的回路，测试切换单元包括测试夹具，延时断开电路，及延时接通电路；延时断开电路与测试夹具串联构成测试线路；延时接通电路与测试线路并联；延时断开电路及延时接通电路上设置有检测元件，检测元件根据待测试器件工作状态控制延时断开电路延时断开测试夹具，并控制延时接通电路延时接通以短接测试线路；或检测元件根据待测试器件工作状态控制延时断开电路保持接通，控制延时接通电路保持断开。本发明的有益效果体现在：可以实现多路待检测器件均工作在恒电流模式中，采用一套恒流电源即实现了同时检测多路产品的需求，可靠性高，大大降低了成本。
一种测试装置

[发明专利]一种基于地理信息的森林和草原火灾风险评估系统-CN202211403553.2在审
发明人：王洪荣;严刚;王纪杰;武启飞;谢云;封伟;文登学 -专利权人：四川省林业和草原调查规划院（四川省林业和草原生态环境监测中心）
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G06Q10/0635 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于地理信息的森林和草原火灾风险评估系统，包括采集森林区域资源，气象，灾情数据信息，将采集的数据传输至所述模型构建系统，对建模后的数据分别进行危险性评估和风险评估，对危险性评估和风险评估进行数据量化后得到待检测区域的等级。本发明科学评估森林和草原危险性、减灾能力强弱，为森林和草原火灾的监测预警和重点隐患信息，为开展森林和草原火灾的监测预警和灾情评估提供数据支撑。
一种基于地理信息森林草原火灾风险评估系统

[发明专利]一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法-CN202011192434.8有效
发明人：廖良生;武启飞;高永喜;陈奇 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F16J15/06 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法。其中，所述腔体密封连接结构，包括第一对接法兰、第二对接法兰、密封圈和压条，第一对接法兰和第二对接法兰分别设置在两个腔室腔室相对的一端，一个腔室的第一对接法兰能够与另一个腔室的第二对接法兰固定连接；第一对接法兰内圈凹陷形成有台阶，台阶的侧壁与第二对接法兰形成密封槽；密封圈设置在密封槽中，且位于第一对接法兰和第二对接法兰的对接处；压条设置在密封槽中，用于压紧密封圈。该腔体密封连接结构，便于腔室的密封连接，且在更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，作业效率高，节约时间及成本。
一种密封连接结构镀膜生产线组装方法

[发明专利]一种林地保护利用规划指标确定系统、云平台系统及方法-CN202111354016.9有效
发明人：高飞;李娜娜;宋放;曹浒;武启飞;曾念念 -专利权人：四川省林业和草原调查规划院（四川省林业和草原生态环境监测中心）
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种林地保护利用规划指标确定系统、云平台系统及方法，通过在云平台的云服务端和云客户端分别部署云服务端应用系统和云客户端应用系统，通过上级用户和下级用户共同配置维护和共享使用预案条件、预案和指标体系，执行上级共享数据库创建和预案配置，下级数据库初始化、配置和上报，指标体系对比审查和反馈三个流程的林地保护利用规划指标确定方法，实现下级林地保护利用规划指标确定工作透明化，上级指导快速落实执行，效果可检验，大幅降低工作技术要求，确保各级林地保护利用规划指标确定工作和规划指标数据交流的高畅通性和高时效性。
一种林地保护利用规划指标确定系统平台方法

[发明专利]一种基片架结构及真空蒸镀装置-CN202010699022.7有效
发明人：黄稳;张敬娣;梁舰;宋祥慧;陈敏;顾婉莹;武启飞;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及真空蒸镀技术领域，公开一种基片架结构及真空蒸镀装置。其中基片架结构包括设置有冷却水缓冲区的基片架以及与冷却水缓冲区连通的水管和第一水口，还包括由靠近至远离基片架的方向依次套设于水管上的第一磁流体和第二磁流体；第一磁流体包括第一内管和第一外管，第二磁流体包括第二内管和第二外管，第一内管与基片架和第二外管连接，且第一内管能够沿进水管的轴线转动；第二内管的内壁与水管的外壁围成水通路，水通路一端与冷却水缓冲区连通，另一端与第一水口连通。本发明通过增设第二磁流体，一方面增加了密封效果，另一方面解决了密封圈在旋转时被磨损的问题，减少了基片架结构的维修次数，节约维修成本，增加了使用寿命。
一种基片架结构真空装置

[实用新型]一种蒸镀装置及其冷却组件-CN202123381002.4有效
发明人： 武启飞;高永喜;陈敏;张敬娣 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀装置及其冷却组件，包括用于传导热量的导热板，所述导热板的内部设有用于流通冷却介质的流体通道，所述冷却组件还包括用于向所述流体通道内接入冷却介质的第一入口接头、用于向所述流体通道内接入压缩空气的第二入口接头以及用于将所述流体通道内的流体接出的出口接头。在蒸镀装置停止蒸镀工作后，向流体通道内通入冷却介质，将蒸镀装置的热量快速带走，对蒸镀装置进行快速降温，在蒸镀装置进行蒸镀工作前，向流体通道内通入压缩空气，将流体通道内的冷却介质排空，不会造成设备异常，蒸镀装置的温度可以快速上升，在对蒸镀装置进行冷却和加热时均不需要移动导热板，节省了能源消耗。
一种装置及其冷却组件

