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[发明专利]基于SKPFM和TDS交互使用的金属材料表面氢分布定量检测方法-CN202310777727.X在审
发明人：陆晨;张睿明;马凯;郑津洋;顾超华 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明涉及氢能利用领域，旨在提供一种基于SKPFM和TDS交互使用的金属材料表面氢分布定量检测方法。本发明利用SKPFM和TDS方法，首先针对与待测金属材料化学成分、热处理状态相同的充氢金属材料，分别测量其因氢溶解导致的表面接触电势差变化值，以及该变化值对应的整体平均氢浓度，并设置不同的充氢条件以获得二者的对应关系曲线。后续通过SKPFM扫描待测金属表面因氢溶解导致的表面接触电势差变化值，即可直接定量获得材料中的氢分布。本发明同时具备了SKPFM的无损测试、拥有时间分辨率、适用材料范围广、宽间分辨率高、测试成本较低等优点，以及TDS的定量测试能力；能够有效排除充氢过程高温、高压等因素对材料表面性能的影响，提高电势差变化值测量的准确性。
基于 skpfm tds 交互使用金属材料表面分布定量检测方法

[发明专利]表面分析装置-CN202010134192.0有效
发明人：藤野敬太 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供一种表面分析装置。驱动机构(45)以测量部(20)与试样台(30)的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部(20)和试样台(30)相对性地位移。在第2位置关系时，试样台(30)自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置(201)包含生成向扫描器(32)供给的高电压的高电压生成电路(203)。在第2位置关系时，第1机械式开关(253)不使电源(202)的电压向高电压生成电路(203)供给。
表面分析装置

[发明专利]真空扫描探针显微镜-CN202310434932.6在审
发明人：熊俊杰;谭新峰;郭丹;雒建斌 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空扫描探针显微镜，包括镜体，所述镜体包括：探针、样品台、镜体顶板、底座、多个圆柱凹台、多个水平驱动装置，其中，所述样品台用于放置样品；所述探针设置在所述镜体顶板靠近所述样品台的一侧；所述多个圆柱凹台放置在所述镜体顶板与所述底座之间，以将所述探针和所述样品台分隔开，光学成像系统发出的光束透过所述镜体顶板垂直聚焦于所述探针和所述样品台；所述多个水平驱动装置设置于所述底座上，所述多个水平驱动装置呈圆周阵列分布，用于驱动所述样品台移动。采用本申请能够准确地寻找到样品的特定区域，提高探测效率。
真空扫描探针显微镜

[发明专利]一种扫描光电流显微镜及测量方法-CN202310508755.1在审
发明人：冯海凤 -专利权人：苏州标度量子科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种扫描光电流显微镜及测量方法，显微镜包括样品放置台、扫描机构、探针位置传感机构、光源、光功率计和摄像机；扫描机构包括探针和扫描头，扫描头与探针连接，扫描头设有压电管；探针位置传感机构包括激光发射器和光位移传感器；光源位于样品放置台的上方，光源所发出的光自上而下照向样品；能够实现完成对样品的表面形貌数据、表面电流数据、表面光电流数据的测量，光源自上而下的光照方式能够适用于不透光的样品，并且允许测试过程中对样品表面的光功率进行标定，从而实现了定量的光电流表征；具有多功能性、高泛用性的优点，提升了应用场景适用性。
一种扫描电流显微镜测量方法

[发明专利]一种基于扫描探针显微镜的电场扰动表征方法及装置-CN202211586815.3在审
发明人：张凤元;刘凯鑫;黄博远;李江宇 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于扫描探针显微镜的电场扰动表征方法和装置，利用扫描探针显微镜、外接电源和Matlab原位表征截面样品在不同电压下电势分布，通过进一步公式计算、数据成图等方式得到表面电场分布及电场扰动结果，是一种具有高空间分辨率，能够直观表征储能电介质电场扰动的新技术，对于理解储能电介质击穿失效机制有重大意义。
一种基于扫描探针显微镜电场扰动表征方法装置

