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[发明专利]一种光刻机掩模台隔振装置-CN202111110725.2有效
发明人： 吴剑威;李昌其;赵鹏越;刘江;潘健生;赵博;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
一种光刻机掩模台隔振装置

[发明专利]一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法-CN202111110625.X有效
发明人：赵鹏越;王继尧;吴剑威;刘江;李昌其;王辉;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。
一种基于自由度控制运动及其方法

[实用新型]一种可以定量抽取的加样装置-CN202222705784.0有效
发明人： 吴剑威 -专利权人： 吴剑威
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及医学检验设备技术领域，具体为一种可以定量抽取的加样装置，包括底座，所述底座的顶部安装有固定环，所述固定环的后端安装有螺栓，所述螺栓的上方安装有调节扣，所述螺栓的下方安装有固定扣，所述底座的顶部右端安装有支撑柱，所述支撑柱的内部上端安装有电机，所述支撑柱的上方左端连接有固定座，所述固定座的底部安装有导轨，所述导轨上安装有滑块，本实用新型中，利用该装置中的导轨和抽样组件，可以实现抽样自动化的同时能够精准的抽取一定量的液体，解决了会影响检验数值，造成检验数值偏差的问题，以及利用该装置中固定环、螺栓和调节扣，可以将需要抽取的液体瓶和需要抽入的液体瓶进行固定，解决了会造成药液流出的问题。
一种可以定量抽取装置

[发明专利]一种反射镜架及反射装置-CN202111110520.4有效
发明人：赵鹏越;叶奕霄;吴剑威;李昌其;郑健;晏祯卓;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。
一种反射镜架装置

[实用新型]一种智能四足机械狗-CN202221587904.5有效
发明人：周燕茹;吴剑威;林鹏晖;苏凯臻 -专利权人：厦门理工学院
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B62D57/032 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种智能四足机械狗，包括：机身主体，包括底板、前护板、后护板，所述前护板的左右两端和后护板的左右两端分别设有连接部；两个电池固定盖，设于所述底板的顶面，两个所述电池固定盖的一端分别与所述前护板和后护板卯榫设置，另一端相向延伸并抵接形成凹字形的卡接槽；机身上盖，罩设于所述底板的上方，所述机身上盖的下端面设有与所述卡接槽相适配的卡接部，所述机身上盖的左右内侧壁上分别开设有卯槽；机身下盖，罩设于所述底板的下方，所述机身下盖包括前下盖和后下盖，所述前下盖和后下盖的左右外侧壁上分别设有与所述卯槽相适配的榫楞；四个腿部系统；传感组件；控制系统。
一种智能机械

[实用新型]按键及手机-CN202221944107.8有效
发明人：成福达;吴剑威;曾四海;吴广;叶国华;曾国强 -专利权人：广东博力威科技股份有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H04M1/23 文献下载
摘要：本申请提供一种按键以及手机。上述的按键包括按键壳、壳体以及PCB板，按键壳包括硬胶件以及软胶件，软胶件位于按键壳的中心，软胶件上形成有按压柱，硬胶件环绕软胶件设置，并与软胶件一体成型连接；壳体的顶部具有安装槽，安装槽用于容置按键壳，安装槽的底部的中心设置有连通孔，连通孔贯穿壳体，连通孔用于容置按压柱的至少部分；PCB板包括相互连接的板体以及开关，板体还与壳体的底部连接，开关与按压柱抵接。软胶件与硬胶件一体成型，以形成按键壳，将按键壳安装在壳体上即可组装成按键，使得按键的组装效率较快；而硬胶件与软胶件一体化连接时，二者连接处未生成缝隙，使得按键壳的防水效果较好。
按键手机

[发明专利]一种长行程准零刚度柔性导向机构-CN202111651845.3有效
发明人： 吴剑威;张银;李一帆;赵鹏越;晏祯卓 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
一种行程刚度柔性导向机构

[发明专利]一种光刻机掩模台隔振装置-CN202111110724.8有效
发明人： 吴剑威;李昌其;张银;晏祯卓;潘健生;赵鹏越;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
一种光刻机掩模台隔振装置

[发明专利]一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置-CN202111110721.4有效
发明人：赵鹏越;赵博;吴剑威;郑健;王继尧;晏祯卓;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
一种用于工作台方向运动装置

[实用新型]一种电池包防惯性前冲卡紧结构-CN202220064519.6有效
发明人： 吴剑威;曾四海;吴广;成福达;叶国华;张志平 -专利权人：广东博力威科技股份有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01M50/244 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电池包防惯性前冲卡紧结构，包括一支架主体，支架主体中部设有电池包装配位，且一端设有一电池上盖，支架主体上靠近电池上盖一端设有一顶块装配孔位，且还设有一与顶块装配孔位相垂直的旋转杆装配孔位，顶块装配孔位内设有一顶块，且顶块中部还设有一顶块芯孔，旋转杆装配孔位内穿设有一旋转杆，且旋转杆同时穿设于顶块芯孔内，电池上盖对应顶块位置还开设有一上盖卡槽，上盖卡槽与顶块相配合，本实用新型实现了对电池的锁紧，防止了惯性导致的前冲可能对电池包造成的损伤，同时摒弃用摩檫力阻碍电池包运动的方式，解决了外壳磨损影响电池外观的问题，且用户可通过旋转杆取出以及放入电池包，操作简单，用户体验极佳。
一种电池惯性前冲卡紧结构

[发明专利]一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置-CN202111541826.5有效
发明人： 吴剑威;叶奕霄;赵鹏越;晏祯卓;方锴 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。
一种基于轴承定心微型镜面组驱动装置

[发明专利]一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法-CN202111541828.4有效
发明人：赵鹏越;晏祯卓;吴剑威;李昌其;赵博 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题，本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元，同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中，利用真空泵和真空规管组成闭环系统，同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统，保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内，满足测试要求，同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统，相比于利用干涉仪的测量系统，简化了系统组成，进一步提高了测量精度。
一种复眼单元工作环境模拟性能评估系统及其使用方法

[发明专利]一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置-CN202111541834.X有效
发明人： 吴剑威;晏祯卓;叶奕霄;赵鹏越;张银 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
一种基于自由度柔性铰链微型阵列驱动装置

[发明专利]一种柔性二维导向机构-CN202111542240.0有效
发明人：赵鹏越;晏祯卓;吴剑威;赵博;潘健生 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
一种柔性二维导向机构

[发明专利]一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构-CN202111542258.0有效
发明人：赵鹏越;晏祯卓;方锴;吴剑威;郑健 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于柔性照明器的多连杆耦合两轴驱动机构，属于属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有多自由度驱动机构无法兼顾设备尺寸限制和调整范围，无法适用于光刻机设备的问题。它包括外壳、底座、第一连杆组、第二连杆组、连杆组悬架和球型铰链，所述底座设置在外壳内，所述球型铰链包括球头和球头座，所述球头与底座相连，所述球头座与球头铰接相连，所述球头座上端与光学元件相连，所述第一连杆组与底座相连，所述第二连杆组通过连杆组悬架在球头座上与第一连杆组耦合，第一连杆组和第二连杆组共同作用，实现驱动机构的多自由度输出。它主要用于柔性照明器的驱动。
一种用于柔性明器连杆耦合驱动机构

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