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[发明专利]一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备-CN201810351122.3有效
发明人：赵晗;江献茂;简建至 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；本发明采用同批次4花篮同时运行，匹配两套的机械手臂，配合旋干机，将常规湿制程设备产能提升40％以上，极大程度上提高了产能，进而每片晶圆的工艺成本有效地降低，同时不过多占用无尘室空间和人力资源。
一种批次花篮同步运行全自动湿制程设备

[发明专利]一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置-CN202310451936.5在审
发明人：林裕哲;简建至;赵龙山;简水村 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B01F35/71 文献下载
摘要：本发明属于化学溶液高纯度调配技术领域，且公开了一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置，包括底座，底座上表面的一侧设有调控机构，底座上表面设有多组支撑板。本发明通过使第一进料管内的清洗液和第二进料管的干燥气体交替通过前侧的导管进入到环壳的内腔，通过环壳内腔的另一侧清洗液或干燥气体与吸管相反的转动方向，调高清洗液或干燥气体沿着吸管内壁的相对流动速度，从而提高吸管内壁的附着物与清洗液或干燥气体的碰撞力度，从而提高吸管内壁的清洗效果，进而解决了传统吸管内部的清洗液不易发生流动，从而导致吸管内壁清洗效果差，易残留的问题，从而解决了残留杂质污染溶剂原液，导致洁净度降低的问题。
一种适用于半导体洁净化学品溶液调配装置

[发明专利]一种用于单片式晶圆的清洗装置及方法-CN202111412798.7在审
发明人：何玉森;简建至;张雨 -专利权人：苏州冠博控制科技有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于单片式晶圆的清洗装置，包括底座，底座顶部一侧连接设有清洗池，清洗池内底部滑动设有滑动板，滑动板顶部两侧均连接设有超声波振荡发生器，底座顶部靠近清洗池连接设有电推杆，电推杆伸缩端的顶部转动连接设有转动臂，转动臂底部连接设有两个固定板，两个固定板之间转动连接设有载物架，载物架内连接设有若干通气管，通气管的底端连接设有多个吸盘，底座顶部靠近电推杆设有支撑台，支撑台顶部滑动连接设有承载板，承载板顶部匹配吸盘设有多个放置槽。本发明与现有技术相比的优点在于：提供一种可以同时对多个晶圆进行清洗，清洗效果好的一种用于单片式晶圆的清洗装置及方法。
一种用于单片式晶圆清洗装置方法

[实用新型]一种风囊定容器微量可调系统-CN202021829391.5有效
发明人：邵艳荣;简建至;郭家宏;胡厚福 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： B01F3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种风囊定容器微量可调系统，包括风囊定容器，风囊定容器包括风囊定容器主体，风囊定容器主体顶端盖设有定容器本体盖，风囊定容器内设有螺杆本体，螺杆本体外围套设有风囊伸缩管主体，定容器本体盖上开设有化学品进液口、进气口以及泄漏检测口，风囊定容器主体底部开设有化学品出液口，泄漏检测口处装设有压力传感器、泄漏传感器，化学品出液口通过PFA波纹软管连接混合桶槽主体，混合桶槽主体置于电子称主体上，电子称主体、压力传感器、泄漏传感器通过线路连接PLC控制系统；本实用新型能够微量控制容器的容量精度，使得混合原液容量的精准控制，从何确保稀释浓度要求，且更大程度上考虑操作人员的安全，整个过程安全可靠。
一种风囊定容器微量可调系统

