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[发明专利]一种LDI聚焦系统-CN202311060717.0在审
发明人：李显杰;徐广峰;卞钦巍;陈海巍 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种LDI聚焦系统，涉及直写曝光技术领域，该方法包括上位机、运动平台以及设置在运动平台上的对准相机、对准镜筒、光源和测距传感器。其中，对准镜筒的顶部与对准相机相接，对准镜筒的底部固定有光源，测距传感器固定在光源上；运动平台用于承载PCB并带动其沿z轴方向移动，测距传感器用于检测PCB相对于自身的距离。上位机与运动平台、对准相机和测距传感器连接，上位机根据测距传感器反馈的数据判定当前PCB的mark标记是否在对准镜筒的焦面内，不在则控制运动平台移动，直至对准相机重新聚焦到mark标记。解决了因板材曲翘或者机械结构形变导致的焦面不对的问题，满足PCB行业产能的要求。
一种 ldi 聚焦系统

[发明专利]一种用于先进封装的微米级光刻机及应用-CN202310702772.9在审
发明人：李显杰;徐彦文;徐广峰;陈海巍;王方江 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于先进封装的微米级光刻机及应用，属于曝光技术领域。本发明提供一种用于先进封装的微米级光刻机，包括安装在大理石底座上的运动控制平台和龙门、安装在所述运动控制平台上的吸附装置、安装在所述龙门的精对准系统和粗对准系统以及光路系统。本发明设置有粗对准系统和精对准系统组合，虽然对准时间变长，但是能够达到较高的微米级对准精度；利用位移传感器进行实时聚焦对准，能够确保得到准确的焦面，为后续曝光提供良好的效果；能够同时对两个工位的晶圆进行曝光，有效提高了产能效率；利用压电螺钉调节DMD的平面度和倾斜度，进一步减小了手动调节的误差。
一种用于先进封装微米光刻应用

[发明专利]一种LDI曝光机及其定位精度自动校准方法-CN202310699307.4在审
发明人：何基奎;徐广峰;徐彦文;陈海巍;王方江 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种LDI曝光机及其定位精度自动校准方法，属于曝光设备技术领域。所述平台包括：底座、直线导轨、对准相机A、对准相机B、对准相机C、吸盘、X轴光栅尺、Y轴光栅尺、X轴标定尺、Y轴标定尺、成像光路、上位机、运动控制器；本发明使用多排对准相机拼接标定尺的方式，使标定尺可校准远超过自身量程的运动范围；本发明无需专业人员携带贵重仪器到现场执行校准，在对准标定中就能发现并校准定位精度，无需客户端停机就能实现校准，极大地缩减了设备成本和人力成本，提升了设备生产的效率，减少了停机损失，且依靠算法计算得到的补偿值更准确，提高了产品的生产质量，可广泛应用于LDI平台的校准。
一种 ldi 曝光及其定位精度自动校准方法

[实用新型]一种疲劳试验设备-CN202223248178.7有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N3/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种疲劳试验设备，包括：底板，底板上固定安装有多个安装板，安装板上安装有游戏手柄本体；安装板上固定安装有液压缸，液压缸的伸缩端上固定连接有顶板，顶板的底部安装有安装杆，安装杆的底端固定安装有皮带轮，多个皮带轮之间传动连接有皮带，顶板的上部固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴与其中一个安装杆固定连接；皮带轮的底端固定安装有连接杆，连接杆的底端固定安装有用于套接遥杆的遥杆套筒，启动驱动电机进行转动，驱动电机带动其中一个皮带轮进行转动，皮带轮上的皮带带动其他皮带轮一起同步转动，从而能够对多个遥杆进行同时疲劳试验，检验效率高。
一种疲劳试验设备

[外观设计]晶圆级直写光刻机-CN202230808814.3有效
发明人：徐彦文;陈海巍;徐广峰;王方江 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆级直写光刻机。2.本外观设计产品的用途：适用于半导体晶圆的激光直写曝光。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
晶圆级直写光刻

