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[发明专利]柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机-CN202011615570.3在审
发明人：赵康梅;方洁;李志龙;陈建明;丛国栋;奚敏杰 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了柔性解耦结构、补偿组件及控制方法、运动模块及光刻机，属于光刻设备领域。该柔性解耦结构包括；至少两个分段式弹性件，其刚度能够调整，其包括依次连接的第一簧片、连接板和第二簧片，分段式弹性件被配置为能对运动组件进行解耦或行程补偿；平行设置的第一连接端和第二连接端，分段式弹性件连接于第一连接端和第二连接端之间，第一连接端和第二连接端中的一个运动、另一个固定；柔性解耦结构能够进行X、Y、Rx、Ry和Rz向解耦。该柔性解耦结构能够实现目标刚度的同时具备良好的塑韧性，减少解耦的滞后时间，可以实现五自由度解耦，补偿机械制造和伺服偏差造成的行程偏差，提高光刻机的运动可靠性，延长光刻机的使用寿命。
柔性结构补偿组件控制方法运动模块光刻

[发明专利]防撞装置及光刻设备-CN202011632415.2在审
发明人：赵康梅;郑清泉;丛国栋;杨存攀 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供的一种防撞装置和光刻设备，其中防撞装置包括防撞组件和控制组件，当外力撞击防撞组件中的缓冲组件时，缓冲组件推动防撞组件中的活塞组件朝向位于防撞组件的壳体内的压力腔运动以压缩压力腔，压力腔产生一反作用力，进而对该外力进行缓冲。同时，缓冲组件推动活塞朝向压力腔运动时，安装在缓冲组件上的感触器和安装在壳体上的传感器相互脱离或相互靠近至预定距离时，控制组件发出指令。如此一来，防撞装置用于对运动台进行防撞时，不仅可以对外力撞击时产生的力进行缓冲，同时可以通过控制组件发出指令来控制运动台的运动，进而避免出现运动台继续运动带来的二次或多次撞击而导致的运动台损坏的问题。
装置光刻设备

[发明专利]承载装置及光刻设备-CN202011643613.9在审
发明人：苏柳元;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供的一种承载装置及光刻设备，其通过在承载装置中设置至少一个与承载台连接的支撑件，如此使得运动台沿着水平向进行二自由度运动时，支撑件在运动台的带动下在水平向内发生形变，当支撑件在水平向发生形变时，形变产生的力能够减弱运动台在运动时对承载台的冲击。
承载装置光刻设备

[发明专利]一种柔性支撑平台系统-CN202011528727.9在审
发明人：赵康梅;王昱;郑清泉;丛国栋;徐慎 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性支撑平台系统，其属于光刻技术领域，包括基体、承载台、气浮支撑件和柔性解耦件，承载台用于承载掩模板或者硅片，承载台能够相对于基体沿设定方向移动；气浮支撑件设置于基体与承载台之间；柔性解耦件设置于所述气浮支撑件与所述承载台之间，所述柔性解耦件上开设有间隙，所述间隙将所述柔性解耦件分割为刚性支撑部和柔性解耦部，所述柔性解耦部能够在外部的力和热的作用下变形以实现解耦。由于间隙的存在，柔性解耦部能够在外部的力和热的作用下变形以实现解耦，当柔性解耦部发生变形时，间隙为形变提供空间，使得外部的力和热不会作用于承载台，即变形不会传递至承载台，进而保证承载台沿设定方向的移动精度。
一种柔性支撑平台系统

[发明专利]柔性吸附装置及光刻设备-CN201910785428.4有效
发明人：钱林峰;郑清泉;刘屈武;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性吸附装置及光刻设备，包括移动模块及设置于移动模块相对的两端的两个柔性支撑件，所述柔性支撑件内设置有一真空吸附腔，以实现对被吸附件的真空吸附，所述柔性支撑件的刚度小于所述被吸附件的刚度，以使吸附所述被吸附件时，形变发生在所述柔性支撑件上，使得所述被吸附件的形变量和扭曲度更小，并且，所述柔性支撑件与所述移动模块之间具有一阻尼气膜，能够抑制所述被吸附件的垂向高频振动，且振动越强，抑制效果越好。
柔性吸附装置光刻设备

