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[发明专利]半导体结构的形成方法及半导体结构-CN201910089714.7有效
发明人：周烽;毛格;胡凯;万先进 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体结构的形成方法及半导体结构。所述半导体结构的形成方法包括如下步骤：提供一介质层，所述介质层中具有沿垂直于所述介质层的方向贯穿所述介质层的通孔；活化所述通孔的侧壁表面，形成活性键合面；形成至少覆盖所述活性键合面且与所述活性键合面化学键合的扩散阻挡层。本发明增强了扩散阻挡层与通孔侧壁之间的粘附性，改善了半导体结构的性能。
半导体结构形成方法

[实用新型]挡屑组件及轴承套圈加工车床-CN202120248821.2有效
发明人：王春;周烽 -专利权人：浙江陀曼智能科技股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B23Q11/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种挡屑组件及轴承套圈加工车床，本实用新型提供的挡屑组件包括挡屑板、移动机构、支撑件和固定件，支撑件通过固定件固定于移动机构上，支撑件与挡屑板固定相连，则可通过移动机构驱动挡屑板移动的移动至车削工位，则在轴承套圈加工车床车削加工轴承套圈时，可利用挡屑板在轴承套圈加工车床之主轴机构的主轴处分隔形成车削加工区与接料区。这样，车削加工区产生的铁屑在挡屑板的阻挡作用下，既可防止车削加工区产生的铁屑飞溅至接料区的下料轨道上，有效防止轴承套圈在下料轨道上出现卡料而碰触损伤，又可缩短位于接料区的接料斗的运动行程，进而缩短接料斗接料的时间，从而提高轴承套圈加工车床加工轴承套圈的效率。
组件轴承加工车床

[实用新型]具有检测掉料或卡料功能的轴承套圈加工车床-CN202120248837.3有效
发明人：周烽;董张君 -专利权人：浙江陀曼智能科技股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有检测掉料或卡料功能的轴承套圈加工车床，该具有检测掉料或卡料功能的轴承套圈加工车床包括车床本体、接料装置、转速传感器、过料感应器和控制器，其通过设置带动该轴承套圈旋转的主轴机构和对主轴机构之主轴上的轴承套圈进行车削加工的车刀组件，并且在主轴机构上设有转速传感器，在接料装置的下料轨道上设有过料感应器。则在车刀组件对轴承套圈进行车削加工的过程中，若转速传感器监测到主轴的转速降低，且过料感应器感应到下料轨道的料道上有轴承套圈经过，控制器则可判断接料斗中出现掉料；若转速传感器监测到主轴的转速降低，且过料感应器感应到下料轨道的料道上无轴承套圈经过，控制器则可判断下料轨道发生卡料。
具有检测功能轴承加工车床

[实用新型]具有检测自动上料有无到位功能的轴承套圈加工车床-CN202120248854.7有效
发明人：周烽;王春 -专利权人：浙江陀曼智能科技股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有检测自动上料有无到位功能的轴承套圈加工车床，该具有检测自动上料有无到位功能的轴承套圈加工车床，通过设置对射式光电传感器，并将光电发射器与光电接收器分别设置于主轴机构的主轴的相对两侧。这样，在机械手每上料一次后，可根据对射的光线是否被隔断，及时判断主轴上的轴承套圈是否装夹成功，避免主轴长时间空转及车床处于空运行状态，从而可提高加工效率。而在机械手下一次上料前，仅需根据对射的光线是否被隔断，即可判断主轴上的轴承套圈是否及时掉落，避免在轴承套圈未落料的情形下，机械手自动上料而造成工件碰触损伤和造成机械手及夹头损坏，从而提高轴承套圈的加工质量和保证机床运行的安全可靠性。
具有检测自动有无到位功能轴承加工车床

[实用新型]具有检测主轴掉料功能的轴承套圈加工车床-CN202120248950.1有效
发明人：王春;周烽 -专利权人：浙江陀曼智能科技股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有检测主轴掉料功能的轴承套圈加工车床，该具有检测主轴掉料功能的轴承套圈加工车床包括车床本体、车削组件和掉料检测器，其通过在操作台上设置带动该轴承套圈旋转的主轴机构和带动车刀移动至车削工位并控制车刀对主轴机构上的轴承套圈车削加工进给量的拖板机构，并且在主轴机构上设有掉料检测器。则在车刀对主轴机构之主轴上的轴承套圈进行车削加工的过程中，若掉料检测器的掉料感应器感应到主轴上的轴承套圈发生掉落，控制器便可及时根据掉料感应器感应的信号控制具有检测主轴掉料功能的轴承套圈加工车床停止工作，并提醒工作人员及时作出相应处理，避免车床的主轴机构及车床长期空转运行，可提高轴承套圈的加工效率。
具有检测主轴功能轴承加工车床