[发明专利]一种聚热罩的束源结构-CN202010972947.4有效
发明人：黄稳;张敬娣;梁舰;武启飞;廖良生;顾婉莹;虞强龙;朱宏伟 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种聚热罩的束源结构，包括底座、螺旋设置于底座上的聚热罩，所述聚热罩的相邻螺旋层之间设置有层间隙，所述聚热罩外侧罩设有外罩，所述聚热罩内侧围置有加热组件。本发明的有益效果体现在：本发明的聚热罩呈螺旋一体置于底座上，且每一层之间互不连接，切断了径向的热传导。同时，通过在聚热罩上开设交错设置的开口，大大延长了热传导路径，结合加热丝的分布密度，以更好的提高对坩埚的加热效率。
一种聚热罩结构

[实用新型]一种联轴器及真空镀膜装置-CN202123168707.8有效
发明人： 武启飞;高永喜;陈敏;张敬娣 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种联轴器及真空镀膜装置，包括第一联轴头、第二联轴头和驱动组件；所述第二联轴头与第一联轴头相适配；所述驱动组件与第二联轴头连接并驱动第二联轴头往复运动，以使所述第二联轴头与第一联轴头相抵接；所述驱动组件驱动所述第二联轴头旋转，以实现第二联轴头插入至所述第一联轴头内并带动第一联轴头旋转。其能带动待镀膜的产品旋转，使待镀膜的产品位置发生变化，镀膜更均匀，且第二联轴头与第一联轴头之间在对接时具有一定容错性，便于脱合，无需手动操作，工作效率更高。
一种联轴器真空镀膜装置

[发明专利]一种电磁阀控制电路、膜厚仪控制方法及膜厚仪-CN202010231946.4有效
发明人：胡淳;赵平;武启飞;赵鹏鹏;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种电磁阀控制电路、膜厚仪控制方法及膜厚仪，该电路包括：储能单元的第一端接地，储能单元的第二端分别与主控电路的输出端和开关电路的控制端电连接，开关电路的输入端与电源端电连接，开关电路的输出端与电磁阀的控制端电连接；主控电路用于在上电状态下输出充电信号以给储能单元充电以及控制开关电路处于第一开关状态，还用于在掉电重启过程中控制其输出端悬浮以使储能单元存储的电荷控制开关电路保持第一开关状态；开关电路用于在第一开关状态时控制电磁阀处于第一磁阀模式。本发明中，主控电路掉电重启过程中，控制电磁阀维持上电状态的磁阀模式，不会发生掉电重启导致电磁阀误动作的问题。
一种电磁阀控制电路膜厚仪控制方法

[实用新型]一种钙钛矿器件蒸镀设备-CN202122404358.9有效
发明人：黄稳;高永喜;胡淳;徐飞;武启飞 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钙钛矿器件蒸镀设备，包括蒸镀腔体，所述蒸镀腔体内设有用于对基片进行蒸镀的多个蒸镀机构和用于带动基片经过多个所述蒸镀机构的流转机构，所述流转机构为往复传送机构，所述往复传送机构传送基片往复经过多个所述蒸镀机构。通过将流转机构设置为往复传送机构，流转机构可带动较大尺寸的基片往复扫描式蒸镀，实现大尺寸钙钛矿器件的蒸镀，流转机构可依次传送多片基片经过蒸镀机构进行蒸镀，实现钙钛矿器件的批量蒸镀。
一种钙钛矿器件设备

[发明专利]一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备-CN202010032067.9有效
发明人： 武启飞;高永喜;廖良生;梁舰;李涛;黄稳;虞强龙 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01M3/02 文献下载
摘要：本发明涉及真空测试技术领域，公开一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备。其中，真空封堵机构包括堵头、固定块和多个外径不同的套环。堵头包括封堵部和固定部，封堵部的直径大于通孔的直径，封堵部能够与真空腔壁的一侧贴合。套环能够套设在固定部上且能够可拆卸地卡设在通孔中。固定块能够与真空腔壁的另一侧贴合，固定部能够穿过固定块与紧固件可拆卸地固定连接，以使封堵部与真空腔壁紧密贴合并封堵通孔。本发明提供的真空封堵机构，只需针对通孔尺寸更换不同尺寸的套环，而无需更换不同尺寸的堵头，由于套环结构简单，更易加工，所以能够降低成本，另外通过套环卡设在通孔中，可以防止堵头发生侧向移动导致漏气，提高密封的可靠性。
一种真空封堵机构方法测试设备

[实用新型]一种热蒸发加热舟及应用其的蒸镀装置-CN202121550407.3有效
发明人：张敬娣;顾婉莹;胡淳;陈敏;武启飞;李文重 -专利权人：苏州方昇光电股份有限公司
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种热蒸发加热舟，包括舟体和加热件；所述舟体上设置有容纳坩埚的加热槽，所述加热槽呈U型；所述加热件设置有多个；多个所述加热件由上而下依次连接所述加热槽的侧壁，围设于所述加热槽的侧开口；多个所述加热件之间间隔设置；多个所述加热件工作时的加热温度由上而下依次减小以使加热槽的顶部温度高于底部温度。其对加热舟内的材料坩埚进行蒸镀时，能够实现加热舟内的热量分段，使材料坩埚的顶部温度高于底部温度，加热效率高，有效解决材料凝聚的问题。
一种蒸发加热应用装置

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