[实用新型]一种含有拆装机构的热像仪-CN202223247334.8有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01J5/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种含有拆装机构的热像仪，包括热像仪本体和用于夹持固定的夹持组件，夹持组件设于热像仪本体的后侧；夹持组件包括设于热像仪本体后侧的连接件，连接件远离热像仪本体的一侧从下至上依次设有固定夹和活动夹，连接件的内腔设有能够带动活动夹上下移动的调节件，连接件上设有通孔，通孔的内腔设有能够锁止调节件的定位件；通过夹持组件的设置，整个拆装机构简单精巧，操作简单，有效减少热像仪本体的拆卸步骤，有效提高了热像仪本体的拆装便捷性，且在外界作用力的碰撞下夹持组件上的零部件不会出现松脱甚至掉落的现象，进一步地提高了热像仪本体安装的稳定性。
一种含有拆装机构热像仪

[实用新型]一种摇杆外设金属支架-CN202223178157.2有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： A63F13/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种摇杆外设金属支架，包括：用于安装遥杆的上支架板与下支架板，上支架板上开设有穿孔，下支架板上安装有电路板与遥杆，通过设置上支架板与下支架板，使得上支架板与下支架板进行连接，遥杆与电路板及轻触开关均安装在下支架板上，避免了轻触开关的受力安装，且上支架板与下支架板之间便于拆卸，便于对内部元件进行检修更换；支腿的安装减少下支架板与底板接触面积，下支架板可为铜板，具有良好的导热效果，能够对电路板进行散热，支腿使下支架板与底板之间产生散热腔，便于散热。
一种摇杆外设金属支架

[实用新型]一种数据连接器-CN202223483459.0有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01B11/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种数据连接器，包括：上部连接板，上部连接板上固定连接有若干个电极插头，电极插头的左侧固定连接有第一连接线，第一连接线的左侧连接有套筒，套筒的内部设有密封胶层；第二连接线，第二连接线的上部与套筒连接，第二连接线的下部固定连接有下部接头，下部接头的下部设有若干个金属插槽，通过第二连接线的内部设有屏蔽层，屏蔽层为铝塑复合层体，能够起到屏蔽电磁干扰的目的，第一填充层的外侧设有尼龙抗拉绳起到抗拉伸作用，增强了整体强度。
一种数据连接器

[实用新型]一种激光打标机的辅助设备-CN202223046976.1有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型公开一种激光打标机的辅助设备，包括；箱体，箱体上固定安装有高度尺，高度尺上活动安装有光纤激光器，光纤激光器一端固定安装有振镜，箱体外壁顶部固定安装有工作台，箱体内壁一侧固定安装有安装板，箱体上开设有第一通孔；电机，电机固定安装在安装板上，电机的转轴一端固定安装有第一齿轮，箱体内壁一侧固定安装有安装杆，安装杆一端转动安装有第二齿轮,第一齿轮和第二齿轮上均固定安装有连接杆。该激光打标机的辅助设备，通过罩体遮挡激光打标造成的火花，防止操作员在观察打标情况时，被打标造成的火花刺伤眼睛。两个罩体通过电机的转动，使罩体笼罩在工作台的上方，通过调节滑动块，能够防止罩体阻挡激光打标。
一种激光打标机辅助设备

[实用新型]一种强度检测装置-CN202222939695.2有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种强度检测装置，包括下底板和上网板，下底板与上网板之间设有伸缩件，上网板顶部的中心处安装有振动电机，上网板的底部设有用于按压手柄按键的按压件和用于摆动手柄摇杆的摆动件，摆动件上设有用于夹持摇杆的夹持件；通过转动旋钮，旋钮带动螺柱转动，最终使得两个夹板相背移动，即可将两个夹板打开，通过将待检测的游戏手柄置于下底板的顶部，再将夹持件对准摇杆的上方，并反向转动旋钮，最终使得两个夹板夹持在摇杆的顶端即可，该强度检测装置，只需转动通孔即可实现两个夹板同步相向或相背移动，减少了固定摇杆的操作步骤，进一步地降低了人工劳动强度，从而有效提高了摇杆强度检测效率。
一种强度检测装置

