专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种自调平等离子增强化学气相沉积装置-CN202211154530.2有效
  • 戴建波;陆北源 - 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司
  • 2022-09-22 - 2023-02-03 - C23C16/46
  • 本发明公开了一种自调平等离子增强化学气相沉积装置,涉及半导体技术领域。该自调平等离子增强化学气相沉积装置包括沉积腔室、加热板和绝缘球。加热板和绝缘球均设置于沉积腔室内,沉积腔室具有一底板,底板与加热板平行间隔设置,绝缘球可滚动地设置于底板和加热板之间,加热板能够在绝缘球的作用下相对于底板自适应运动,以保证加热板位于水平面上。与现有技术相比,本发明提供的自调平等离子增强化学气相沉积装置由于采用了设置于沉积腔室内的加热板以及滚动设置于底板和加热板之间的绝缘球,所以能够在高温沉积过程中实现加热板的自动调平,以保证加热板的水平度,提高膜层沉积的均匀性,保证产品质量。
  • 一种自调平等离子增强化学沉积装置
  • [发明专利]一种密封机构及晶圆反应设备-CN202210531989.3有效
  • 戴建波;孙文彬;陆北源 - 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司
  • 2022-05-17 - 2022-08-12 - F16K1/00
  • 本发明公开了一种密封机构及晶圆反应设备,涉及半导体技术领域。该密封机构包括门体、机架、密封组件、弹性件、丝杆、驱动组件及检测装置,门体上贯穿设置有开口,弹性件、驱动组件及检测装置均设置于机架上,密封组件通过滚珠与丝杆配合,丝杆上设置有止挡件,弹性件用于正向抵持止挡件,驱动组件与丝杆传动连接,用于驱动丝杆转动,以带动密封组件正向运动至与门体贴合以封闭开口,驱动组件还用于在密封组件与门体贴合的情况下驱动丝杆继续转动,以使丝杆带动止挡件反向运动并压缩弹性件,检测装置用于检测丝杆的位置,驱动组件还用于在检测装置检测到丝杆反向运动至预设位置时停机。本发明提供的密封机构具有更高的密封精度,密封性能更佳。
  • 一种密封机构反应设备
  • [发明专利]晶圆真空顶升装置以及半导体设备-CN202111620910.6在审
  • 陆北源;孙文彬;林政勋;戴建波 - 无锡邑文电子科技有限公司
  • 2021-12-27 - 2022-03-29 - H01L21/683
  • 本申请属于半导体加工技术领域,具体涉及一种晶圆真空顶升装置以及半导体设备。该真空顶升装置包括升降机构、真空密封机构、底板以及用于支撑晶圆的顶针机构,升降机构包括固定部以及具有沿直线往返移动的伸缩部,真空密封机构包括端盖以及波纹管,端盖固定设置在升降机构的固定部的上方,升降机构的伸缩部密封穿过端盖的中部,波纹管的顶端密封连接在端盖的底部,波纹管的底端密封套装在升降机构的伸缩部的周面上,底板设置在端盖的上方,底板固定设置在升降机构的伸缩部的顶部,顶针机构设置在底板上。本申请结构简单,密封性好,使用操控方便,可提高工作效率,具有很好的实用价值。
  • 真空装置以及半导体设备
  • [实用新型]一种防水涂料施工机器人-CN202022188862.5有效
  • 吴坚;杨东进;秦海浪;陆北源;吴从杰 - 南通英赛智能装备有限公司
  • 2020-09-29 - 2021-09-14 - E01C19/45
  • 本实用新型公开一种防水涂料施工机器人,包括移动平台,移动平台上分别设置称重机构、高压齿轮泵和视觉安装支架,移动平台的前端设置挤出模具,称重机构上设置加热保温箱,加热保温箱外部设置第一加热板,加热保温箱通过设置输送管道与高压齿轮泵的输入端连通,高压齿轮泵的输出端通过输送管道于挤出模具连通,视觉安装支架上设置CCD相机,移动平台的底部设置差速动力轮,差速动力轮采用伺服电机驱动,移动平台的四角设置万向轮;还包括PLC控制系统和视觉检测系统。本实用新型可以极大的节约人工,也大大的提高了施工的进度,且在施工中更能够把握铺设的厚度,提高了质量,节约了原料。
  • 一种防水涂料施工机器人
  • [发明专利]一种防水涂料测试线-CN202011052413.6在审
  • 吴坚;秦海浪;杨东进;陆北源 - 南通英赛智能装备有限公司
  • 2020-09-29 - 2021-02-12 - B05C5/02
  • 本发明公开一种防水涂料测试线,包括轨道,所述轨道上设置平台,所述平台上设置行走电机,所述行走电机采用牵引的方式带动平台就行移动,所述平台上还分别设置加热保温箱、电控箱、高压齿轮泵和挤出模具,所述加热保温箱通过设置输送管道与高压齿轮泵的输入端连通,所述高压齿轮泵的输出端通过输送管道于挤出模具连通,所述挤出模具悬空设置在平台上,所述电控箱对行走电机、加热保温箱和高压齿轮泵进行电性连接。本发明结构紧凑合理,能够便于防水涂料施工机器人在调试过程在固定的轨道上测试,大大节约了资源,亦便于对物料的回收利用。
  • 一种防水涂料测试
  • [发明专利]一种防水涂料施工机器人-CN202011052445.6在审
  • 吴坚;杨东进;秦海浪;陆北源;吴从杰 - 南通英赛智能装备有限公司
  • 2020-09-29 - 2021-02-05 - E01C19/45
  • 本发明公开一种防水涂料施工机器人,包括移动平台,移动平台上分别设置称重机构、高压齿轮泵和视觉安装支架,移动平台的前端设置挤出模具,称重机构上设置加热保温箱,加热保温箱外部设置第一加热板,加热保温箱通过设置输送管道与高压齿轮泵的输入端连通,高压齿轮泵的输出端通过输送管道于挤出模具连通,视觉安装支架上设置CCD相机,移动平台的底部设置差速动力轮,差速动力轮采用伺服电机驱动,移动平台的四角设置万向轮;还包括PLC控制系统和视觉检测系统。本发明可以极大的节约人工,也大大的提高了施工的进度,且在施工中更能够把握铺设的厚度,提高了质量,节约了原料。
  • 一种防水涂料施工机器人

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