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- [实用新型]一种大功率旋转阴极端头-CN202320606397.3有效
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匡国庆;匡静;万安江
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镇江市德利克真空设备科技有限公司
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2023-03-24
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2023-08-08
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C23C14/35
- 本实用新型公开一种大功率旋转阴极端头，包括主轴和套设于所述主轴上并绕主轴中心轴线相对转动的同步轮空心轴；主轴由导电材料制成，且在主轴与同步轮空心轴之间通过铜套电性连接；同步轮空心轴由导电材料制成，其中一端连接靶材；在主轴与同步轮空心轴之间的间隙中还设置有导电环组件，外部电源依次通过主轴、导电环组件、同步轮空心轴与靶材电性连接。该大功率旋转阴极端头的主轴与同步轮空心轴之间既通过导电套、弹簧以及导电块电性连接，又通过第二电编织带和导电块电性连接电性连接，从而实现大功率动态旋转传输的目的，并且多个均匀分布的导电块与同步轮空心轴浮动接触，从而实现大功率动态旋转传输的目的。
- 一种大功率旋转阴极端头
- [实用新型]一种溅射距离可调的磁控溅射镀膜装置-CN202223399547.2有效
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周伟锋
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苏州释欣汽车零部件有限公司
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2022-12-19
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2023-08-08
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种溅射距离可调的磁控溅射镀膜装置，涉及磁控溅射镀膜装置结构技术领域，为解决现有的磁控溅射镀膜装置在进行镀膜的时候，产品都是固定放置，这样不能方便的对产品的位置进行调节的问题。所述镀膜装置底座的上方设置有放置座，所述放置座内部的一端安装有电动气缸，所述电动气缸的上方安装有阳极板，所述阳极板的上端设置有放置台，所述放置座的一侧安装有竖向安装架，所述竖向安装架上端设置有横向安装架，所述横向安装架的一端安装有推动气缸，所述推动气缸的下方安装有透明密封罩，所述透明密封罩的内部安装有冷却装置箱，所述透明密封罩外壁的一侧安装有进水装置，所述透明密封罩，所述进水装置的下方设置有氮气进入座。
- 一种溅射距离可调磁控溅射镀膜装置
- [发明专利]一种真空磁控镀膜生产线及其镀膜系统-CN202310441458.X在审
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姜建峰
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赫得纳米科技（昆山）有限公司
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2023-04-23
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2023-08-04
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C23C14/35
- 本发明涉及真空磁控镀膜技术领域，且公开了一种真空磁控镀膜生产线及其镀膜系统，包括底座和镀膜系统，底座的底部固定安装有四个支撑腿，底座的顶部固定安装有真空箱，真空箱的正面铰接有密封门，真空箱的内部转动连接有放置盘，真空箱的顶部设置有供料装置，真空箱的顶部且位于供料装置的右侧固定安装有真空泵。该真空磁控镀膜生产线及其镀膜系统，通过底座的设置实现对真空箱进行安装，通过支撑腿的设置实现对底座进行支撑，通过真空箱的设置实现对物体进行放置，通过供料装置的设置实现对原料进行盛放，通过放置盘的设置实现对物体进行转动，从而实现对物体进行全面的镀膜，通过镀膜系统的设置实现对物体进行镀膜。
- 一种真空镀膜生产线及其系统
- [发明专利]一种磁控溅射与电子束复合型镀膜机-CN201810282981.1有效
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金炯;杨林;姜琼
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杭州赛威斯真空技术有限公司
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2018-04-02
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2023-08-01
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C23C14/35
- 本申请涉及一种磁控溅射与电子束复合型镀膜机，包括机箱、安装板、升降机构、基片挡板机构、水冷接口、真空机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、旋转机构、磁控溅射机构、电子束发生器、加热机构、连接管道，机箱上固定有导柱、升降机构，导柱上滑动套装安装板，安装板上固定基片挡板机构、膜厚检测仪，升降机构与安装板配合并驱动安装板上下升降；膜厚检测仪的探头固定在连接管道下部并与被加工产品配合；连接管道转动安装在安装板上，连接管道上部与水冷接口配合连接，连接管道下部安装样品放置盒，加热机构安装在机箱内，安装板上安装有旋转机构，每套基片挡板机构控制一个半圆形基片挡板开合。本申请结构简洁，使用方便，功能多，效果好。
- 一种磁控溅射电子束复合型镀膜
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