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[发明专利]一种基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶及其制备和图案化方法-CN202310709968.0在审
发明人：沈小明;匡翠方;马致远;付欢;马鹏程;王宵冰;刘锡;汤孟博;庞茂璋;赖慧颖;钱全立 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶及其图案化方法。所述基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶含有100份的马来酰亚胺化合物、10‑30份的丙烯酸多环戊烯基酯和20‑50份的高折射率芴系活性交联剂。本发明的基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶避免了常规双光子引发剂的使用，从而可以避免普通光刻胶中残留的光引发剂及光解碎片存在着迁移渗透和进一步光化学反应的可能；丙烯酸多环戊烯基酯的阻氧效应可以保证光刻胶在空气中正常使用；而高折射率芴系活性交联剂则可以有效调节光刻胶的折射率以提升刻写效果。该光刻胶经飞秒激光刻写、显影后，能够得到特征尺寸在百纳米级的二维线条，也能够刻写出数百微米的三维结构。
一种基于马来亚胺引发光子光刻及其制备图案方法

[发明专利]凸版印刷原版用感光性树脂组合物以及用其得到的凸版印刷原版-CN201880051384.6有效
发明人：芳本和也 -专利权人：东洋纺MC株式会社
申请日： 2018-08-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：提供一种感光性树脂组合物，使用于模拟版时，可以在维持耐印性的同时，用较硬的刷子显影时也具有高光网点无缺失的优异的图像再现性，并且即使提高含有叔氮原子的聚酰胺的混合率，表面粘着也不会增大；使用于激光雕刻版时，可以在具有优异的印刷时的耐印性的同时，即使激光雕刻后的清洗工序使用刷子进行，也可以减少图像再现性的下降。该感光性树脂组合物含有：(i)侧链导入了官能团的改性的部分皂化聚醋酸乙烯酯、(ii)含有叔氮原子的聚酰胺、(iii)光聚合性不饱和化合物以及(iv)光聚合引发剂；(ii)含有叔氮原子的聚酰胺中，相对于聚酰胺分子中的氨基羧酸单元(包含原料为内酰胺的情况)、二元羧酸单元以及二元胺单元的合计，由环己二羧酸得到的结构单元含有20～50mol％，并且脂环族结构单元合计含有50～95mol％。还提供支撑体上具有使用了该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层的印刷原版。
凸版印刷原版感光性树脂组合以及得到

[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件及有机EL显示器、以及其制造方法-CN201880015518.9有效
发明人：谷垣勇刚;三好一登 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明的目的在于得到敏感度高、能够在显影后及热固化后形成低锥度形状的图案、能够抑制热固化前后的图案开口尺寸宽度变化、且遮光性优异的固化膜及形成其的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(Da)黑色剂，(A)碱溶性树脂含有(A1)第一树脂，所述(A1)第一树脂包含选自由(A1‑1)聚酰亚胺、(A1‑2)聚酰亚胺前体、(A1‑3)聚苯并噁唑、(A1‑4)聚苯并噁唑前体及(A1‑5)聚硅氧烷组成的组中的一种以上，(B)自由基聚合性化合物含有选自由(B1)含有芴骨架的自由基聚合性化合物及(B2)含有茚满骨架的自由基聚合性化合物组成的组中的一种以上。
感光性树脂组合固化具备元件有机 el 显示器及其制造方法

[发明专利]负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制备方法、固化物和电子部件-CN202211657771.9在审
发明人：刘斌;向文胜;胡泽明;张兵;赵建龙;鲍杰 -专利权人：江苏艾森半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明涉及感光性耐热树脂技术领域，具体而言，涉及负性感光性聚酰亚胺组合物、图形的制备方法、固化物和电子部件。负性感光性聚酰亚胺组合物，其包含成分(a)聚酰胺酯聚合物；(b)光引发剂；(c)具有可聚合官能团的化合物，所述可聚合官能团包括不饱和的双键或三键和下述通式(1)所表示的硅烷化合物中的至少一种，该负性感光性聚酰亚胺组合物未曝光部分与曝光部分的对比度优异，敏感度、分辨率、密合性以及保存稳定性良好。
性感聚酰亚胺组合图形制备方法固化电子部件

