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[发明专利]一种适用于圆片级真空封装的玻璃腔体制造方法-CN201911303875.8有效
发明人：杨静;刘福民;张树伟;张乐民;徐宇新;刘国文 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于圆片级真空封装的玻璃腔体制造方法，对玻璃片进行一次清洗；在玻璃表面刻蚀形成第一图形；对玻璃片进行二次清洗；在玻璃表面淀积金属钨薄膜；将钨薄膜在第二步中的第一图形形成的浅槽内形成第二图形；在玻璃表面淀积复合金膜；在复合金膜上涂覆光刻胶，在金膜上进行光刻，形成腔体图案；用蓝膜将玻璃片无金膜面及有金膜面的边缘进行保护；将带有镂空图形的硅片与带有玻璃片腔体的玻璃片按照第二图形进行对准，形成用于圆片级真空封装的腔体内带有吸气剂薄膜的玻璃片。本发明采用厚光刻胶和金属膜组成复合掩膜，能够消除单层掩膜表面的缺陷和针孔对腐蚀的影响，减少玻璃腐蚀过程中的表面钻蚀。
一种适用于圆片级真空封装玻璃体制方法

[发明专利]一种MEMS传感器混合集成封装结构及封装方法-CN201911284371.6有效
发明人：李兆涵;刘国文;赵亭杰;刘福民 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS传感器混合集成封装结构及其封装方法，包括：陶瓷管壳的内腔台阶有多个金属焊盘，底面有金属化结构；MEMS敏感结构通过粘接的方式固定在陶瓷管壳内腔底面上；PCB电路基板带有不少于一处缺口或开槽，通过标准电容作为支撑架设在MEMS敏感结构之上，电容使用导电或绝缘粘合剂粘接；金属导线穿过PCB基板的缺口或开槽将MEMS敏感结构和PCB电路基板连接；PCB电路基板通过金属导线与陶瓷管壳内腔金属焊盘相连；金属盖板通过平行封焊与陶瓷管壳侧壁相连，形成气密封装。本发明通过使用标准化管壳和PCB基板，可在较低成本下和较短时间内实现较小面积的MEMS传感器系统集成，同时具有较好的温度特性。
一种 mems 传感器混合集成封装结构方法

[发明专利]一种具有应变自抵消的抗过载MEMS可动结构-CN202111357289.9有效
发明人：张乐民;刘福民;刘国文;徐杰;刘宇;张树伟;杨静;崔尉 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01C19/5733 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有应变自抵消的抗过载MEMS可动结构，包括：第一可动质量块、第二可动质量块、第一结构单元、第二结构单元、第三结构单元、第四结构单元、第一抗过载固定锚区、第二抗过载固定锚区、第一抗过载应变梁、第二抗过载应变梁、第一抗过载支撑梁和第二抗过载支撑梁；其中，第一结构单元、第二结构单元、第三结构单元和第四结构单元的结构相同，均包括质量块梳齿、驱动梳齿、驱动梳齿锚区、转动振动梁、转动调整梁、弯曲振动梁固定锚区、弯曲振动梁、应力释放梁。本发明避免可动MEMS结构在运动方向受到大冲击时，由于结构位移过大造成结构断裂，可应用于MEMS陀螺结构设计中，提高结构抗过载特性，提高谐振频率稳定性，降低驱动检测正交耦合。
一种具有应变抵消过载 mems 结构

[发明专利]基于知识与数据双驱动的搭载式岩性智能识别方法及系统-CN202110205463.1有效
发明人：许振浩;石恒;谢辉辉;余腾飞;刘福民;林鹏;马文 -专利权人：山东大学
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06V20/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于知识与数据双驱动的搭载式岩性智能识别方法及系统。其中，该方法包括将同一围岩不同角度的多张图像输入至对应并行的目标检测与定位模型，将目标检测与定位模型输出围岩图像对应的岩性特征及围岩位置信息进行非极大值抑制运算；获取非极大值抑制运算后的围岩位置上的元素含量测试信息，再经基于数据与知识驱动的岩性识别模型输出预测的岩性特征，将预测的岩性特征与非极大值抑制运算后的岩性特征进行点乘并经全连接层输出岩性类别及围岩位置候选信息；将岩性类别及位置候选信息经非极大值抑制运算，得到最终的岩性类别及围岩位置。
基于知识数据驱动搭载式岩性智能识别方法系统

