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- [实用新型]一种连续式晶体硅高效应力释放设备-CN202122407263.2有效
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吴利德
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吴利德
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2021-09-30
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2022-02-18
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C30B33/02
- 本实用新型公开了一种连续式晶体硅高效应力释放设备，涉及晶体硅的应力释放技术领域，用于解决现有技术中在对晶体硅释放应力时，硅棒两端的硅渣容易掉入加热炉内而不便清理以及硅棒在炉内移动时容易错位和断裂的问题，本实用新型包括依次设置的进料输送机构、上料机构、加热炉、接料机构、水箱、滚轴箱体，所述滚轴箱体内安装有多个下滚筒；所述加热炉内安装有多个上滚筒，所述上滚筒上安装有多个移料托架，所述移料托架的顶面设有可让硅棒沿加热炉长度方向放置的多组放置组件；所述加热炉的前端和后端均安装有竖直换料机构。本实用新型通过上述技术方案使得硅棒两端的硅渣基本上不会掉落到加热炉内，从而更容易对掉落的硅渣进行清理。
- 一种连续晶体高效应力释放设备
- [实用新型]一种硅片热处理夹持机构-CN202121432867.6有效
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邱远见
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青岛钲瑞热处理有限公司
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2021-06-24
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2022-02-08
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C30B33/02
- 本实用新型涉及硅片技术领域，尤其涉及一种硅片热处理夹持机构。本实用新型要解决的技术问题是不能很好的契合硅片的边缘，会对的硅片的边缘有一定的损坏；不能使硅片受热均匀。为了解决上述技术中的问题，本实用新型提供一种硅片热处理夹持机构，本实用新型由夹持机构和开合翻转机构组成，通过圆形固定夹内的内嵌块进一步固定住硅片，方便进行下一步操作，再缓慢将箱型架向内聚拢；在半圆凹型球和滚珠的作用下，圆形固定夹进行翻转，可以实现减少了对硅片的损伤，在转运过程中也不会因为细微的震动导致硅片的损坏；圆形固定夹可以翻转一定的角度，在热处理时可以使硅片受热均匀，确保硅片的特殊性质不会因为受热不均而导致的不能完全展现。
- 一种硅片热处理夹持机构
- [发明专利]浅晶低浓度扩散氧化退火炉-CN202111097536.6在审
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涂祥龙;鲁坤;李书亮
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江苏龙恒新能源有限公司
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2021-09-18
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2022-02-01
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C30B33/02
- 本发明公开了一种浅晶低浓度扩散氧化退火炉，涉及晶片热处理设备技术领域。该退火炉的壳体内设有平行于水平面设置的旋转杆，旋转杆一端转动连接在壳体内，旋转杆上套设有用于放置晶片的旋转架，旋转架包括套设在旋转杆上的旋转套，旋转套外侧设有若干个环绕旋转套设置的旋转网，旋转网由若干根平行设置的钢条组成，壳体上还设有用于将旋转套固定在旋转杆上的连接机构，晶片在退火炉中降温退火时，能够通过旋转将不同位置的晶片实现匀速旋转，使不同位置的晶片交替位置降温，从而实现不同位置晶片温度的均匀变化，稳定各个晶片的受热温度，保证各个晶片的完成质量统一，同时能够根据晶片大小不同调整旋转速度，保证各尺寸的晶片效率更合适。
- 浅晶低浓度扩散氧化退火炉
- [实用新型]一种节能环保的新型退火炉-CN202121920848.8有效
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张圣耀;支刚;赵先锋;吴有鹏
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山东润辰工贸有限公司
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2021-08-17
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2022-02-01
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C30B33/02
- 本实用新型公开了一种节能环保的新型退火炉，包括退火炉本体、第二固定件和外壳，所述退火炉本体的外表面底端安装有面板，所述退火炉本体的内壁固定安装有第一限位板，且退火炉本体退火炉本体的内壁安装有第二限位板，所述退火炉本体的内壁固定安装有第一盘管和第二盘管，所述退火炉本体的外表面后端安装有机箱，且机箱的侧端面设置有转轴，所述转轴背离机箱的一端固定安装有隔板，且隔板内开设有导向槽，所述隔板的前端面安装有第一固定件，且隔板的后端面安装有液压杆，所述第二固定件的后端面焊接有连接架，所述退火炉本体的外表面安装有外壳，且外壳的顶端面嵌入固定有连接管。本实用新型具备操作便捷，保温性能高和实用性更佳的优点。
- 一种节能环保新型退火炉
- [实用新型]一种蓝宝石晶片的退火支架-CN202121721796.1有效
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陈炳寺
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江苏晶杰光电科技有限公司
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2021-07-27
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2022-02-01
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C30B33/02
- 本实用新型公开了一种蓝宝石晶片的退火支架，涉及退火支架技术领域，解决了现有退火支架结构固定不能调整的问题，其技术方案要点是包括外框架和放置架，放置架上开设有放置槽，外框架呈“Π”形且其两侧杆的内侧面分别开设有连接槽，放置架两端分别固定设置有连接块，连接块滑动设置在连接槽内，且放置架使用状态下连接块和连接槽接触的表面粗糙设置，效果是通过连接块活动连接放置架和外框架，当需要调整放置架的位置时，通过将放置架向上托起即可滑动调整放置架的位置，进而可以调整不同放置槽之间的距离，或者将放置架拆卸下来更换成放置槽的大小符合需求的放置架，能够根据实际生产加工情况进行调整，适用程度更高。
