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[发明专利]一种光刻机掩模台隔振装置-CN202111110725.2有效
发明人：吴剑威;李昌其;赵鹏越;刘江;潘健生;赵博;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
一种光刻机掩模台隔振装置

[发明专利]一种光刻机掩模台隔振装置-CN202111110724.8有效
发明人：吴剑威;李昌其;张银;晏祯卓;潘健生;赵鹏越;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
一种光刻机掩模台隔振装置

[发明专利]一种柔性二维导向机构-CN202111542240.0有效
发明人：赵鹏越;晏祯卓;吴剑威;赵博;潘健生 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
一种柔性二维导向机构

[发明专利]一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置-CN202111542248.7有效
发明人：赵鹏越;晏祯卓;郑健;潘健生;李一帆 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。
一种基于拉线机构机械复眼旋转驱动装置

[发明专利]一种用于光刻机的隔振装置-CN202111109804.1有效
发明人：赵鹏越;赵博;吴剑威;李昌其;潘健生;张银;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻设备技术领域，公开了一种用于光刻机的隔振装置，其包括基座、隔振平台、悬挂部、第一隔振机构、第二隔振机构和控制器，控制器可控制第一隔振机构对外界环境传递到隔振平台的振动或隔振平台上其他部件产生的振动进行减振处理，使得隔振平台下的悬挂部受到的振动干扰最小化，为安装在悬挂部上的工件台提供稳定的外部工作环境，控制器可控制第二隔振机构对工件台自身产生的振动进行减振处理，从而维持内部工作环境的稳定，也即，第一隔振机构和第二隔振机构相配合，协同优化了悬挂部内部和外部的隔振效果，为光刻机工件台及整机提供了稳定的运作环境，提高了工件台的运动精度。
一种用于光刻装置

[发明专利]一种光刻机的微动平台-CN202111110624.5有效
发明人：吴剑威;刘海朝;赵鹏越;郑健;王继尧;潘健生;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。
一种光刻微动平台

[发明专利]一种提高核电大锻件冲击韧性的两步法回火工艺-CN201610741540.4有效
发明人：顾剑锋;韩利战;晏广华;李传维;潘健生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C21D1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高核电大锻件冲击韧性的两步法回火工艺，包括以下步骤：(1)将淬火后的核电大锻件加热至300‑450℃，保温；(2)再继续加热锻件至600‑660℃，保温，之后锻件随炉冷却，即完成。与现有技术相比，本发明采用两步法回火工艺处理后钢的冲击吸收功平均值达到100J左右，相比于传统回火工艺处理的核电大锻件的冲击韧性得到明显提高，且工艺简单，操作易于实现等。
一种提高核电锻件冲击韧性步法回火工艺

[发明专利]一种用热水作为冷却介质的清洁分级淬火方法-CN201710270021.9有效
发明人：顾剑锋;潘健生;王博 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C21D1/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用热水作为冷却介质的清洁分级淬火方法，该方法是将经加热奥氏体化之后的工件淬入第一热水槽中进行冷却，待工件表面温度降至100‑160℃时，再将工件转移至第二热水槽中进行等温停留，待工件内部温度基本均匀后，取出，即完成工件的分级淬火。与现有技术相比，本发明整个工艺步骤简单，通过热水槽的温度、浓度、间歇停留时间和搅拌速度等参数的调节，可准确控制工件的冷却速度，能扩大热水等温淬火的应用范围，克服现有用冷水进行间歇淬火难以应用于中小型零件的局限，操作更加安全方便，经济改造成本低，节能，易于大规模工业推广，具有很好的应用前景。
一种热水作为冷却介质清洁分级淬火方法

[发明专利]一种可拆卸式淬火槽内置组合式导流罩-CN201611151238.X有效
发明人：顾剑锋;王婧;骆晓萌;潘健生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2016-12-14 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C21D1/63 文献下载
摘要：本发明涉及一种可拆卸式淬火槽内置组合式导流罩，包括固定在淬火槽下部的锥形底座以及沿竖直方向可拆卸地套设在锥形底座上的导流罩单元，该导流罩单元包括至少一个导流罩组件，该导流罩组件包括由下而上依次设置的锥体段以及垂直出口段，锥体段的底部直径、锥度与锥形底座相适配，每个导流罩组件的垂直出口段的形状、尺寸与待淬火工件相适配；锥形底座的外侧面设有定位锥，导流罩组件的底部边缘抵在定位锥上，并与锥形底座固定连接。与现有技术相比，本发明结构灵活，可及时更换调节，装卸方便，适用性好，能在兼顾经济效益的前提下，克服现有固定式导流和均流装置的不足，提高了淬火槽的通用性，具有很好的应用前景。
导流罩锥形底座淬火槽组合式导流垂直出口可拆卸式定位锥锥体段内置适配淬火工件底部边缘均流装置依次设置装卸方便组件包括固定式可拆卸外侧面导流竖直锥度灵活应用

[发明专利]一种大型铸锻件宏观偏析简易三维重构方法-CN201510133496.4有效
发明人：李传维;顾剑锋;韩利战;刘庆冬;晏广华;潘健生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种大型铸锻件宏观偏析简易三维重构方法，对大型铸锻件中的宏观偏析进行三维重构，其特征在于，包括以下步骤1)样品的抛光步骤采用线切割方法将大型铸锻件样品切取立方体子样品，并对子样品共顶点的三个面进行磨光和抛光处理；2)样品的化学浸蚀步骤对抛光后的子样品进行化学浸蚀处理，标记特征点；3)照片的获取和三维重构步骤获取化学浸蚀后的子样品的金相照片，根据所标记的特征点进行三维重构。与现有技术相比，本发明具有设备简单、重构效率高等优点，解决了常规单一金相观察不能反应样品偏析真实情况的问题，同时改善了切片法三维重构效率低、成功率低的缺点。
一种大型铸锻宏观偏析简易三维方法