[发明专利]限位机构、掩模台及光刻机-CN201910935175.4有效
发明人：钱林峰;黄亚庆;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种限位机构、掩模台及光刻机，运动部件设置于掩模台框架上并能够相对所述掩模台框架移动，限位机构设置于所述掩模台框架的掩模交接位上，所述限位机构的位置检测模块用于检测所述运动部件是否移动至所述掩模交接位时，所述限位机构的限位模块在所述运动部件到位时伸出以对所述运动部件进行限位，从而实现了进行掩模板交接时对所述运动部件进行限位的功能，保证了掩模板交接时的安全性。
限位机构掩模台光刻

[实用新型]一种掩模台电机更换装置-CN202121763059.8有效
发明人：赵康梅;王昱;郑清泉;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻机设备技术领域，公开了一种掩模台电机更换装置，该掩模台电机更换装置包括：支撑组件，其设有连接部；升降组件，其连接于所述支撑组件；运动组件，其分别与所述升降组件和掩模台电机连接，所述运动组件被配置为能够沿水平方向与所述支撑组件滑动连接，所述运动组件还被配置为能够在所述升降组件的驱动作用下带动所述掩模台电机沿竖直方向上下移动。该更换装置实现了掩模台电机的快速装配集成和维修维护，操作高效、便捷；实现了掩模台电机的维护、掩模台电机和掩模台电机更换装置的整体吊装及远程输送，进一步提高电机的装配集成和维修维护效率，适应性强、可操作性强。
一种掩模台电机更换装置

[发明专利]抽排间隙调整装置、光刻设备及抽排间隙调整方法-CN201910309629.7有效
发明人： 丛国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种抽排间隙调整装置、光刻设备及抽排间隙调整方法，所述抽排间隙调整装置包括运动框架、固定框架以及调整单元，运动框架相对于固定框架作往复运动，调整单元设置于运动框架与固定框架之间，以调整运动框架与固定框架之间的间隙的密封程度。本发明可将运动框架与固定框架之间的间隙进行动态密封，有利于将运动框架与固定框架之间的间隙调整到所需要的最小程度，甚至可以实现完全密封，从而极大地提升热量的抽排效率。
间隙调整装置光刻设备方法

[实用新型]一种曝光运动平台和光刻机-CN202120901775.1有效
发明人：闫法领;赵文波;丛国栋 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种曝光运动平台和光刻机。曝光运动平台包括：基础模块和曝光模块，所述曝光模块设置于所述基础模块的一侧；所述基础模块邻近所述曝光模块的一侧包括磁钢阵列和散热孔阵列；所述曝光模块邻近所述基础模块的一侧包括发力体和至少三组测距单元，所述至少三组测矩单元设置于所述曝光模块的不同位置，且每一所述测矩单元包括至少两个测量探头，同一所述测距单元包括的至少两个测量探头中至少一个测量探头在所述基础模块的垂直投影与任意散热孔之间的距离大于测量探头的靶面测量要求直径的一半与散热孔直径的一半的和。本实用新型实施例提高了曝光精度。
一种曝光运动平台光刻

[实用新型]一种吸附装置及光刻机-CN202023243260.1有效
发明人：尹苗苗;丛国栋;张志钢;方洁 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种吸附装置及光刻机。所述吸附装置中承载台包括至少一个吸盘吸附通道以及至少一个待吸附物吸附通道；吸盘包括第一表面和第二表面，第一表面与承载面相对设置，第二表面位于第一表面远离承载面的一侧；第一表面和第二表面上均设置有多个第一凸点以及第一密封框，第一密封框沿对应表面的边缘设置，同一表面上的多个第一凸点位于第一密封框内；第一表面、承载面以及第一表面上的第一密封框构成吸盘吸附腔，吸盘吸附通道与吸盘吸附腔连通；吸盘还包括至少一个抽真空通道，抽真空通道连通对应待吸附物吸附通道与第二表面。本实用新型实施例提供的技术方案，提高了吸附装置对待吸附物体的吸附精度。
一种吸附装置光刻