[实用新型]一种摇杆底座-CN202223046518.8有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： A63F13/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种摇杆底座，包括：外部壳体，外部壳体的右上侧固定连接有若干个按键，外部壳体的后部连接有导线，导线上连接有USB接口，外部壳体的右侧开设有条形通孔，条形通孔的内侧粘接有防尘网；内部壳体，内部壳体的上部通过螺栓连接有顶板，通过外部壳体的右侧开设有条形通孔，条形通孔的内侧粘接有防尘网，能够起到散热和防尘的目的，内部壳体的后侧通过螺丝连接有检修门，检修门上固定连接有散热片，能够起到加强散热的目的，摇杆的下部通过螺纹连接有螺杆，在摇杆损坏时，方便进行拆修。
一种摇杆底座

[实用新型]一种调节机构-CN202222940224.3有效
发明人：伊利亚;曹彩南;雷宇霆;徐广峰 -专利权人：惠州市威科博电子科技有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调节机构，包括底座和用于检测游戏配件运行时热量特征的热像仪本体，底座和热像仪本体之间设有安装座，安装座上设有能够夹持固定热像仪本体的卡接件，安装座和底座之间从上至下依次设有用于左右角度调节的左右调角件和上下角度调节的上下调角件；通过在底座和安装座之间增设左右调角件和上下调角件，利用左右调角件能够实现热像仪本体的左右角度调节，利用上下调角件能够实现热像仪本体的上下角度调节，且能够对调节后的热像仪本体进行锁止作业，有效防止工作人员手滑或碰撞导致红外热像仪偏位的现象发生，进一步地提高了热像仪本体的使用灵活性与稳定性。
一种调节机构

[发明专利]一种曝光方法及曝光设备-CN202211512565.9在审
发明人： 徐广峰;钱文欢;陈海巍;王方江;钱聪 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光方法及曝光设备，属于印制电路板生产领域。本发明的曝光方法将分图数据处理与对准流程并行处理，有效地缩短了曝光时间；本发明可以将处理好的图片数据缓存于上位机或曝光系统中，同时本发明曝光设备的吸盘具备X轴、Y轴、Z轴及旋转轴四个方向的自由度，可以通过旋转和平移来校正PCB板的放板偏差，从而取代了分图系统中根据基板标记点对准结果对图形进行的旋转和平移处理，该过程减少了分图系统中图形处理耗时，进一步提升了设备产能，同时避免了在图形处理后横线变为小角度斜线带来的台阶状偏差问题，保证了曝光图形的解析精度，提升曝光品质。
一种曝光方法设备

[发明专利]一种新型的对准曝光系统-CN202211148531.6在审
发明人： 徐广峰;徐彦文;陈海魏;王方江;钱聪 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的对准曝光系统，属于曝光设备技术领域。本发明将对准组件和曝光组件设置于同一横梁上，在进行光刻时，对准组件和曝光组件固定不动，且曝光组件的成像中心和对准组件的视野中心在同一水平直线上，使对准区域和曝光区域重合，减少了现有光刻机运动平台从对准区域运动到曝光区域时，因导轨直线度问题而导致误差大的问题，进一步提高了精度；本发明还可以通过光路设计将曝光组件的成像中心和对准组件的视野中心重合，因此可以在同一横梁上安装更多的对准组件和曝光组件，从而增加光斑数量，减少曝光的扫描次数，提高产能，可以有效地缩小设备的体积，提升空间利用率。
一种新型对准曝光系统

[实用新型]一种双工位分区吸附系统及光刻机-CN202221625817.4有效
发明人：徐彦文;徐广峰;陈海巍;王方江 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双工位分区吸附系统及光刻机，属于曝光设备技术领域。本实用新型的一种双工位分区吸附系统，包括两个晶圆吸附区域，并且每个吸附区域可对不同尺寸的晶圆进行吸附，即该吸附系统可以同时放置两片同规格的晶圆，也可以放置两片不同规格的晶圆，在生产不同规格的晶圆时，无需更换吸附系统或者光刻机，既节约了时间和成本，又能够提升产能和保障设备的稳定性。本实用新型提供的一种光刻机，采用激光直接成像技术，通过将矢量图形转换成特定格式位图后通过空间光调制器投射到待曝光工件上，相较于传统光刻技术，无需制作掩膜或菲林片，不仅降低了成本，且工序简单，可适用于更精细的图形曝光。
一种双工分区吸附系统光刻

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