[实用新型]一种200L桶自动充填设备-CN201921721993.6有效
发明人：胡厚福;薛贝贝;简建至;郭家宏 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B67C3/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种200L桶自动充填设备，包括间隔布置的开桶盖区域、充填区域、锁盖区域，三个区域内前部穿设有桶输送台，桶输送台将200L桶分别输送至三个区域，每个区域内前侧设有从动轮限位机构，后侧设有主动轮限位机构和桶盖输送带，桶盖输送带设于主动轮限位机构的上方，开桶盖区域内上方设有开盖机构，锁盖区域内上方设有锁盖机构，开盖机构、锁盖机构后方均设有瓶盖气动爪手、桶盖旋转气缸，瓶盖气动爪手安装在桶盖旋转气缸活塞端，锁盖区域内后侧壁上安装有桶盖限位气缸，充填区域内上方的充填管路中安装有充填阀门；本实用新型实现了200L桶的自动运输及自动充填操作，提高了生产效率，避免了因人员操作带来的安全性风险。
一种 200 自动充填设备

[实用新型]一种高纯无水氢氟酸取样设备-CN201921556650.9有效
发明人：薛贝贝;胡厚福;简建至;郭家宏 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括壳体，壳体通过固定支架支撑，壳体顶部的进风口处设置有高效过滤器，壳体内底部设有层流板，层流板为均匀多孔结构，壳体内侧壁处设置有抽风盒，层流板的出风口与抽风盒进风口相连，抽风盒的出风口连接有抽风管，高效过滤器进入的风经层流板扰流后通过抽风盒和抽风管形成空气循环回路，壳体内置有冰水盒，取样瓶置于冰水盒内，取样瓶的取样口通过进液管道依次连接取样阀门、进液接头，取样阀门设置在壳体外部，高纯无水氢氟酸通过进液接头、取样阀门、进液管道进入取样瓶中；本实用新型大幅度提高了取样环境的洁净度，能够防止取样操作中污染样品，同时最大程度减少了废气对人员的伤害。
一种高纯无水氢氟酸取样设备

[发明专利]一种高纯无水氢氟酸取样设备及其取样方法-CN201910879460.9在审
发明人：胡厚福;薛贝贝;简建至;郭家宏 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2019-09-18 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括壳体，壳体通过固定支架支撑，壳体顶部的进风口处设置有高效过滤器，壳体内底部设有层流板，层流板为均匀多孔结构，壳体内侧壁处设置有抽风盒，层流板的出风口与抽风盒进风口相连，抽风盒的出风口连接有抽风管，高效过滤器进入的风经层流板扰流后通过抽风盒和抽风管形成空气循环回路，壳体内置有冰水盒，取样瓶置于冰水盒内，取样瓶的取样口通过进液管道依次连接取样阀门、进液接头，取样阀门设置在壳体外部，高纯无水氢氟酸通过进液接头、取样阀门、进液管道进入取样瓶中；本发明大幅度提高了取样环境的洁净度，能够防止取样操作中污染样品，同时最大程度减少了废气对人员的伤害。
层流板抽风盒无水氢氟酸取样阀门取样瓶高纯高效过滤器进液管道进液接头取样设备冰水盒抽风管出风口壳体取样体内均匀多孔结构空气循环回路壳体内侧壁固定支架进风口处壳体顶部壳体外部取样环境污染样品依次连接洁净度进风口取样口扰流废气伤害支撑

[实用新型]电子级化学药液槽罐车充填设备-CN201822011871.X有效
发明人：胡厚福;简建至;郭家宏;薛贝贝 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B67D7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电子级化学药液槽罐车充填设备，氮气管出口端通过管道依次连接氮气管路压力传感器、氮气管路传感器、氮气加压阀门、单向阀门、氮气过滤器、氮气调压阀门及氮气源，出液管出口端管道连接接液公头，接液公头通过接液公头固定卡配合连接接液母头，接液母头通过出液管依次连接液体管路传感器、液体阀门、流量计及化学药液使用端。本实用新型自动化程度高，实现稳定的供应动力源，降低为接头连接不紧密导致的化学药液泄漏的安全生产事故，提高生产效率和生产安全，降低由于人工安装接头产生的颗粒物污染和因为连接质量不一致的导致的安全生产事故，极大的降低槽罐车连接接头的上的污染物，保持电子级化学药液的高洁净度。
化学药液接液槽罐车电子级公头氮气安全生产事故本实用新型充填设备氮气管路依次连接传感器母头流量计出液管出口氮气过滤器颗粒物污染压力传感器安装接头单向阀门调压阀门高洁净度管道连接加压阀门接头连接连接接头配合连接生产安全生产效率液体阀门液体管路不一致出口端出液管氮气管氮气源动力源固定卡使用端泄漏污染物自动化