[实用新型]具有检测掉料或卡料功能的轴承套圈加工车床-CN202120250735.5有效
发明人：周烽;董张君 -专利权人：浙江陀曼智能科技股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有检测掉料或卡料功能的轴承套圈加工车床，该具有检测掉料或卡料功能的轴承套圈加工车床包括车床本体、接料装置、转速传感器、过料检测装置和控制器，其通过设置带动轴承套圈旋转的主轴机构和对轴承套圈进行车削加工的车刀组件，并且在主轴机构上设有转速传感器，在接料装置的下料轨道上设有过料检测装置。则在车刀组件对轴承套圈进行车削加工的过程中，若转速传感器监测到主轴的转速降低，且过料检测装置检测到下料轨道的料道上有轴承套圈经过，控制器则可判断接料斗中出现掉料；若转速传感器监测到主轴的转速降低，且过料检测装置检测到下料轨道的料道上无轴承套圈经过，控制器则可判断下料轨道发生卡料。
具有检测功能轴承加工车床

[发明专利]一种控制系统及设计方法-CN201911269517.X有效
发明人：李强;周烽;王辉;王丽萍;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制系统及设计方法，输入器用于获取指示控制被控对象执行相应动作的输入信号、获取传感器返回的被控对象的输出信号以及计算输入信号和输出信号的差异量；第一增益器用于对输入信号和输出信号的差异量信号放大，其中对差异量信号的低频谐振频带部分放大的增益系数大于对其它频率部分放大的增益系数；控制器用于根据差异量信号进行闭环控制，以使得被控对象执行动作；传感器用于测量被控对象执行动作产生的输出信号。本控制系统通过对系统低频谐振频带部分以单独的增益进行放大，能够增大控制系统的开环增益，降低控制系统对干扰的响应，应用于位移平台能够降低位移平台控制系统对干扰的响应，提高位移平台的定位精度。
一种控制系统设计方法

[实用新型]一种便携式称重仪-CN202121394972.5有效
发明人：周烽 -专利权人：周烽
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01G19/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种便携式称重仪，其包括承载部件、至少两个压力传感装置和支撑部件，其中，承载部件具有承载车轮的承载面；所述压力传感装置连接于所述承载部件底面，支撑部件与所述压力传感装置数量对应并设于所述压力传感装置底面，所有所述支撑部件的底面平齐。此结构的便携式称重仪，使用时，直接将多个称重仪放置于待称重车辆的每个车轮前侧，所有车轮通过导坡或不通过导坡压上承载面，所有支撑部件的底面平齐接触地面，并稳定支撑上方的压力传感装置和承载部件，长时间使用后压力传感装置和承载部件不会掉落，可有效防止压力传感装置或承载部件晃动，保证称重准确性。
一种便携式称重

[发明专利]一种电动汽车安全防护检测装置-CN202010725347.8有效
发明人：周烽 -专利权人：周烽
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：本发明提供一种电动汽车安全防护检测装置，涉及安全检测装置领域，解决了在针对不同类型前桥检测调整时效率较低，且在调整的同时不能够实现滑动槽内残渣的清理；固定座的防滑凸起多为单向排列的条状结构，在拧紧固定螺栓后稳固性较差，且固定螺栓在拧紧后不能够实现自动闭锁；不能够在检测的同时实现自动标记的问题。一种电动汽车安全防护检测装置，包括主体板；所述主体板上滑动连接有两个限位检测座。因主体板底端面位于两条滑动槽内壁底端面均开设有一个清理孔，且清理孔的宽度与T形结构滑动槽顶部位置宽度相等，从而在保证限位检测座滑动的同时还能够保证掉落到滑动槽内残渣的自动清理。
一种电动汽车安全防护检测装置

[发明专利]薄膜沉积装置及3D存储器件的制造方法-CN202010342454.2有效
发明人：熊少游;周烽;程磊 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请公开了薄膜沉积装置及3D存储器件的制造方法。该薄膜沉积装置包括：外壳，所述外壳围绕内部腔室；将反应气体导入所述内部腔室的第一组进气管；将背面气体导入所述内部腔室的第二组进气管；位于所述内部腔室中的加热器和多个工艺站，所述多个工艺站位于所述加热器上，其中，在所述多个工艺站中，每个工艺站包括连接至所述第一组进气管至少之一的气体喷头，以及连接至所述第二组进气管至少之一的基座，所述气体喷头用于向晶片的正面提供反应气体，所述基座用于支撑晶片以及向晶片的背面提供背面气体。该薄膜沉积装置独立调节多个工艺站的反应气体和背面气体压力，以改善多个工艺站的气压平衡控制。
薄膜沉积装置存储器件制造方法