[实用新型]一种模块化储样库-CN202223498533.6有效
发明人：张磊;卞尔保 -专利权人：格物致寒（苏州）科学仪器有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种模块化储样库，包括被螺柱穿过的定距块、针尖座和样品座，针尖座包括第一底座、连接在第一底座外侧的的第一连接板、可拔插地设于第一底座和第一连接板之间的针尖、设于第一底座内侧的且用于将针尖抵紧在第一连接板上的弹性件；第一连接板上设有用于被针尖向外侧凸设的凸部所卡入的凹槽，凹槽的开口方向与针尖的插入方向相反；样品座包括第二底座、连接在第二底座上端和/或下端的第二连接板、可拔插地设于第二底座和第二连接板之间的样品台；第一底座和第一连接板的排列方向垂直于螺柱，第二底座和第二连接板的排列方向平行于螺柱。本实用新型模块化储样库，能够满足对针尖座和样品座的多样化需求，设计和生产成本相对较低。
一种模块化储样库

[发明专利]一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法-CN202211369370.3在审
发明人：庞宗强;张丰;戚涛;吴浩 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构及其工作方法，腔体结构包括筒体，筒体的筒壁上设有快开法兰观察窗，顶盖通过第一紧固件和第二密封件与筒体的上部密封连接，所述顶盖上开设有进气口、出气口以及一D型真空馈通法兰；底座通过第二紧固件和第三密封件与筒体的下部密封连接；初级减震机构，设置在顶盖与显微镜主腔体顶部之间；次级减震机构，设置于底座与显微镜主腔体之间。本发明用于高压扫描探针显微镜的高压腔体结构，可以实现高压扫描探针显微镜高压腔内不同反应气体压力的灵活可调，实现在超高真空条件下对扫描探针和待测样品的快速更换并且不会对主腔体内壁造成直接污染。
一种用于高压扫描探针显微镜结构及其工作方法

[实用新型]一种基于扫描探针显微镜的原位光电测试系统-CN202222501104.3有效
发明人：李洋;刘跃;赵守鑫;孙昭媛;甄良;徐成彦 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：一种基于扫描探针显微镜的原位光电测试系统，涉及一种原位光电测试系统。本实用新型是要解决目前近场光学显微镜只能用于收集光束获得材料的光谱信息，缺少捕捉微弱电流信号的功能，不能对激光诱导的电荷产生和输运性能进行测试，无法实现高分辨率下光电性质的测量的技术问题。本系统由两个子系统组成，即扫描探针显微镜系统和引光系统；其中扫描探针显微镜系统能够用于表面形貌成像，表面电势分布成像，表面导电率成像；引光系统能够引入激光聚焦在样品表面激发，收集激光光斑的位置信息，激光聚焦位置可以精准地调节，激光可选，激光功率可调。
一种基于扫描探针显微镜原位光电测试系统

[发明专利]信息提供系统、服务器装置、分析装置及信息提供方法-CN202210454321.3在审
发明人：渡边一马;新井浩;平出雅人;池田雄一郎;中岛秀郎;山崎贤治;藤野敬太 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本公开涉及信息提供系统、服务器装置、分析装置及信息提供方法。提供一种在向用户提供便利性的同时进行试样的分析的技术。信息提供系统具备：判定是否需要更换部件的判定部、显示部以及控制显示部的显示控制部。在需要更换部件的情况下，显示控制部使显示部显示与部件的供应商有关的供应商信息。
信息提供系统服务器装置分析方法

[实用新型]一种扫描探针显微镜扫描样品成像装置-CN202221041733.6有效
发明人：王佳丽;郭颖;张徐开 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种扫描探针显微镜扫描样品成像装置，包括试样放置座以及通过探针卡座与显微镜进行连接的扫描探针本体，所述试样放置座的顶部固定安装有试样卡座，所述试样卡座的顶部设置有紧固组件，所述试样卡座的顶部通过紧固组件可拆卸安装有样品，所述紧固组件包括卡槽，所述卡槽的内部螺纹连接有螺旋固定体，所述螺旋固定体的顶部固定连接有卡头底盖。该扫描探针显微镜扫描样品成像装置，通过卡头对样品进行支撑，从而样品对卡头上盖以及卡头造成的作用力会传递给蜂窝型填充块，此时蜂窝型填充块具有良好的分散应力的效果，便可减少局部内应力，从而减少局部应力效果，进而达到了降低磨损的效果。
一种扫描探针显微镜样品成像装置

