“B23K26/364”专利分类搜索_专利查询_文献下载_出售_求购_买卖_交易

钻瓜专利网为您找到相关结果257个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种激光加工晶圆的方法及系统-CN201710575307.8有效
发明人：张紫辰;刘嵩;侯煜 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工晶圆的方法及系统，所述方法包括：获取晶圆上表面Low‑K层的厚度信息；根据厚度信息控制相控型硅基液晶对激光光束进行调制，以使激光光束对晶圆上表面Low‑K层进行刻蚀。本发明能够通过对晶圆上表面Low‑K层的厚度进行实时检测并获取厚度信息，然后通过相控型硅基液晶根据所述厚度信息对激光光束进行调制，进而通过对激光光束的精确控制实现晶圆上表面Low‑K层加工得到可定制形沟槽结构，并提高了激光加工晶圆的工作效率、激光加工精度以及分离晶圆的均匀性。
一种激光加工方法系统

[发明专利]激光式模具刻字装置-CN201710918352.9有效
发明人：吕献平 -专利权人：重庆鑫盟精密模具有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明公开了激光式模具刻字装置，包括机架、冶具和激光头，激光头滑动连接在机架上，机架上滑动连接有滑块，冶具固定在滑块上，机架上设有第一驱动机构，第一驱动机构包括活塞缸和活塞杆，活塞缸连通有进水管，活塞缸内固定有隔板，隔板上开有通水孔和开口，开口内滑动连接有封板，封板左方设置有第二楔杆，封板上固接有用于与第二楔杆相抵第一楔杆，第二楔杆相抵有传动楔杆，传动楔杆相抵有第三楔杆，第三楔杆滑动连接在活塞缸内，第三楔杆与活塞杆相抵，活塞缸连通有泄压管；机架上设有与第一驱动机构相同的第二驱动机构，第二驱动机构用于控制激光头竖向运动；与现有技术相比，本方案通过设置第一驱动机构和第二驱动机构，提高了运动精度。
激光模具刻字装置

[发明专利]一种表面带有复合型沟槽的基体及其加工方法-CN201811156290.3在审
发明人：符永宏;李海波;钟行涛;康正阳;黄婷;张洋 -专利权人：江苏大学
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供了一种表面带有复合型沟槽的基体，基体表面阵列分布单条复合型沟槽织构；所述单条复合型沟槽织构由多条平行的单元沟槽在宽度方向相邻或相交组成。多条平行的所述单元沟槽之间的间距相同或逐渐变大或变小。所述单条复合型沟槽织构的截面为U型槽，所述U型槽宽度B为20～300μm；所述U型槽深度为H为1～15μm。所述单条复合型沟槽织构由3条平行的单元沟槽在宽度方向等距相交组成，所述单条复合型沟槽织构的形貌为增宽型沟槽形貌，所述增宽型沟槽形貌为平底“U”型槽，所述平底“U”型槽的深度与宽度比为1/10～3/20。本发明可以通过将多条平行沟槽织构在宽度方向上叠加的方法，能够实现较大范围的调节沟槽宽度。
织构单条单元沟槽平行沟槽形貌增宽相交形貌基体表面平行沟槽阵列分布逐渐变大宽度比变小等距叠加加工

[发明专利]一种调节式机械电火花刻槽装置-CN201811245985.9在审
发明人：解宝成;倪晓伟;刘建国;李恩 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明公开了一种调节式机械电火花刻槽装置，它涉及机械电火花设备技术领域；机架的底部安装有支撑脚，所述机架的内部安装有控制系统，所述机架的上端安装有数个支撑辊体机构，所述支撑辊体机构的上侧设置有管材，所述机架的中上端安装有自动压紧进料装置，且自动压紧进料装置与管材相配合，所述机架的右侧安装有电动伸降器，电动伸降器的升降螺杆上安装有安装平台，安装平台的上端安装有两个电动直线导轨，电动直线导轨的滑块上安装有激光刻槽装置，所述安装平台底部的两侧均安装有导向杆，且导向杆穿接在导向套内，两个导向套分别安装在电动伸降器的侧壁上；本发明便于实现快速定位式进料与刻槽，且卡槽速度快，便于实现快速清洁与冷却，效率高。
电火花安装平台伸降器上端进料装置刻槽装置直线导轨自动压紧导向杆导向套支撑辊管材设备技术领域激光刻槽控制系统快速定位内部安装升降螺杆支撑脚侧壁穿接滑块卡槽刻槽冷却清洁配合