[发明专利]感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法-CN202211288409.9在审
发明人：赖末友裕;中村光孝;井上泰平;平田竜也;佐佐木隆弘 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：一种负型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层，所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份～20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂，(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐，(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
感光性树脂组合固化浮雕图案制造方法

[发明专利]负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物及其应用-CN202211166445.8有效
发明人：唐新颖;贾斌;李涛;赵云云;范树东;孙朝景;路延东 -专利权人：明士（北京）新材料开发有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明公开了一种负性光敏性聚酰胺酸酯树脂组合物及其应用。含有如下成分：(1)聚酰亚胺前驱体（2）光致交联剂（3）光引发剂（4）无机填料（5）黏合剂（6）阻聚剂（7）其他助剂（8）溶剂。所述聚酰亚胺前驱体由高分子量聚酰胺酸酯和低分子量聚酰胺酸酯混合而成；所述黏合剂为固态环氧树脂和液态环氧的混合物。通过树脂的高低分子量和环氧固液形态的配合，高分子量树脂保证了胶粘剂形成固态胶膜时的挺度，酯化度在60‑95%的低分子量树脂和液态的环氧提供了固态胶膜向晶圆转移时的固态胶膜的粘性，与晶圆进行贴合时可以很好的转移。固态的环氧树脂在后烘阶段，从固态转成粘弹态，进一步增加了固态胶膜与晶圆的粘合性。
光敏聚酰胺树脂组合及其应用

[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、图案固化膜及半导体元件-CN202180028240.0在审
发明人：青木优;滨野芳美;铃木辉昭;桥本政弘 -专利权人：昭和电工材料株式会社
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明涉及一种感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案固化膜、图案固化膜的制造方法及半导体元件，该感光性树脂组合物含有(A)具有酰亚胺键及酚性羟基的碱可溶性树脂和(B)通过光而生成酸的化合物。
感光性树脂组合图案固化制造方法半导体元件

[发明专利]感光组合物及其所形成的薄膜-CN202210306158.6在审
发明人：苏育央;杨智仁;曾永隆 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：公开感光组合物及其所形成的薄膜。该感光组合物包含100重量份的聚酰亚胺；0.25‑50重量份的引发剂；以及0.25‑100重量份的交联剂。该聚酰亚胺为反应物(a)与反应物(b)的反应产物。该反应物(a)由第一二酐及第二二酐组成，其中该第一二酐和该第二二酐的摩尔数比为3:7至8:2。反应物(b)包含第一二胺。该第一二酐、该第二二酐和该第一二胺如说明书中所详细描述的。
感光组合及其形成薄膜

[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件及显示装置、以及其制造方法-CN201780059377.6有效
发明人：谷垣勇刚;石川晓宏;三好一登 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明提供能够抑制由颜料引起的显影残渣的产生、并且能够得到敏感度高、耐热性及遮光性优异的固化膜的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C1)光聚合引发剂及(D1)颜料，上述(B)自由基聚合性化合物含有(B1)含柔软链的自由基聚合性化合物，上述(B1)含柔软链的自由基聚合性化合物含有下述化合物，所述化合物具有(I)来自在分子中具有至少三个羟基的化合物的结构、(II)至少三个烯键式不饱和双键基团、及(III)至少一个脂肪族链，上述脂肪族链的平均分子量为40～500，上述(D1)颜料的含有比率为全部固态成分中的5～70质量％。
感光性树脂组合固化具备元件显示装置及其制造方法

[发明专利]光敏树脂组合物和包含其的固化膜-CN201880008729.X有效
发明人：李旼炯;崔大胜 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2018-07-24 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明涉及包含聚(酰亚胺‑苯并嗪)嵌段共聚物的光敏树脂组合物和固化膜。所述光敏树脂组合物中包含的聚(酰亚胺‑苯并嗪)嵌段共聚物使得能够形成，即使在低于200℃的低温下也具有优异的机械和绝缘性的固化膜。
光敏树脂组合包含固化