[实用新型]防呆型化学桶快速连接接头-CN201821919890.6有效
发明人：胡厚福;简建至;郭家宏;薛贝贝 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： F16L39/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防呆型化学桶快速连接接头，包括出液管、出液接头、氮气补气接头、固定旋转轴、固定密封盖、桶上接头及汲取管，所述出液管密封连接出液接头，所述出液接头上设有氮气补气接头，所述出液接头密封连接固定旋转轴，所述固定旋转轴密封连接桶上接头，所述桶上接头外围套接固定密封盖，所述固定密封盖配合连接桶上接头，所述桶上接头密封连接汲取管；本实用新型结构紧凑，使用非常安全，同时满足汲取液体和补充氮气的的使用需求。将固定密封盖上增加凸块和桶上接头上凹槽设计，使得每一个接头对应唯一的化学药液桶，从更本上杜绝的用错化学药液的安全生产事故，可以快速使用，提高了工作效率。
上接头出液接头密封连接氮气固定旋转轴固定密封快速连接接头本实用新型化学药液出液管汲取管补气防呆安全生产事故工作效率配合连接套接固定密封盖上凹槽凸块外围汲取补充安全

[实用新型]一种电子级化学品桶清洗设备-CN201822040148.4有效
发明人：胡厚福;简建至;郭家宏;薛贝贝 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电子级化学品桶清洗设备，包括桶本体，桶本体顶部安装有高效空气过滤器，桶本体内部设有桶清洗腔体一、桶清洗腔体二，桶清洗腔体一、桶清洗腔体二后方均设有抽风管道，抽风管道与抽风口连通，桶清洗腔体一内上部安装有桶外清洗喷管一，桶清洗腔体一内下部通过桶清洗支架一安装有桶一，桶一底部安装有桶内清洗喷头一，桶清洗腔体二内上部安装有桶外清洗喷管二，桶清洗腔体二内下部通过桶清洗支架二安装有桶二，桶二底部安装有桶内清洗喷头二，桶内清洗喷头一、桶内清洗喷头二分别伸入桶一、桶二内；本实用新型能够杜绝空间环境对电子级化学品桶的污染，满足洁净的清洗环境，以满足电子级化学品的存储需求，提高了生产效率。
清洗腔体电子级化学品清洗喷头本实用新型抽风管道清洗喷管清洗设备清洗支架高效空气过滤器存储需求顶部安装空间环境生产效率抽风口伸入连通清洗洁净污染

[实用新型]一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构-CN201821917749.2有效
发明人：赵晗;江献茂;简建至;张雨 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，包括单花篮直立式旋干机、防腐骨架、电缸承载机构、转向定位机构、花篮夹持机构、花篮承载机构，单花篮直立式旋干机通过旋干机角度调整脚安装在防腐骨架上，单花篮直立式旋干机前侧设置有电缸承载机构，电缸承载机构通过电缸固定支座以及电缸可调支座安装在防腐骨架上，电缸承载机构的电缸滑台上安装有转向定位机构、花篮夹持机构，电缸滑台带动转向定位机构、花篮夹持机构作前后传送，花篮承载机构可升降式安装在防腐骨架上；本实用新型同现有技术相比，解决了单花篮在湿制程制程槽及旋干机间的全自动转运及传送，保证了花篮干进干出的制程需求，进而保证了晶圆的良率。
花篮电缸承载机构防腐骨架夹持机构转向定位直立式转运本实用新型湿制程设备传输机构制程传送固定支座角度调整可调支座可升降式湿制程滑台晶圆良率保证