[发明专利]波导微纳加工系统以及加工方法-CN201710305485.9有效
发明人：陶青;刘顿;王珏;陈列;娄德元;杨奇彪;彼得·贝内特;翟中生;郑重 -专利权人：湖北工业大学
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种加工成本低、精度高、一致性好的波导微纳加工系统以及加工方法。本发明所涉及的波导微纳加工系统，其特征在于，包括：光源部，提供激光束；加工部，将激光束聚焦至基底上进行光刻加工，并对加工过程进行实时监测，具有：可变焦透镜、三维形貌仪、相机、以及测温仪；多自由度工作台，根据预设的波导图案带动基底在多个自由度方向上进行移动；光学平台，用于安放多自由度工作台，并隔绝外界振动；吹气部，设置在多自由度工作台的一侧，对着加工区域进行吹气；吸气部，设置在多自由度工作台的另一侧，对吹气部吹送来的气体进行吸除；控制部，连接并控制光源部、加工部、多自由度工作台、光学平台、吹气部、以及吸气部的运行。
波导加工系统以及方法

[实用新型]一种针对脆性材料的裂片分割装置-CN201820444498.4有效
发明人：孙奉娄;何秀权;熊政军;刘红弟 -专利权人：中南民族大学
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种针对脆性材料的裂片分割装置，本实用新型将激光切割与机械剪裁方法结合，分割装置结构为料斗安装在自动上料机构的丝杠上，搬运机构安装在料斗和物料传送带上方，自动抓取机构安装在搬运机构上，CCD或CMOS图像采集系统、激光器分别安装在物料传送带上方，裂片传送带与物料传送带衔接，裂片传送带上方安装多个裂片刀具，裂片传送带下方对应安装有多条分拣传送带，每条分拣传送带一端与一个裂片分拣箱相衔接，裂片传送带末端与一裂片分拣箱相衔接。本实用新型实现对单个样品同时多次裂片，得到N个裂片，N≥2，既保持激光加工的快速、高效、均匀和安全的特点，又克服了机械加工容易崩边，碎裂的缺点。
裂片传送带本实用新型物料传送带分割装置搬运机构脆性材料分拣箱分拣料斗衔接自动上料机构传送带末端采集系统单个样品机构安装机械加工激光加工激光切割自动抓取碎裂激光器崩边丝杠刀具剪裁安全

[发明专利]一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃的加工方法-CN201610212984.9有效
发明人：丛启东;袁根福;章辰 -专利权人：江南大学
申请日： 2016-04-05 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供了一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃的方法，属于特种加工领域。本发明涉及到的加工方法主要分为四步：(1)将石英玻璃在夹具上装夹好，并向容器中添加硫酸铜溶液；(2)确定激光刻蚀石英玻璃的激光系统工艺参数及超声系统工艺参数；(3)确定激光扫描路径和扫描速度；(4)超声辅助激光按照扫描路径刻蚀石英玻璃。该方法主要是以激光背部湿刻法刻蚀石英玻璃为主，在激光刻蚀的基础上增加了超声振动、超声清洗以及二者之间的复合加工作用，实现超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃。本发明所提供的方法，可实现在石英玻璃表面上刻蚀出的凹槽表面不存在明显的熔渣及重铸层，且表面光滑、清洁，得到了良好的加工效果。
一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃加工方法