[实用新型]一种发泡胶喷罐底部喷码设备-CN201520720411.8有效
发明人： 潘健生;卢俊杰;梁永忠 -专利权人：太仓市世佳实业有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： B65B61/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种发泡胶喷罐底部喷码设备，包括机架、设置于机架上的传输带、设置于传输带两侧上方的导向条，传输带一侧设有立架，立架上设有水平架，水平架上设有喷码器，传输带设有立架一段设有弧形导向板，弧形导向板向立架方向凸起，弧形导向板在传输带上方形成弧形的走道，走道一部分位于传输带上方，走道的另一部分位于喷码器的上方，传输带位于喷码器上游的侧面设有用于检测喷罐的检测传感器。本实用新型采用弧形导向板形成弧形走道，便于喷罐底部部分漏出传输带，传输带侧面的喷码器便于对喷罐底部悬空部位喷码，可以自动喷码，生产效率高，由于喷罐竖直放置在传输带上，稳定性高。
一种发泡胶喷罐底部设备

[实用新型]一种发泡胶喷罐产线供料装置-CN201520720334.6有效
发明人： 潘健生;卢俊杰;梁永忠 -专利权人：太仓市世佳实业有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种发泡胶喷罐产线供料装置，包括机架、设置于机架上的传输带，传输带包括与流水线一体的主传输带、与主传输带并列设置的供料传输带，主传输带两侧流水线上设有产线导向板，机架上设有供料电机，供料电机驱动供料传输带运动，主传输带一端延伸至机架头部，机架两侧设有相互平行的水平导向板、连接水平导向板尾部和产线导向板的倾斜导向板，供料传输带延伸至倾斜导向板与产线导向板连接处；机架头部设有放置板，放置板位于供料传输带和主传输带头部上方。本实用新型利用并列设置的供料传输带以及放置板实现整箱的喷罐搬上放置板，供料速度快，劳动强度低；主传输带运转速度大于供料传输带，便于将喷罐送入流水线。
一种发泡胶喷罐产线供料装置

[发明专利]一种粘接用发泡胶及其在保温板系统的应用-CN201510647248.1有效
发明人： 潘健生;卢俊杰;梁永忠 -专利权人：太仓市世佳实业有限公司
申请日： 2015-10-09 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： C09J123/00 文献下载
摘要：本发明一种粘接用发泡胶，以下原料浓度百分比含量：聚甲烯化合物75%-97%、二甲醚1%-15%、丙烷1%-5%、异丁烷1%-5%；粘接用发泡胶在内外墙保温板系统的步骤如下：S1：上下摇晃罐体20秒，使罐体内发泡胶液体充分混合均匀；S2：将喷枪与罐体的螺纹圈对接拧紧；S3：调节喷枪喷速；S4：扳动喷枪扳机，打在保温板粘接的表面，所述发泡胶需覆盖保温板表面至少40%面积；S5：将保温板喷涂发泡胶一面与墙体贴合；S6：将保温板挤压至指定位置，调整水平度及平整度。本发明运输及存储不需防水防雨防潮；不需现场搅拌，不需控制水灰比，不需控制杂物混入；不需担心粘结胶固化，使用温度范围广。
一种粘接用发泡及其保温系统应用

[实用新型]一种发泡胶多组份灌装设备-CN201520720234.3有效
发明人： 潘健生;卢俊杰;梁永忠 -专利权人：太仓市世佳实业有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： B65B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种发泡胶多组份灌装设备，其特征在于，包括机架、传输带，传输带一侧的机架设有转轴，转轴设有拨齿盘，拨齿盘边缘设有弧形缺口，机架上设有环形导向环，导向环与弧形缺口之间形成环形运转道，运转道出口和入口均设有导向板，机架上设有伺服马达，机架上设有立柱，立柱上设有环形固定板，环形固定板自前端向尾部依次设有定量灌装阀，灌装阀设有进料管，运转道底部设有与传输带顶面齐平的底板，灌装阀设有开口向下的灌装头。本实用新型在传输带侧面设有拨齿盘，便于将喷灌导出和导入传输带不需要对原生产线进行大范围改造，成本低；在运转道上方的环形固定板上设有定量灌装阀进行灌装，结构简单。
一种发泡胶多组份灌装设备

[实用新型]一种发泡胶喷罐盖压合设备用供料机-CN201520720475.8有效
发明人： 潘健生;卢俊杰;梁永忠 -专利权人：太仓市世佳实业有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： B65G27/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种发泡胶喷罐盖压合设备用供料机，包括机台、料斗、输送带，输送带顶部连接有出料嘴，出料嘴下方的机台上设有振动盘，振动盘内壁设有筛选通道，筛选通道自下而上依次设有挡板、镂空板，挡板底部与其所处筛选通道之间高度小于被筛选喷罐盖直径但大于等于被筛选喷罐盖高度；镂空板由多个板条并列设置在筛选通道底部缺口上，镂空板之间留有间隙，板条宽度小于被筛选喷罐盖内径，筛选通道出口设有翻转通道，翻转通道自翻转通道入口箱翻转通道出口沿自身轴线扭转180°。本实用新型仅需在振动盘上设置筛选通道，在筛选通道上设置挡板和板条结构简单，通过翻转通道将喷罐盖的开口朝向下，结构简单，通过输送带供料，生产效率高。
一种发泡胶喷罐盖压合设备用供料

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