[发明专利]融合光谱成像与时空分布的不良地质超前预报方法及系统-CN202211281361.9在审
发明人：许振浩;韩涛;余腾飞;许广璐;刘福民;李轶惠;林鹏 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明公开一种融合光谱成像与时空分布的不良地质超前预报方法及系统，包括：对掌子面进行网格划分，选取控制点；根据已开挖段的掌子面图像光谱数据，选取不良地质体的标志矿物；根据开挖处掌子面的图像光谱数据，确定控制点处的标志矿物含量，并以此预测掌子面前方控制点的标志矿物含量；根据掌子面前方控制点的标志矿物含量，对控制点之间的标志矿物含量进行空间插值处理，得到掌子面前方的标志矿物含量；根据掌子面前方的标志矿物含量，对矿物异常区域进行圈定，得到掌子面前方不良地质体的位置、规模和种类。通过图像光谱技术结合时间序列及空间插值方法对不良地质进行超前预报，实现对前方不良地质体“形”与“性”的判识与预报。
融合光谱成像时空分布不良地质超前预报方法系统

[发明专利]抗Y系乙型流感病毒血凝素蛋白单克隆抗体2H6及其在检测中的应用-CN202211462438.2在审
发明人：吴海波;杨帆;程林芳;刘福民;吴南屏;姚航平 -专利权人：浙江大学医学院附属第一医院
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C07K16/10 文献下载
摘要：本发明提供抗Y系乙型流感病毒血凝素蛋白的单克隆抗体2H6及其在检测中的应用。单克隆抗体2H6的重链氨基酸序列如SEQ ID No.2，轻链氨基酸序列如SEQ ID No.4所示。本发明为临床样本中乙型流感病毒感染的辅助诊断提供了有效的工具，并可推广应用于多种检测技术以及临床和实验研究。
系乙型流感病毒血凝素蛋白单克隆抗体 h6 及其检测中的应用

[发明专利]天-空-地-隧-孔一体化不良地质识别方法及系统-CN202211276244.3有效
发明人：李术才;许振浩;林鹏;向航;刘福民;邵瑞琦;谢辉辉 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G06V20/17 文献下载
摘要：本发明属于隧道勘察技术领域，为了解决现有技术对隧道内不良地质体判识不够全面的问题，提供天‑空‑地‑隧‑孔一体化不良地质识别方法及系统。该方法包括获取沿隧址区的遥感影像数据以及数字高程模型，确定出重点勘察区域；预测出该区域可能存在的不良地质类型；获取可能存在不良地质体的重点勘探区域经光谱试验而获得的矿物及岩性信息，再结合地表地球物理勘探结果，确定不良地质体分布的位置、范围及规模；确定不良地质体和隧道的相对位置；根据隧址区三维地质模型及不良地质体和掌子面相对位置，选择相应钻孔位置，最终确认不良地质体的种类及性质，为隧道超前地质预报提供有益借鉴。
一体化不良地质识别方法系统

[发明专利]一种宽频带MEMS加速度计及其制备方法-CN202110820823.9有效
发明人：刘国文;刘宇;李兆涵;赵亭杰;马智康;张天祺;刘福民 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及一种宽频带MEMS加速度计及其制备方法，该方法包括如下步骤：从系统函数波特图得出宽频加速度计需要的带宽对应的谐振频率和Q值，通过梁结构控制谐振频率，在圆片级封装键合阶段控制腔内气体压力来控制Q值。结构的加工是在SOI片上进行活动腔体的加工，再干法加工出梳齿结构，电极片采用底层连线，中间绝缘层，上层键合金属区分布。本发明可以加工出一种宽频梳齿加速度计敏感芯片，实现宽带宽加速度计的应用，本发明能确保芯片的质量和成品率。
一种宽频 mems 加速度计及其制备方法

[发明专利]基于图像光谱的隧道内不良地质体实时判识方法及系统-CN202211281339.4在审
发明人：林鹏;韩涛;刘福民;余腾飞;许广璐;李珊;许振浩 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于图像光谱的隧道内不良地质体实时判识方法及系统，属于隧道内不良地质体判识技术领域。本发明借助图像数据与光谱数据多源数据融合、光谱学与地质学等多学科知识交叉结合，实现对不良地质体从“形”(位置、形态、规模)与“性”(类型、性质)两个方面进行综合判识，实现了隧道内不良地体的实时判识；本发明提出了直接通过“光谱异常”对矿物进行快速定性定量的综合判识的方法，基于不良地质标志矿物特征波段的选取，进行了光谱数据的简化，减小了数据处理的工作量，降低其他波段对于吸收特征波段的影响，提升了标志矿物的定量反演精度，实现了对于矿物异常的快速精准判识，并为不良地质体的精确判识奠定基础。
基于图像光谱隧道不良质体实时方法系统