- 一种蓝宝石晶片退火支架
- [实用新型]一种物料不偏离的退火炉-CN202122151743.7有效
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周钟平;梁艳廷
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武汉蓝锐达信息技术有限公司
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2021-09-07
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2022-01-25
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C30B33/02
- 本实用新型涉及退火设备技术领域，且公开了一种物料不偏离的退火炉，包括炉体，所述炉体的内壁开设有滑轨，所述滑轨的正面滑动连接有转轮，所述转轮的外壁固定连接有转筒，所述转筒的外壁活动连接有固定框，所述固定框的外壁固定连接有支撑架。该物料不偏离的退火炉，通过炉体左侧的仓门打开，物料放置在置物架上，随着置物架推移入炉体的内部，转轮跟随置物架移动，转轮与滑轨之间的摩擦力使得转轮旋转，当置物架完全进入炉体的内部，转轮带动转筒旋转四圈，转筒利用螺旋轨道和滚阻推移推杆夹，推杆夹移动推移推板，推板利用缓冲簧推移夹板，且夹板利用缓冲簧反推推板时，推杆夹无法利用滚珠和螺旋轨道使得转筒旋转。
- 一种物料偏离退火炉
- [实用新型]石英件退火炉-CN202121459722.5有效
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徐坤林
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苏州凯联石英科技有限公司
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2021-06-29
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2022-01-21
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C30B33/02
- 本实用新型涉及一种石英件退火炉，包括操作台，操作台包括移动式承载底座，移动式承载底座与操作台的下方的承载底座驱动装置传动连接，移动式承载底座上设有若干石英件承载单元，石英件承载单元包括石英件承载架，石英件承载架上分层堆放有条状石英件，操作台的上方设有退火炉罩，退火炉罩的内侧设有退火加热部件，移动至退火炉罩的下方的移动式承载底座与降下的退火炉罩扣接形成封闭的退火炉膛，退火炉罩对退火炉膛内的石英件承载架上的条状石英件进行退火处理。本实用新型采用具有石英件承载架的自动化石英件退火炉方案，具有自动化程度高，处理效率高、效果好的特点。
- 石英退火炉
- [实用新型]一种低耗高保温退火加热炉-CN202121152415.2有效
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贾建伟
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广东润鑫实业投资有限公司
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2021-05-26
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2022-01-18
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C30B33/02
- 本实用新型涉及加热炉技术领域，具体的说是一种低耗高保温退火加热炉，包括安装基座，所述安装基座上设置有曝气结构，所述曝气结构包括操作柜，所述安装基座与操作柜固定连接，所述操作柜内滑动连接有活动板，所述活动板上固定连接有弹簧，所述弹簧与操作柜固定连接，所述活动板上固定连接有连接架，所述连接架与操作柜和安装基座滑动连接，所述连接架抵触于旋转块，所述旋转块固定连接于电机上，所述操作柜上设置有出气结构和进气结构，所述出气结构包括出气管，所述操作柜与出气管固定连接，所述进气结构包括进气管，所述操作柜上固定连接有进气管；进行充氧，保证煤气燃烧时的氧气浓度，使得煤气燃烧充分，能耗较低，适用性较高。
- 一种低耗保温退火加热炉
- [实用新型]新型退火炉-CN202121365574.0有效
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王田瑞;马晋渝
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威科赛乐微电子股份有限公司
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2021-06-20
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2022-01-14
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C30B33/02
- 本实用新型涉及芯片制造技术领域，公开了一种新型退火炉，包括烤箱本体，烤箱本体包括箱体、封盖于箱体上的箱门以及将箱门转动连接在箱体上的第一转轴，箱体内靠近箱底的一侧设有用于吸附晶圆的吸盘，吸盘上开设有多个吸附孔，吸盘上设有与所有吸附孔连通的吸附管，所述吸附管贯穿到箱体外并连通有真空发生器。本实用新型通过设置吸盘和压盘，既能够保证晶圆在箱体内顺利完成退火工艺，又能够降低晶圆在退火时发生翘曲的概率；通过设置机械臂，在退火完成后，机械臂能够将晶圆与铜盘一起安全地送进卡塞内，既实现了该装置的自动化操作，又能够避免直接将较薄的晶圆放入卡塞内而出现破片的情况。
- 新型退火炉
- [实用新型]一种具有隔热保温功能的退火炉-CN202022783089.7有效
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汤艳红;张锡昌;魏述友
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山东鸿昌铁合金有限公司
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2020-11-26
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2022-01-11
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C30B33/02
- 本实用新型公开了一种具有隔热保温功能的退火炉，包括退火装置、退火炉本体、盖板、储存结构、底座、收纳结构、支撑座、连杆、固定框、滚轴、滑槽和驱动结构。本实用新型的有益效果是：利用驱动结构带动固定框滑动，固定框滑动会带动连杆和滚轴运动，滚轴会带动连杆在滑槽的内部滑动，从而连杆滑进滑槽时会与固定框发生转动，进而连杆会带动支撑座和盖板一起向远离连接框的方向运动，使盖板与退火炉本体的顶部接触，对退火炉本体进行精准密封，起到了隔热和保温的效果，当需要拿起盖板进行操作时，利用驱动结构带动连接框反向滑动，从而带动盖板向靠近底座的方向同时还会向远离退火炉本体的顶部的方向进行滑动，进而在使用时节约人力物力资源。
- 一种具有隔热保温功能退火炉
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