[发明专利]聚合物、含有此聚合物的光刻胶及其应用-CN202111597353.0在审
发明人：王晓伟 -专利权人：苏州理硕科技有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明提供了一种聚合物、含有此聚合物的光刻胶及其应用，聚合物的结构为：其中：其中：R1选自或单键；R2选自‑H、C1～C10卤代烃基、C6～C10芳基或取代或未被取代的C1～C10直链或环状杂烷基；R4选自单键、‑O‑、C1～C10卤代烃、C6～C10芳基或取代或未被取代的C1～C10直链或环状杂烷基；R3分别独立地选自‑H或‑OH；n为10～110的整数；使用上述聚合物在制备负性光刻胶时会大幅度提高光刻胶的耐高温性，含有此聚合物光刻胶的分解温度高达250℃，可提高全波段光具有良好的目标线宽成像，可有效获得负性光刻图形以及提高光敏化效果。
聚合物含有光刻及其应用

[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化膜、具有固化膜的显示装置、及其制造方法-CN201780009369.0有效
发明人：谷垣勇刚;崎井大辅;龟本聪 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明提供负型感光性树脂组合物，其能够得到高敏感度且低锥度的图案形状，并能够得到耐热性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、及(C)光聚合引发剂，上述(A)碱溶性树脂含有选自(A‑1)聚酰亚胺、(A‑2)聚苯并噁唑、(A‑3)聚酰亚胺前体、(A‑4)聚苯并噁唑前体、(A‑5)聚硅氧烷及(A‑6)Cardo系树脂中的一种以上的树脂，上述(B)自由基聚合性化合物在51～99质量％的范围内含有(B‑1)在分子内具有5个烯键式不饱和键合基团的化合物。
感光性树脂组合固化具有显示装置及其制造方法

[发明专利]负型感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件及显示装置、以及其制造方法-CN201680055361.3有效
发明人：谷垣勇刚;龟本聪;三好一登 -专利权人：东丽株式会社
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：本发明提供可进行碱显影的负型感光性树脂组合物，其能够以高分辨率且低锥度的图案形状得到耐热性及遮光性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A1)第1树脂、(A2)第2树脂、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂，上述(A1)第1树脂为(A1‑1)聚酰亚胺及/或(A1‑2)聚苯并噁唑，上述(A2)第2树脂为选自(A2‑1)聚酰亚胺前体、(A2‑2)聚苯并噁唑前体、(A2‑3)聚硅氧烷、(A2‑4)Cardo系树脂、及(A2‑5)丙烯酸树脂中的一种以上，上述(A1)第1树脂在上述(A1)第1树脂及上述(A2)第2树脂的总量100质量％中所占的含有比率在25～90质量％的范围内。
感光性树脂组合固化具备元件显示装置及其制造方法

[发明专利]固化性树脂组合物、干膜、固化物及印刷电路板-CN201580030967.7有效
发明人：柴崎阳子;秋山学;伊藤信人 -专利权人：太阳油墨制造株式会社
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：提供分辨率、强韧性及耐热性优异的固化性树脂组合物、干膜、固化物及印刷电路板。包含：(A)具有下述式(1)、(2)所示的至少一个结构和碱溶性官能团的酰胺酰亚胺树脂；(B)平均粒径为200nm以下的无机颗粒；(C)光聚合引发剂和(D)具有不饱和双键的化合物。(B)平均粒径为200nm以下的无机颗粒优选为二氧化硅，另外，优选包含(E)热固化性树脂。
固化树脂组合印刷电路板

[发明专利]凸版印刷原版用感光性树脂组合物以及用其得到的凸版印刷原版-CN201680056364.9有效
发明人：芳本和也;立山敦志;莲池准 -专利权人：东洋纺株式会社
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G03F7/037 文献下载
摘要：提供高光部的阶调印刷再现性和耐印性可两全，同时版面粘着性较低的凸版印刷原版用感光性树脂组合物。一种凸版印刷原版用感光性树脂组合物，是作为必须成分含有水溶性或水分散性聚酰胺、光聚合性不饱和化合物以及光聚合引发剂的凸版印刷原版用感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚酰胺含有30～90摩尔％的通过二元胺以及二元羧酸得到的脂环族结构单元，以及所述聚酰胺含有20摩尔％以上的由二元羧酸得到的脂环族结构单元。
凸版印刷原版感光性树脂组合以及得到

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