[发明专利]一种钢化玻璃的激光切割方法-CN201811129296.1在审
发明人：贡浩飞;潘华平 -专利权人：江苏金琥珀光学科技股份有限公司
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明涉及一种钢化玻璃的激光切割方法，包括步骤一、在钢化玻璃待切割起点位置布置双侧冷却射流辅助的激光切割光束；步骤二、将激光束透过第一玻璃聚焦在第二玻璃上表面进行扫描，在所述第二玻璃上表面切割出第一沟槽；步骤三、将激光束聚焦在所述第一玻璃上表面沿第一沟槽的轨迹进行扫描，在所述第一玻璃上表面切割出第二沟槽；步骤四、沿所述第一沟槽和所述第二沟槽自下往上施加压力进行裂片,或者沿所述第二沟槽和所述第一沟槽自上往下施加压力进行裂片。本发明利用了双侧冷却射流强制冷却的方法，对割缝中心的原照射位置形成两侧拉力，实现了按切割轨迹切开钢化玻璃，解决当前钢化玻璃无法切割的技术难题。
钢化玻璃上表面玻璃激光切割切割冷却射流施加压力裂片扫描激光束聚焦激光束透过技术难题强制冷却切割轨迹切割起点位置布置照射位置自上往下辅助的割缝切开聚焦

[发明专利]一种激光加工晶圆的方法及装置-CN201710575956.8有效
发明人：刘嵩;侯煜;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工晶圆的方法及装置，所述方法包括：对激光光束依次进行分束处理、整形处理、聚焦处理后形成具有设定图案分布的激光光斑；通过调整所述激光光斑的空间位置以在所述晶圆上表面形成凹槽。本发明能够在激光加工晶圆过程中，根据凹槽的特征将激光光束匹配至最佳设定图案分布，使得划片的激光光束能量分布更加均匀，使得在晶圆上表面形成的凹槽更加均匀，热影响区更小且均一性更高，进而提高在晶圆上表面的激光加工效果。
一种激光加工方法装置

[发明专利]一种激光雕刻的浮雕氧化铝型材的生产工艺及铝型材-CN201810663745.4在审
发明人：彭华领;胡小萍;李新义;陈巍;程长平;蓝培鸿 -专利权人：佛山市三水凤铝铝业有限公司;广东凤铝铝业有限公司
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光雕刻的浮雕氧化铝型材的生产工艺及铝型材，所述工艺包括：在自动化生产线上将铝型材浸泡于丙烯酸电泳液中阳极电泳处理，使铝型材表面形成一层电泳漆保护膜，再采用CAD/CAM技术设计雕刻图案，通过选择性激光雕刻在覆盖上电泳漆保护膜的铝型材上雕刻图案，然后将铝型材浸泡于刻蚀液中进行湿法刻蚀处理，使铝型材表面产生凹凸的浮雕图案；刻蚀后的铝型材再进行脱模处理，得到清洁裸露的表面；脱模处理后的铝型材进行硫酸阳极氧化，再进入装有电解着色液的电解槽中电解着色，然后浸泡于封孔液中封孔处理，得成品；所述工艺自动化程度高，提高了生产效率；通过该工艺制备的铝型材图案逼真、纹理清晰、凹凸感强烈。
铝型材浸泡铝型材表面雕刻图案激光雕刻脱模处理保护膜电泳漆生产工艺浮雕自动化生产线丙烯酸电解着色液工艺自动化选择性激光电解着色封孔处理浮雕图案工艺制备技术设计硫酸阳极生产效率湿法刻蚀阳极电泳纹理凹凸的凹凸感电解槽电泳液封孔液刻蚀液刻蚀雕刻裸露清洁图案清晰覆盖

[发明专利]一种激光划片的方法及系统-CN201610946556.9有效
发明人：周士安;任红艳;吴明 -专利权人：国神光电科技（上海）有限公司
申请日： 2016-11-02 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种激光划片的方法及系统，所述方法包括：激光器生成包络可调、线偏振、同源且相干由超短激光脉冲构成的两路激光：第一脉冲串和第二脉冲串；改变第一脉冲串或第二脉冲串的偏振态，使一个具有水平偏振，另一个具有垂直偏振；改变第一脉冲串或第二脉冲串的发散角使第一脉冲串和第二脉冲串具有不同的发散角；将第一脉冲串和第二脉冲串进行合束后聚焦于待划片物上并于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点组成的切割层；利用两个切割层中聚焦点于待划片物上的划动对待划片物进行划片。本发明采用两路脉冲串的激光划片方法，适用于较厚晶圆片（>150um）的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，还可以提高电性良率。
一种激光划片方法系统