[发明专利]一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法-CN202110518255.7有效
发明人：刘国文;刘宇;孙伟龙;李兆涵;赵亭杰;刘福民;马智康 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种有冗余功能的MEMS加速度计检测模块及其制作方法，其中，该模块包括电路板、四个定位孔、金属底座、四个定位柱、三个固定块、垫片、MEMS芯片、ASIC芯片、电源管理芯片和盖板；其中，金属底座的四个角上分别设置有定位柱；电路板的四个角上开设有与每个定位柱相对应的定位孔，电路板通过定位孔套设于每个定位孔相对应的定位柱；电路板的一个对角线上设置有三个固定块；每个固定块的上表面设置有垫片，垫片的上表面设置有MEMS芯片，MEMS芯片的上表面设置有ASIC芯片；电源管理芯片设置在电路板上；盖板与金属底座的顶部相连接。本发明提高了单通道检测的可靠性，又隔离了来自金属外壳的应力，还提供了均匀的温度环境。
一种冗余功能 mems 加速度计检测模块及其制作方法

[发明专利]岩石矿物含量测试方法及系统-CN202211291425.3在审
发明人：许振浩;李珊;许广璐;石恒;刘福民;谢辉辉;余腾飞;林鹏 -专利权人：山东大学
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明属工程地质岩石矿物含量测试技术领域，提供了一种岩石矿物含量测试方法及系统。其中，该方法包括获取预设里程段的环状隧道围岩的光谱信息和图像信息，并拼接为3D隧道图像光谱图；从3D隧道图像光谱图中提取特征敏感波段、岩矿的图像特征向量和光谱特征向量；基于特征敏感波对3D隧道图像光谱图中的光谱信息进行端元解混；融合岩矿的图像特征向量和端元光谱的光谱特征向量，基于隧址区图谱库来识别岩矿类别，作为先验结果并对端元解混得到的矿物类别进行校准；将每个像元端元解混的每种矿物的权重与矿物所占像素点做加权处理，得到矿物的含量，在3D隧道图像的每个像元中展示矿物的分布和含量的变化。
岩石矿物含量测试方法系统

[发明专利]基于高光谱成像的TBM隧道搭载式岩渣矿物识别系统及方法-CN202110567209.6有效
发明人：许振浩;李天昊;许广璐;刘福民;余腾飞;林鹏;邵瑞琦 -专利权人：山东大学
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01N21/552 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于高光谱成像的TBM隧道搭载式岩渣矿物识别系统及方法，包括传送带，传送带上方依次设置有岩渣清洗装置、岩渣烘干装置和高光谱成像装置，高光谱成像装置连接有机械控制装置，机械控制装置设置于传送带旁，用于调整所述高光谱成像装置在所述传送带上的位置与高度；高光谱成像装置与处理器连接，所述处理器被配置为根据高光谱成像装置采集的岩渣光谱信息，匹配岩性，对岩渣的矿物含量进行定量识别。本发明能够实时、快捷的对岩渣的矿物含量信息进行分析。
基于光谱成像 tbm 隧道搭载式岩渣矿物识别系统方法

[发明专利]一种MEMS器件电极布局结构-CN202211035006.3在审
发明人： 刘福民;张乐民;刘国文;徐杰;徐宇新;王学锋 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS器件电极布局结构，属于微机电系统制造技术领域。包括MEMS敏感结构、MEMS敏感结构固定锚区、MEMS电极引线、MEMS电极铺地区、MEMS绝缘层接触孔、MEMS电极引出焊盘和MEMS电极铺地引出焊盘，MEMS敏感结构通过MEMS敏感结构固定锚区与衬底片固定，并与分布于衬底片上的MEMS电极引线连接；衬底片上制备有多层金属层，在各层金属层间有绝缘层；在各金属层中制备MEMS电极引线，各层MEMS电极引线通过MEMS绝缘层接触孔穿通绝缘层实现电学连接；在各层金属层中MEMS电极引线以外的区域铺设MEMS电极铺地区。本发明有效降低电磁干扰与信号串扰，降低信号噪声水平。
一种 mems 器件电极布局结构

[发明专利]一种带屏蔽的MEMS器件电极引出结构-CN202211035768.3在审
发明人：张乐民;刘福民;刘国文;徐杰;徐宇新;王学锋 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种带屏蔽的MEMS器件电极引出结构，属于微机电系统制造技术领域。包括电极引线、电极屏蔽线、电极焊盘、衬底、屏蔽连接线、屏蔽线焊盘、衬底层键合锚区、梳齿层键合锚区和梳齿结构，在衬底上有金属层，在金属层上加工出多组电极引线、电极屏蔽线、电极焊盘、屏蔽连接线、屏蔽线焊盘；在衬底上有多组衬底层键合锚区；衬底层键合锚区与梳齿层键合锚区通过晶圆键合在一起；在梳齿层键合锚区上连接有梳齿结构。本发明有效降低电磁干扰与信号串扰，降低信号噪声水平，提升MEMS器件的性能。
一种屏蔽 mems 器件电极引出结构

[外观设计]包装盒-CN202230431864.4有效
发明人： 刘福民 -专利权人：嘉兴好事帮医疗器械有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： 09-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：包装盒。2.本外观设计产品的用途：用于包装运动贴布。3.本外观设计产品的设计要点：在于图案。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
包装