[实用新型]一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备-CN201820558546.2有效
发明人：赵晗;江献茂;简建至 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；本实用新型采用同批次4花篮同时运行，匹配两套的机械手臂，配合旋干机，将常规湿制程设备产能提升40％以上，极大程度上提高了产能，进而每片晶圆的工艺成本有效地降低，同时不过多占用无尘室空间和人力资源。
全自动机械臂模组湿制程设备安装调整机构本实用新型花篮覆盖区域同步运行移载机构左右运动机械臂产能制程防腐骨架工艺成本机械手臂配合连接人力资源双工位水平式无尘室有效地两套片晶匹配占用配合

[实用新型]一种NMP废气回收系统-CN201721336776.6有效
发明人：黄宏伟;宋玉宝;简建至 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： B01D53/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种NMP废气回收系统，包括塔，塔下部设有NMP废气进口，塔上部设有NMP废气出口，塔内中部装设有废气吸附单元，NMP废气出口通过管道连接气液分离器进气口，气液分离器底部NMP液体出口连接过滤装置，过滤装置出口连接不锈钢循环泵，不锈钢循环泵另一端连接至塔底部的回液口，气液分离器的出气口通过管道连接冷却器，冷却器另一端连接浓度调整桶槽，浓度调整桶槽底端的出液口连接浓度调整单元，浓度调整单元内设置有输送泵，输送泵出口端连接在线式浓度计，在线式浓度计通过管道连接至浓度调整桶槽；本实用新型有效地减少水资源的浪费以及成品NMP回收液排放，避免了造成NMP的浪费以及严重的环境污染。
一种 nmp 废气回收系统

[实用新型]一种湿式尾气处理装置-CN201721255751.3有效
发明人：凌晨华;姚辉;简建至 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种湿式尾气处理装置，包括箱体，箱体顶端左右两侧分别设有工艺废气进口、气体排放口，箱体内工艺废气进口下方依次设置有喷淋口、集尘分水隔板、汇流分水板，箱体内气体排放口下方依次设置有气液分离装置、隔板一、喷淋头二、PP填料球、隔板二，箱体内底部设有沉淀水箱，沉淀水箱设置在汇流分水板以及隔板二的下方，喷淋口通过管道连接喷淋循环泵的出水口，喷淋循环泵的抽水口通过管道连接至沉淀水箱内，沉淀水箱内安装有液位计，沉淀水箱一侧安装有补水阀，液位计与补水阀之间电连接；本实用新型适用于可溶于水的酸碱性气体，使排放的气体达到环保标准，解决了现有处理装置所存在的沉淀物堵塞以及处理后端气液分离的问题。
一种尾气处理装置

[实用新型]一种三轴全自动机械手臂机构-CN201721263405.X有效
发明人：赵晗;江献茂;简建至 -专利权人：冠礼控制科技（上海）有限公司
申请日： 2017-09-28 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种三轴全自动机械手臂机构，包括左右运动机构、上下运动机构、夹持机构、花篮及载具、Cassette侦测部件，花篮及载具连接在夹持机构上,夹持机构连接在上下运动机构上,上下运动机构连接在左右运动机构上，左右运动机构顶部安装有Cassette侦测部件，Cassette侦测部件用于对花篮及载具的夹取状况及放置位置进行检测，花篮及载具在左右运动机构、上下运动机构、夹持机构的作用下沿左右X轴、上下Y轴、旋转夹取Z轴三个方向运动；本实用新型同现有技术相比，能够避免因空夹或夹取不到位引起的晶舟翻转/过制程/叠货或破片情况，有效的改善了湿制程设备中机械臂的洁净度、安全性、稳定性及可靠性。
一种全自动机械手臂机构

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