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- [发明专利]一种晶圆蚀刻清洗后干燥设备-CN202310401524.0有效
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何玉森;丁剑;高自强;王哲哲
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苏州冠礼科技有限公司
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2023-04-16
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2023-09-29
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H01L21/67
- 本发明属于晶圆干燥技术领域，且公开了包括底座，底座上表面中部的左侧开设有轴槽，底座上表面中部的右侧开设有导向槽，底座前面的左侧固定安装有第一驱动件，第一驱动件输出轴的顶端固定安装有第一主动轮，轴槽的中部活动套接有转座，转座侧面的中部固定安装有与第一主动轮啮合的外齿圈，转座上表面的左侧固定安装有主板，转座上表面的中部开设有气槽，转座上表面的前后两侧对称开设有环形槽。从而解决了现有的晶圆干燥设备夹具与晶圆的接触边缘会残留水分和杂质的问题，同时解决了晶圆加工面的水滴不易脱离的问题，此外也解决了直线喷头两端用于干燥的氮气不与晶圆加工面接触和接触不充分的问题。
- 一种蚀刻清洗干燥设备
- [发明专利]一种变角度旋转控制的上下摇摆机构-CN202310509526.1在审
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何玉森;丁剑;王哲哲;丁文标
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苏州冠礼科技有限公司
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2023-05-08
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2023-08-04
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B08B3/12
- 本发明涉及一种变角度旋转控制的上下摇摆机构，其翻转机构由晶片夹持器、连杆机构、推杆机构和上下摇摆机构组成，晶片夹持器的侧支架固定转轴板，转轴板下部与挂架连接，上部通过与连杆一连接推杆，推杆在推杆动力端的驱动下相对推杆支撑座做前后横移动作，并拨动转轴板相对挂架进行旋转，进而带动晶片夹持器相对挂架进行旋转；上下摇摆机构由上下摇摆动力端、导轨和晶片夹持器支撑块组成，晶片夹持器支撑块在上下摇摆动力端的驱动下沿导轨上做上下往复运动，推杆机构的推杆支撑座随晶片夹持器支撑块做上下往复运动；本发明同现有技术相比，能够使半导体晶片完成任意角度下的上下摇摆动作，从而可以更有效便捷的去除多余的杂质，大大提高产能。
- 一种角度旋转控制上下摇摆机构
- [发明专利]一种夹持式晶圆清洗装置-CN202310476276.6在审
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高自强;何玉森;丁剑
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苏州冠礼科技有限公司
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2023-04-28
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2023-06-23
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B08B3/02
- 本发明涉及一种夹持式晶圆清洗装置，包括中空电机，中空电机内部由上至下贯通的中空部穿设有中心喷液管，中空电机的输出轴连接有夹持底盘，并在驱动后带动夹持底盘旋转，夹持底盘上设有晶圆定位组件和晶圆夹持组件；中心喷液管底部自中心喷液管固定座的底部伸出，且底部伸出部的侧壁上安装有液体快拆接头，中心喷液管内穿设有吹干管路，吹干管路的底端自中心喷液管的底部伸出，且底端安装有气体快拆接头；中心喷液管的顶部穿过夹持底盘，且中心喷液管顶部伸出部的外围设置有中心喷液头，吹干管路的顶端自中心喷液管的顶部伸出，并穿过中心喷液头；本发明可直接喷洒至晶圆背面，不被其它遮蔽物阻挡，能够达到同时清洗和吹干，保证清洗效果。
- 一种夹持式晶圆清洗装置
- [实用新型]一种制程槽体流场测试装置-CN202222357775.7有效
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何玉森;丁剑;王佳伟;李晓华;陈杰
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苏州冠博控制科技有限公司
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2022-09-05
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2022-12-13
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G01M10/00
- 本实用新型涉及一种制程槽体流场测试装置，包括实验平台本体、可更换的测试槽体、供应/循环/排放一体管路、气体控制管路和电气控制系统，实验平台本体后部左右两侧设有实验平台槽体测试区和实验平台管路测试区，前部左右两侧设有实验平台气体控制测试区和实验平台电气控制系统区，可更换的测试槽体位于实验平台槽体测试区，供应/循环/排放一体管路位于实验平台管路测试区，气体控制管路位于实验平台气体控制测试区，电气控制系统位于实验平台电气控制系统区，供应/循环/排放一体管路、气体控制管路连接电气控制系统；本实用新型可实现下给水管进水均匀度测试以及整流板的流场测试，使整个清洗槽内的流量分布更为均匀，获得更好的清洗效果。
- 一种制程槽体流场测试装置
- [实用新型]一种防呆型载具自动上下货模组-CN202222156607.1有效
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王佳伟;何玉森;丁剑
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苏州冠博控制科技有限公司
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2022-08-16
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2022-12-13
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H01L21/02