[实用新型]一种可安装多规格变频模块的叉车转接工装-CN202022029194.1有效
发明人：李刚;苏鹏兄;丛国栋;苗杰 -专利权人：中国海洋石油集团有限公司;中海油能源发展股份有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B66F9/075 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可安装多规格变频模块的叉车转接工装，包括工装主体、叉车臂套筒、滑块、定位钩调整板和叉臂；通过叉车臂套筒将一种可安装多规格变频模块的叉车转接工装套装在叉车上，只要有叉车的车间便可使用该工装；通过叉车臂套筒上方安置的液压缸及推杆，带动定位钩调整板在导轨上沿着工装主体的竖直方向上下移动，使工装能根据不同变频模块调整装夹高度，并通过定位钩板的起落在竖直方向上夹紧变频器，防止运输过程中的偏移滑动；通过改变定位钩与定位钩调整板上的均布螺纹孔的装配孔位，定位钩在水平方向上左右移动，使工装能根据不同变频模块调整装夹深度，在深度方向上起到一定的限位作用。
一种安装规格变频模块叉车转接工装

[发明专利]平衡质量装置及光刻设备-CN201910310380.1有效
发明人： 丛国栋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种平衡质量装置，包括调节单元、框架单元及磁钢阵列，调节单元包括第一调节组件及第二调节组件，框架单元包括顶板及连接于顶板第一表面上且相对设置的两个侧板，磁钢阵列设置于顶板的第二表面上，第二表面与第一表面相对；第一调节组件设置于两个侧板外侧，以调节对应于两个侧板外的磁钢阵列的面型；第二调节组件设置于两个侧板之间，以调节对应于两个侧板内的磁钢阵列的面型。本发明使磁钢阵列的面型得到了补偿，进而使磁钢阵列的面型达到要求。
平衡质量装置光刻设备

[实用新型]一种油田采油用悬浮式开关阀-CN202022240067.6有效
发明人： 丛国栋;刘磊;田旭阳;林鹏;张承孝 -专利权人：天津渤天顺科技股份有限公司
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： F16K15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种油田采油用悬浮式开关阀，包括阀体，在阀体内依次设有阀座、阀芯和过流限位板，在阀座上设有导流孔，阀芯采用中空的流线型结构，头大尾小，设有插装在导流孔内的至少三个限位导流片，限位导流片，设置在阀芯的头部和尾部外侧、沿周向均布、沿径向延伸，与导流孔间隙配合，阀芯的头部与过流限位板相邻并封盖在导流孔上，在该开关阀开启时，阀芯在液压作用下悬浮上移并压接在过流限位板上。本实用新型不需采用弹簧即可准确复位，能够提高密封性能，减轻阀芯自重，增大过流面积，降低流体阻力。并且本实用新型结构简单、装配性好、清洗和维修均较为方便，有利于提高油井作业的生产效率。
一种油田采油悬浮开关

[发明专利]一种工件台定位接口工装-CN201910080227.4有效
发明人： 丛国栋;郑文宇 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件台定位接口工装，属于工业设备之间连接的辅助设备技术领域。该工件台定位接口工装包括用于与第一整机连接的基座、用于与第二整机连接的接口定位件、以及用于连接基座和接口定位件的连接组件，其中接口定位件设置有接口定位孔，基座设置有凸起，连接组件包括凹槽，以与凸起紧密配合。通过在基座中设置凸起，连接组件中设置与凸起配合的凹槽，凸起被凹槽两侧的侧壁限制，形成几何封闭，使得连接组件与基座两者之间无论是受到外界冲击后还是使用时间较长均不会发生横向错动；当基座与第一整机连接后，能保证第一整机和第二整机的稳固连接。
一种工件定位接口工装

[发明专利]防撞装置、工件台及曝光装置-CN201711244615.9有效
发明人： 丛国栋;张志钢;李志龙;刘屈武 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。
装置工件曝光

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