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- [发明专利]晶圆输送装置-CN202111620985.4在审
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杜马峰
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无锡邑文电子科技有限公司
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2021-12-27
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2022-03-29
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H01L21/687
- 本申请属于半导体加工技术领域，具体涉及一种晶圆输送装置。该输送装置包括升降机构、密封机构、固定设置的托盘以及用于支撑晶圆的顶针机构，其中，升降机构包括固定部以及具有沿直线往返移动的伸缩杆，托盘设置在升降机构的固定部的上方，升降机构的伸缩杆可活动地穿过托盘，顶针机构设置在托盘的上方，且，顶针机构连接在升降机构的伸缩杆的顶部上，密封机构包括支架以及波纹管，支架的两端分别连接在托盘和升降机构的固定部上，波纹管设置在支架内，波纹管的底端密封设置在升降机构的伸缩杆的周面上，波纹管的顶端密封设置在托盘的底部。本申请所提供的晶圆输送装置结构简单，密封性好，使用操控方便，可提高工作效率，具有很好的实用价值。
- 输送装置
- [实用新型]真空手指和晶圆传送系统-CN202122760135.6有效
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戴建波
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无锡邑文电子科技有限公司
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2021-11-11
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2022-03-15
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H01L21/677
- 本实用新型涉及半导体领域，具体而言，涉及一种真空手指和晶圆传送系统。真空手指包括第一支撑件、第二支撑件和标记件，第一支撑件和第二支撑件相对设置，且分别与标记件的相对的两端连接，第一支撑件相对远离标记件的一端设置有第一环形磨面凸起，第二支撑件相对远离标记件的一端均设置有第二环形磨面凸起，标记件上设置有第三环形磨面凸起，且第一环形磨面凸起、第二环形磨面凸起和第三环形磨面凸起呈三角形设置，以实现能够对晶圆进行固定。该真空手指能够改善稳定传输晶圆，并且能够减少晶圆传输过程中晶圆的接触面积，降低晶圆受到的应力，提升晶圆的质量。
- 真空手指传送系统
- [发明专利]一种半导体加工用机械手的校准治具-CN202110078094.4有效
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廖海涛
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无锡邑文电子科技有限公司
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2021-01-20
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2022-03-08
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H01L21/687
- 本发明涉及校准治具技术领域，具体涉及一种半导体加工用机械手的校准治具，包括底板和顶板，底板和顶板之间固定连接有导向柱，底板顶部中间安装有液压缸，液压缸顶部连接有升降板，升降板顶部中间活动安装有底座，底座顶部安装有治具本体，治具本体底部左右两侧均开设有横向定位槽，治具本体底部中间的前后两侧均开设有纵向定位槽，底座顶部左右两侧均固定有向上凸起的横向定位块，底座顶部中间的前后两侧均设置有向上凸起的纵向定位块，治具本体顶部铣有U型平面，导向柱外壁顶部套接套管，套管外壁一侧安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆另一端安装有侧边限位板，本发明降低了人为调节高度的不准确性，节省了时间，最大程度保证了校准效率。
- 一种半导体工用机械手校准
- [发明专利]一种基于腔体互联的沉积方法和沉积设备-CN202011629421.2有效
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廖海涛
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无锡邑文电子科技有限公司
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2020-12-30
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2022-02-15
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C23C16/54
- 本发明公开了一种基于腔体互联的沉积设备，包括真空调配平台(1)、至少二个反应腔室组(2)、加载腔体(3)、至少一个热型原子层沉积室(4)、至少一个预清洗腔室(5)、至少一个热处理腔室(6)和调配管理器(7)；所述反应腔室组(2)、加载腔体(3)、热型原子层沉积室(4)预清洗腔室(5)和热处理腔室(6)以环绕所述真空调配平台(1)的方式布置；所述自动输送机器人(8)和所述调配管理器(7)数据通信连接，所述自动输送机器人(8)用于在所述反应腔室组(2)、加载腔体(3)、热型原子层沉积室(4)、预清洗腔室(5)和热处理腔室(6)之间调配传输晶圆基体。本发明的采用磁悬浮制程扫描传感系统，实现上下浮动，从而更好的扫描到全面反应腔室，更好的监视相应的反应腔室。
- 一种基于腔体互联沉积方法设备
- [发明专利]一种碳化硅刻蚀工艺腔体装置及使用方法-CN202011446420.4有效
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廖海涛
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无锡邑文电子科技有限公司
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2020-12-11
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2021-12-31
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H01J37/32
- 本发明涉及碳化硅晶片刻蚀技术领域，具体涉及一种碳化硅刻蚀工艺腔体装置及使用方法，包括晶片定位环、边缘环、聚集环、静电盘及绝缘环，绝缘环的内部设置有下电极，下电极与外部的第一射频电源电性连接，绝缘环的顶端固定连接有下水盘，下水盘的上表面开设有环形槽，环形槽的内部设置有环形导热片，静电盘呈三层阶梯圆柱形，上层及中间阶梯圆柱的外壁共同套设有边缘环，边缘环的上表面固定有晶片定位环，下层阶梯圆柱的外壁套设有聚集环；本发明中碳化硅晶片能平整的贴附在静电盘上表面，最大程度降低了碳化硅晶片在工艺过程中所受机械外力影响，也进一步保证了整体良率；气体喷淋头也能往复循环转动，能有效防止刻蚀图形拐角处微沟槽的形成。
- 一种碳化硅刻蚀工艺装置使用方法
- [发明专利]自锁结构以及设备-CN202111260424.8有效
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石宇
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江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司
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2021-10-28
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2021-12-24
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H01L21/67
- 本申请涉及一种自锁结构以及设备。该自锁结构适用于第一模块和第二模块的锁定，该自锁结构的连接件的第一端可锁紧地设置在第一模块的第一通孔内，连接件的第二端可活动地设置在第二模块的第二通孔内，导向件固定设置在连接件的第二端，导向件的顶部高于连接件的顶部，导向件远离连接件的一端为导向面，导向面为斜面，导向面的顶端向连接件的方向延伸，导向件的顶部设置导向槽，锁止件的顶端设置在第三通孔的上端，锁止件的底端活动穿过第三通孔，锁止件的底端设置在第二通孔内，锁止件的底端可操作地遮挡导向槽或在导向槽中滑动。本申请能快速实现两个模块的锁定或者接触锁定，且可避免模块移动撞到维护人员的危险。
- 结构以及设备
- [实用新型]一种铰链组件-CN202120441025.0有效
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廖海涛
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无锡邑文电子科技有限公司
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2021-03-01
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2021-12-17
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E05D3/02
- 本实用新型涉及一种铰链组件，包括安装支架、转轴单元和转动单元，转动单元设置在安装支架中间，转轴单元的中心轴穿过安装支架和转动单元，安装支架包括左支架、右支架以及设置在左支架和右支架中间的横梁，左支架和右支架上均开设有允许中心轴穿过的孔槽，左支架和右支架的外端面设有圆柱形凸起，横梁与左右支架一体成形，横梁的中间位置处开设有过渡槽，过渡槽为矩形。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种具有缓冲和辅助抬升功能的铰链组件。
- 一种铰链组件
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