- 本实用新型涉及一种防呆型载具自动上下货模组，包括前后移载机构、一级定位座、左右移载机构、二三级定位座和气流场控制模组，前后移载机构沿前后方向延伸布置，左右移载机构沿左右方向延伸布置，前后移载机构与左右移载机构呈L型布局，且前后移载机构的终点位置与左右移载机构的起点位置相连，一级定位座位于前后移机构起点位置，二三级定位座位于左右移载机构上，二三级定位座包括二级定位座和三级定位座，二级定位座位于左右移载机构起点位置，三级定位座位于左右移载机构终点位置，气流场控制模组位于前后移载机构处；本实用新型确保更高的上货动作可靠性，增强对CST晶圆载具识别的准确性，大大降低外界环境中悬浮颗粒物对CST的污染。
- 一种防呆型载具自动上下模组
- [实用新型]一种新型前后振荡机构-CN202122449310.X有效
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何玉森;丁剑;李晓华;陈杰
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苏州冠博控制科技有限公司
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2021-10-12
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2022-03-15
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H01L21/67
- 本实用新型涉及一种新型前后振荡机构，包括驱动机构、传动机构、承载执行机构、槽体、管路系统和控制系统，驱动机构的输出端连接传动机构的输入端，传动机构的输出端安装有承载执行机构，承载执行机构在驱动机构、传动机构的带动下作前后直线运动，驱动机构通过线路连接控制系统，承载执行机构上承载有花篮及晶圆，花篮及晶圆伸入槽体内，槽体内布置有管路系统，花篮及晶圆随承载执行机构在槽体内作前后运动，驱动机构包括驱动电机和减速机，传动机构包括输出轴、凸轮、连杆机构和连杆连接块；本实用新型能够实现花篮及晶圆在槽内的规律性运动，使化学品与晶圆充分接触，有效提升剥离物或颗粒物从深沟中脱离，进而提升产品的制程控制和产品良率。
- 一种新型前后振荡机构
- [实用新型]一种交替式纯水高压喷雾清洗系统-CN202122496976.0有效
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何玉森;王佳伟;丁剑
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苏州冠博控制科技有限公司
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2021-10-18
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2022-03-04
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B08B3/02
- 本实用新型涉及一种交替式纯水高压喷雾清洗系统，包括旋转台，旋转台用于装载被清洗的晶圆，旋转台上方布置有高压喷嘴、中压喷嘴、低压喷嘴，三个喷嘴分别通过喷嘴摆臂连接高压喷管、中高压喷管、低压喷管，三个喷管另一端连接高低压水系统，高低压水系统包括二氧化碳融入池，二氧化碳融入池的出口端通过管道分别连接中高压泵、高压泵以及低压喷管的进口，中高压泵为以伺服电机驱动的柱塞式高压泵，柱塞式高压泵出口连接中高压喷管进口，高压泵由比例阀驱动的先导式气动高压阀构成，气动高压泵出口通过高压流体蓄能器连接高压喷管进口；本实用新型可精确并稳定的控制清洗需要的冲击力，大大降低了高压冲击力对于晶圆表面以及电路造成的额外损失。
- 一种交替纯水高压喷雾清洗系统
- [实用新型]选择性晶圆输送装置-CN202120066255.3有效
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曹刚;何玉森
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苏州冠博控制科技有限公司
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2021-01-12
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2021-07-20
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H01L21/687
- 本实用新型涉及一种选择性晶圆输送装置，包括自下而上依次布置的高精度直线运动模组、大减速比水平转台模组、单驱动水平三关节机械臂，高精度直线运动模组位于两组并排布置的反应槽之间的中轴线上，大减速比水平转台模组安装在高精度直线运动模组的输出端，并在高精度直线运动模组的带动下作水平槽间运动，单驱动水平三关节机械臂安装在大减速比水平转台模组的输出端，并在大减速比水平转台模组的带动下作旋转运动，并通过旋转运动将晶圆移动至上下货工位，单驱动水平三关节机械臂上夹持有晶圆；本实用新型同现有技术相比，实现了在占用较小空间的情况下，做到单个反应槽的大尺寸晶圆提取，可适应更大直径和更复杂的晶圆搬运需求。
- 选择性输送装置
- [发明专利]一种坐便辅助器-CN201910905916.4有效
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岳春峰;魏巍;林西川;何玉森;汝长海;孙钰
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江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
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2019-09-24
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2021-07-09
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A47K13/10
- 本发明公开了一种坐便辅助器，包括坐垫支撑座和两个坐便辅助机构，两个所述坐便辅助机构相对于所述坐垫支撑座对称设置，所述坐便辅助机构包括支架、电动推杆、第一轨迹杆、导向件、连接件和锁扣组件；所述电动推杆的一端与支架连接，所述电动推杆的另一端与连接件轴连，所述第一轨迹杆与所述坐垫支撑座通过连接件固定；所述支架上竖直设置的导轨，所述导轨上下两侧分别设置有上限位块和下限位块，所述导向件套设在所述导轨上并能够沿所述导轨上下运动，所述导向件内部设置有弧形的导向槽，所述第一轨迹杆穿设在所述导向槽之内，所述锁扣组件设置在所述第一轨迹杆与导向件之间。其保障老年人如厕全程中的安全性以及辅助效果，稳定性好。
- 一种辅助
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