[发明专利]一种激光加工晶圆的方法及装置-CN201710574565.4有效
发明人：侯煜;刘嵩;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工晶圆的方法及装置。所述方法包括：沿着晶圆上表面的预定切割道方向改变激光光束与预定切割道之间的相对位置以在所述预定切割道上形成凹槽；根据激光器的发射频率控制光程调制器实现周期性改变在晶圆上表面中激光光束的聚焦点位置，并沿所述预定切割道方向形成定制化焦点分布组合。本发明能够通过光程调制器周期性改变在晶圆上表面中激光光束的聚焦点位置实现激光加工的热效应平均化，减少剧烈能量对Low‑K材料的冲击，防止Low‑K层破裂以致剥落，提高激光加工工艺的均一性及其装置的可靠性。
一种激光加工方法装置

[发明专利]一种激光加工晶圆的装置及方法-CN201710575459.8有效
发明人：张紫辰;侯煜;刘嵩 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工晶圆的装置及方法，包括：激光器，用于发射激光光束；扩束准直元件，用于将激光光束扩束、准直，形成平行光束；相控型硅基液晶，用于对平行光束进行能量分布调制并形成任意定制型多光束集合、或进行整形处理并形成平顶光斑后发射至聚焦元件；聚焦元件，用于将所述任意定制型多光束集合或平顶光斑发射到所述晶圆上表面并沿预定切割道方向去除晶圆上表面的Low‑K材料。本发明能够通过相控型硅基液晶对平行光束进行能量分布调制或整形处理提高所述加工方法的工作效率、精确度以及分离晶圆的均匀性，且能适应各种平顶光斑的需求。
晶圆光斑平行光束平顶硅基液晶激光加工聚焦元件能量分布整形处理多光束上表面扩束相控调制集合发射激光光束工作效率激光光束准直元件激光器发射均匀性切割道去除准直加工

[发明专利]一种激光加工晶圆的方法及装置-CN201710574908.7有效
发明人：侯煜;刘嵩;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：本发明提供一种激光加工晶圆的方法及装置，所述方法是由至少两束具有不同能量分布的激光光束分别依次对晶圆上表面的预定切割道执行打毛进程和开槽进程，用以在所述晶圆上表面的预定切割道上形成凹槽。本发明能够通过能量较低的激光光束对晶圆上表面的预定切割道打毛并使预定切割道的表面粗糙化，以提高光吸收率，便于后续加工进程做准备，避免采用过高的激光光束对晶圆上表面Low‑K层加工并引起Low‑K材料的剥离从而导致晶圆损坏；同时，还能使后续加工进程中的激光光束能量的控制精度更高，进而提高在晶圆上表面的激光加工效果。
一种激光加工方法装置

[发明专利]激光加工装置-CN201810191012.5在审
发明人：森数洋司;武田昇 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-03-08 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： B23K26/364 文献下载
摘要：提供激光加工装置，实现激光加工的品质的进一步提高。激光加工装置的激光光线照射单元包含：激光振荡器，其振荡出具有比通过对被加工物照射激光光线而产生的电子激发的时间短的脉冲宽度的脉冲激光，并且设定重复频率以使得在电子激发时间内振荡出至少两个脉冲激光；聚光器，其对保持在卡盘工作台上的被加工物照射激光振荡器所振荡出的脉冲激光光线；以及间除单元，其配设在激光振荡器与聚光器之间，通过按照规定的周期对脉冲激光光线进行间隔剔除而将加工所需的脉冲激光光线引导至聚光器。
激光加工装置脉冲激光光线激光振荡器聚光器振荡被加工物电子激发脉冲激光激光光线照射照射激光光线激光加工间隔剔除重复频率脉冲卡盘照射加工