[发明专利]一种多自由度位移平台控制解耦方法及装置-CN201911268065.3有效
发明人：李强;周烽;王辉;王丽萍;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种多自由度位移平台控制解耦方法及装置，包括：随机生成M组电压向量Um，依次地根据各组电压向量向位移平台各个驱动部输入，以依次地根据各组电压向量驱动所述位移平台产生运动，相应获得位移平台的M组运动量向量Pm；根据M组电压向量Um以及M组运动量向量Pm，基于预设公式计算用于描述位移平台各个驱动部对位移平台各个自由度影响比例的第一矩阵K；根据第一矩阵K得到用于描述位移平台各个自由度产生单位运动量时各个驱动部输入关系的参数。本发明方法及装置实现了对多自由度位移平台各个自由度运动控制的解耦，能够解算出位移平台各个自由度产生单位运动量时各个驱动部的输入关系，解决了现有技术的问题。
一种自由度位移平台控制方法装置

[发明专利]一种CMM探针系统的标定方法及标定装置-CN202110696010.3在审
发明人：国鑫;王辉;周烽;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本申请提供的CMM探针系统的标定方法及装置，在所述探针工作平台上安装激光传感器，所述激光传感器出射的激光光束照准在所述探针的顶点处；在所述探针工作平台安装标准靶球，并通过调整三自由度运动平台，拟合出所述标准靶球位置；调整所述探针与所述标准靶球在不同方向触碰，使得所述激光传感器感知所述柔性片体的位移，以建立坐标变化方程组；通过最小二乘法拟合的方式，求解坐标变化方程中的坐标变换矩阵，进而得到所述探针在探测被测物体时的变形量，上述方法不必考虑探针球绝对位置以及方向，只需根据相对位置及方向确定被测物体的表面特征及几何特征，简化了标定复杂程度，可以有效的利用标准球测定探针的6个自由度位移变化，从而实现对测量坐标点测量，完成探针的快速标定工作。
一种 cmm 探针系统标定方法装置

[发明专利]一种动作捕捉系统中传感器的校准方法及装置-CN202110007732.3有效
发明人：李洪测;周烽;胡同杰;刘昊扬;戴若犁 -专利权人：北京诺亦腾科技有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： A61B5/11 文献下载
摘要：本公开涉及一种动作捕捉系统中传感器的校准方法及装置，包括：基于预设的定位标识生成具有标识号的校准区域；当穿戴有多个传感器的运动对象进入任一校准区域后，获取传感器的原始位置信息；根据各传感器的原始位置信息，确定传感器与运动对象的关键部位之间的对应关系；将校准区域的空间范围与原始位置信息进行匹配，并根据匹配结果将校准区域的标识号分配给传感器和/或运动对象；当具有标识号的运动对象处于指定姿势时，采集传感器的目标位置信息，并基于对应关系和目标位置信息，确定具有标识号的运动对象的初始参数；其中，初始参数用于输入给动作捕捉系统进行计算。本公开能够简化穿戴传感器的难度，降低初始参数的获取难度。
一种动作捕捉系统传感器校准方法装置

[发明专利]一种光学元件的温控装置-CN202110527853.0在审
发明人：王辉;周烽;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本申请属于光学元件面形热控制的技术领域，提供一种光学元件的热控制装置，包括检测单元、控制单元、热传导单元，所述检测单元用于检测光学元件的温度和变形，所述控制单元根据检测单元检测到的温度和变形信息，控制所述热传导单元进行温度控制。该温控装置本申请的光学元件的温控装置能够通过每个独立温控管温度的精确控制，实现光学元件的主动面形调整，补偿环境温度变化对光学元件面形的影响，实现光学元件超高面形精度保持。
一种光学元件温控装置

[发明专利]一种搅拌装置-CN202110567121.4在审
发明人：宋君;陈文义;谭剑;唐建武;王革新;谌荣华;周烽;杨磊;黄敏;刘志;彭超;张凌云;彭向东 -专利权人：中铁二十五局集团第三工程有限公司;中铁二十五局集团有限公司
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B28C5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种搅拌装置，包括搅拌驱动器和搅拌器，所述搅拌器包括连接所述搅拌器的动力输出端的连杆和设置在所述连杆末端的第一搅拌杆、第二搅拌杆，所述第二搅拌杆的两端设置有第四搅拌杆，所述第一搅拌杆的一端铰接所述连杆、另一端铰接第三搅拌杆，所述第三搅拌杆的末端铰接套设于所述连杆中段位置的调节部，所述调节部能够沿所述连杆的长度方向移动调节。本发明针对不同材质的抹灰料搅拌驱动器能够输出不同转速，使得搅拌后的抹灰料满足使用要求，保证搅拌效率，并且异形搅拌结构增大了搅拌装置与抹灰料的接触面积，能够进一步提高搅拌效率和搅拌质量。同时，通过调节部的移动调节，能够改变搅拌结构，使之与实际搅拌需求适配。
一种搅拌装置