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- [实用新型]多功能喷砂机-CN201922420344.9有效
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张迅;易伟华;彭顺明;欧阳小园
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江西沃格光电股份有限公司
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2019-12-25
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2020-09-08
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B24C3/12
- 本实用新型公开了一种多功能喷砂机,包括用于对工件进行喷砂加工的喷砂装置、用于对工件进行清洗的喷淋装置、用于对工件进行风干的干燥装置、上料台、下料台和输送线,输送线位于上料台和下料台之间,用于运送工件依次经过喷砂装置、喷淋装置和干燥装置。该多功能喷砂机中,将上料台、喷砂装置、喷淋装置、干燥装置、下料台集中且依次布置在一条输送线上,从而构成了一体式结构,其占地面积小,有利于减少车间的空间浪费。而且,通过该多功能喷砂机,可对工件一次性完成输送、喷砂、喷淋和干燥等工序,不仅免去了不同工序之间的频繁搬运作业,减小了人工劳动强度,而且有助于提高加工效率,减少加工成本。
- 多功能喷砂机
- [发明专利]玻璃减薄设备及玻璃减薄方法-CN201410066425.2有效
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张迅;阳威;欧阳小园;易伟华
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江西沃格光电股份有限公司
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2014-02-26
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2017-01-11
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C03C15/00
- 本发明涉及一种玻璃减薄设备和玻璃减薄方法。玻璃减薄设备包括箱体和设置于箱体中的喷淋装置,箱体中设有依次排列的第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽、第四淋洗槽和干燥槽,喷淋装置包括分别位于第一淋洗槽、第一刻蚀槽、第二刻蚀槽、第三刻蚀槽、第二淋洗槽、第三淋洗槽和第四淋洗槽的槽底上方的第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管、第四喷淋管、第五喷淋管、第六喷淋管和第七喷淋管。使用上述玻璃减薄设备进行在不同的槽中进行喷淋洗涤和刻蚀的减薄方法能够避免浸泡式减薄法中的反应产物粘附于玻璃上的问题,并且依次经过第一刻蚀槽、第二刻蚀槽和第三刻蚀槽的三次刻蚀,避免浸泡式刻蚀不均匀的问题。
- 玻璃设备方法
- [实用新型]立式真空镀膜系统-CN201420233772.5有效
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张迅;阳威;欧阳小园;易伟华
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江西沃格光电股份有限公司
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2014-05-08
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2014-10-22
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C23C14/56
- 一种立式真空镀膜系统包括收容室、主管道、多个子管道及托盘。收容室开设有用于收容玻璃片的收容腔,收容室的底部侧壁上开设有多个抽气孔。多个子管道的一端分别与多个抽气孔连通。主管道包括用于与真空泵连通的第一主管道及第二主管道,第一主管道与第二主管道呈T形连接,第一主管道远离真空泵的一端与第二主管道的中部连通,第二主管道的一端与多个子管道的另一端连通。托盘设于第二主管道的另一端,托盘密封第二主管道的另一端。上述立式真空镀膜系统设计有多个抽气孔,多个抽气孔可将抽气气流进行分流。可以使玻璃保持相对平衡,能够防止玻璃发生较大的晃动,防止玻璃发生裂纹甚至破碎。
- 立式真空镀膜系统
- [实用新型]溅射靶-CN201420160844.8有效
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张迅;阳威;欧阳小园;易伟华
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江西沃格光电股份有限公司
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2014-04-03
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2014-10-22
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C23C14/34
- 一种溅射靶,包括靶材和背板,背板为长条状,背板包括多段依次连接的分背板,分背板与相邻分背板的连接处设置有连接面,且连接面的形状与相邻分背板的连接面的形状相适配;靶材为多块,靶材一一对应的粘贴在分背板上,且靶材的形状与分背板的形状相适配。上述溅射靶,背板包括多段相对较小的分背板,靶材和分背板一一对应,一个分背板粘贴一块靶材。更换时,只需要将快用完的靶材换掉,不仅节约了靶材,而且保证了靶材的均匀度,有助于提高溅镀的质量。分背板相连处设置相互匹配的连接面,可以防止溅射过程中溅镀原料随缝隙溅入到阴极背板上,影响到阴极的使用质量。
- 溅射
- [发明专利]磁控溅射镀膜系统-CN201410057887.8有效
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张迅;阳威;欧阳小园;易伟华
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江西沃格光电股份有限公司
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2014-02-20
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2014-05-28
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C23C14/35
- 本发明涉及一种磁控溅射镀膜系统,包括成直线式排列的进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射镀膜室、第二过渡室、第二缓冲室和出片室,溅射镀膜腔室包括依次连接的第一直流溅射室、第二直流溅射室、第三直流溅射室和第四直流溅射室,第一直流溅射室与第一过渡室连接,第四直流溅射室与第二过渡室连接,第一直流溅射室中设置有两个第一阴极靶,第二直流溅射室中设置有两个第二阴极靶,第三直流溅射室中设置有两个第三阴极靶,第四直流溅射室中设置有两个第四阴极靶。使用该磁控溅射镀膜系统进行镀膜,能够有效降低破片率并有利于镀制方阻较低的薄膜,满足on-cell镀膜工艺要求,提高生产良率。
- 磁控溅射镀膜系统
- [发明专利]磁控溅射镀膜系统-CN201410058054.3有效
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张迅;阳威;欧阳小园;易伟华
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江西沃格光电股份有限公司
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2014-02-20
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2014-05-21
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C23C14/35
- 本发明涉及一种磁控溅射镀膜系统,包括磁控溅射镀膜腔室,其特征在于,还包括设置于所述磁控溅射镀膜腔室中的三段式加热装置,所述三段式加热装置包括三段式加热器及热反射板,所述三段式加热器包括第一加热段、第二加热段和第三加热段,所述第一加热段、第二加热段和第三加热段均设置于所述热反射板上,所述第一加热段包括多个平行设置的第一加热管,所述第二加热段包括多个平行设置的第二加热管,所述第三加热段包括多个平行设置的第三加热管。包括第一加热段、第二加热段和第三加热段的三段式加热器产生的热量通过热发射板进行反射隔热,使得腔体受热较为均匀,腔体内温度分布较为均匀和稳定。
- 磁控溅射镀膜系统
- [实用新型]粘靶设备-CN201320241969.9有效
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阳威;张迅;彭顺明;欧阳小园;易伟华
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江西沃格光电科技有限公司
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2013-05-07
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2013-11-20
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C23C14/34
- 本实用新型涉及一种粘靶设备,包括加热台面和翻转型隔热装置,所述翻转型隔热装置旋转连接于所述加热台面的底部,所述加热台面设有固定孔,所述翻转型隔热装置上还安装有固定部,所述翻转型隔热装置通过所述固定部插入所述固定孔贴合于所述加热台面。上述粘靶设备,在加热台面底部安装有翻转型隔热装置,在粘靶作业完成后的降温过程中,将翻转型隔热装置翻转至脱离加热台面的状态,使得加热台面降温速度加快;当在粘靶作业的升温过程中,将翻转型隔热装置翻转至紧贴于加热台面的状态,达到隔热保温的效果,防止热量扩散,使得加热台面升温速度加快,同时节省电能,相比于传统的粘靶设备,上述粘靶设备有效提高了粘靶效率及电能节约。
- 设备
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