专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果26个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种栅极硬掩膜层的去除方法-CN202211525724.9在审
  • 张栖瑜;司静;傅怡;宁宁;曾朝娇 - 联合微电子中心有限责任公司
  • 2022-11-30 - 2023-04-04 - H01L21/027
  • 本发明的栅极硬掩膜层的去除方法,在栅极的氧化物硬掩膜层去除前,通过形成一层具有高填充能力的有机绝缘层,将氧化物硬掩膜层和有源区覆盖,采用回蚀工艺刻蚀至氧化物硬掩膜层裸露,在氧化物硬掩膜层和有机绝缘层上覆盖光刻胶层,使得光刻胶层和有机绝缘层趋于平坦化,再通过曝光、显影以显露氧化物硬掩膜层,然后通过干法刻蚀或湿法刻蚀工艺去除栅极上方的氧化物硬掩膜层,最后去除有源区上方的光刻胶层和有机绝缘层。本发明使得第一栅极之间不会产生孔洞,消除了由于衬底上不同图形密度所造成有机绝缘层的厚度不同导致的对有源区产生损伤的可能,且在氧化物硬掩膜层刻蚀的过程中不会产生硬掩膜残留,提高器件产品的可靠性和良率。
  • 一种栅极硬掩膜层去除方法
  • [发明专利]一种栅极结构的制备方法和栅极结构-CN202211514876.9在审
  • 傅怡;司静;张栖瑜;宁宁;张舒 - 联合微电子中心有限责任公司
  • 2022-11-30 - 2023-03-17 - H01L21/28
  • 本发明提供栅极结构的制备方法和栅极结构,所述方法包括:在半导体衬底上依次制备若干个初始栅极和第一介质层;填充目标填充材料,在所述初始栅极间沟槽中形成具有第二深度的第一填充层;去除所述暴露介质层后得到目标栅极间沟槽;在所述目标栅极间沟槽内继续填充目标填充材料,并对所述目标填充材料和所述初始栅极进行研磨后,得到栅极结构;解决了现有技术中栅极结构中的沟槽填充存在空洞或缝隙等问题,本发明通过加大空洞以上的栅极间沟槽的宽度,使在第二次栅极间沟槽填充时既可以对已形成的空洞进行填充,也不会出现新的空洞或缝隙等缺陷,经过机械研磨后可得到平整的栅极结构,提高半导体器件的连接性能。
  • 一种栅极结构制备方法
  • [实用新型]一种视觉传达设计用的投影装置-CN202120108654.1有效
  • 傅怡;侯小锋 - 昆明理工大学
  • 2021-01-15 - 2021-11-12 - F16M11/24
  • 本实用新型属于视觉传达设计技术领域,且公开了一种视觉传达设计用的投影装置,包括固定框,所述固定框的底部两端均安装有调节柱,且固定框的一侧固定有控制器,所述固定框的内部通过轴承活动连接有支撑杆,所述支撑杆的外壁安装有固定架,所述固定架的一端连接有投影仪本体,所述固定框的内部顶端安装有驱动电机,所述驱动电机的底端连接有丝杆,所述丝杆的外壁安装有螺纹管,所述螺纹管靠近支撑杆的一侧固定有齿条,本实用新型通过丝杆、支撑杆、齿条和齿轮等结构的配合,可使固定架带动投影仪本体转动,从而便于快速精准的控制投影仪本体的转动角度,不仅操作简单快捷,工作效率高,且稳定可靠,角度控制较为精准。
  • 一种视觉传达设计投影装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top