[发明专利]一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统-CN202210742621.1在审
发明人：王作斌;常泽文;董莉彤;姜晓琳;王莹;于添竹;张羽;宋正勋;陈玉娟;许红梅;翁占坤 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明提出一种亚纳米尺度的三维原子坐标测量方法及测量系统。该方法可以实现原子精度的三维测量，为纳米技术的发展提供一种更精确的测量方法和系统。该发明以晶格材料的周期性原子晶格排布图案作为测量标尺，其主要组成部分有：以参考晶格材料和其探测系统组成的原子晶格测量标尺，三个轴的促动器，检测样品的探针扫描模块。每个轴上的纳米促动器都配有一个计数器，当该轴运动时，促动器带动计数器对原子晶格计数，然后将其结果用于反馈该轴的运动距离。该系统为从亚纳米级到纳米级的特殊应用需求提供精确的三维测量功能，实现具有原子晶格精度的宏观测量结果。
一种纳米尺度三维原子坐标测量方法测量系统

[发明专利]一种适用于半导体缺陷定位的扫描探针显微镜-CN202210154304.8有效
发明人：皮孝东;钱怡潇;王蓉;杨德仁 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明涉及扫描显微成像技术领域，公开了一种适用于半导体缺陷定位的扫描探针显微镜，第一激光束依次通过滤光片、光阑和第一透镜、第一单色仪汇聚后，打到探针的悬梁臂和样品上，样品表面发出的荧光信号入射到第二单色仪，经由光电转换器将荧光信号转换为电信号后，对电信号进行放大并发送至数据采集单元；第二激光束透过第二透镜打到探针的悬梁臂并打在样品上的同一点上，经第三透镜收集后入射至SPM探测器，转换为电信号输入至SPM信号采集器；通过移动探针或/和样品实现对所述样品表面的扫描。本发明装置可以很快的定位到样品的缺陷位置，对于表面缺陷和无法在表面看到的缺陷，不需要再通过两个以上的装置进行重复检测。
一种适用于半导体缺陷定位扫描探针显微镜

[发明专利]一种用于TERS的纳米铜探针的制备装置及方法-CN202210364040.9在审
发明人：孟国栋;李伊濛;常泽洲;王常龄;成永红 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于TERS的纳米铜探针的制备装置及方法，包括实验台，所述实验台顶部设置有恒温加热平台，所述恒温加热平台上设置有装有硫酸钠与磷酸混合溶液的第一容器以及装有磷酸溶液的第二容器，所述实验台上连接有第一位移台和第二位移台，所述第一位移台通过铜丝固定装置连接铜丝，所述第二位移台通过圆环固定装置连接惰性镍‑铬合金圆环，还包括直流电源，所述直流电源的负极通过第一电缆连接至圆环固定装置，所述直流电源的正极通过第二电缆连接至设置在第一容器中的不锈钢阳极电极，使用时，所述惰性镍‑铬合金圆环上设置有磷酸液膜或硫酸钠与磷酸混合液膜，且铜丝的下端穿过惰性镍‑铬合金圆环上的液膜并置于硫酸钠与磷酸混合溶液中。
一种用于 ters 纳米探针制备装置方法

[发明专利]一种利用扫描探针探测材料介电常数的方法-CN201911079283.2有效
发明人：许杰;陈剑锋;陈龙;于天祺;蔡远凌云 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用扫描探针显微技术探测材料介电常数的方法。本发明包括如下步骤：首先，利用静电力显微镜的电场梯度探测获得探针与试样间电容梯度的实验值；然后利用镜像电荷法建立探针试样间电容随试样介电常数变化的理论模型；最后将实验值与理论模型进行比较，推断出试样的介电常数。本发明能够获知试样在纳米尺度下的介电常数信息，且具有无损伤探测的优点，适用于各种电介质如绝缘体或半导体等材料的表征。
一种利用扫描探针探测材料介电常数方法

[发明专利]基于扫描探针的纳米颗粒三维操控方法-CN202110026544.5有效
发明人：张伟华;吕亚坤 -专利权人：南京大学
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于扫描探针的纳米颗粒三维操控装置及方法。该装置包括一个导电且表面镀有低表面能涂层的扫描探针，以及扫描模块和观测模块。利用观测模块观测扫描探针及纳米颗粒的位置；扫描模块根据观测模块收集的位置图像，将扫描探针移动到纳米颗粒的附近，并通过在探针表面施加电压信号来调控探针与纳米颗粒之间的相互作用，最终可以实现三维空间上单个纳米颗粒的拾取、转移和放置。本发明通过对扫描探针的电压信号进行调控，进而引入介电泳力实现对其表面能的调节，能够高效可控地重复实现对纳米颗粒的操控。
基于扫描探针纳米颗粒三维操控方法

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