专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]形成封装结构的设备-CN202210171534.5在审
  • 詹凯钧;薛长荣;黄晖闵;林威宏;郑明达 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-02-24 - 2022-07-26 - H01L21/683
  • 本公开一些实施例提供一种形成封装结构的设备。所述设备包括用于接合第一封装部件和第二封装部件的加工腔室。所述设备还包括设置于加工腔室中的接合头。接合头包括与多个真空装置连通的多个真空管。所述设备还包括连接至接合头的喷嘴,配置以固持第二封装部件。喷嘴包括与真空管重叠的多个第一孔。喷嘴还包括偏离第一孔的多个第二孔,其中第二孔与第二封装部件的至少两边缘重叠。此外,所述设备包括设置于加工腔室中的吸盘座,且吸盘座是配置以固持和加热第一封装部件。
  • 形成封装结构设备
  • [发明专利]半导体装置的形成方法及半导体装置-CN202110047525.0在审
  • 吕文雄;黄晖闵;郑明达;林威宏;颜晨恩;刘旭伦 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2021-01-14 - 2021-07-20 - B81C1/00
  • 本公开实施例提供一种半导体装置的形成方法及半导体装置。半导体装置的形成方法包含将第一半导体基板的第一表面接合至第二半导体基板的第一表面,且在第一半导体基板的第一区中形成一空腔,其中形成空腔包括:供应钝化气体混合物,在空腔的底表面及多个侧壁上沉积钝化层,其中在钝化层的沉积时,钝化层在空腔的底表面上的沉积速率与钝化层在空腔的多个侧壁上的沉积速率相同;以及使用蚀刻气体蚀刻第一半导体基板的第一区,其中蚀刻气体是与钝化气体混合物同时供应,蚀刻第一半导体基板的第一区包括在垂直方向蚀刻的速率大于在水平方向蚀刻的速率。
  • 半导体装置形成方法

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