[发明专利]一种光学镜头的镀膜方法、装置及产品

说明书

本申请适用于光学镜头制造技术领域，提供了一种光学镜头的镀膜方法、装置及产品，所述方法包括：基于光学镜头的半径和光学镜头的第一膜层厚度获得补偿数据；基于补偿数据中最大值和第一预设弧度，获得第二预设弧度内的第二连续半径；基于第二预设弧度和第二连续半径，获得预设数量的基于光学镜头的中心对称的面形掩膜层；基于预设蒸发源和第一预设转动方式的面形掩膜层，在第二预设转动方式的至少1个光学镜头的预设镜面上进行预设时间的镀膜获得第一膜层厚度的镀膜层。本申请能够在光学镜头的预设镜面上形成预设不同厚度的镀膜层，提升了光学镜头表面的光学质量，大大减少了光学高精密抛光的加工时间，大幅降低了光学镜头的制造成本。

技术领域

本申请属于光学镜头制造技术领域，尤其涉及一种光学镜头的镀膜方法、装置及产品。

背景技术

由于光学设计软件的模拟镜头误差比较大(如误差为0.5μm)，精度不能一些用于军事、航天、遥感等领域光学拍照的中大口径(直径大于等于100mm)高精密镜头的要求。现有技术一般在光学镜头的镜面初次制成后，采用机械光学精密抛光，或采用磁流体法进行光学精密抛光，以获得较高质量粗糙度的光学表面。

但高精度的光学精密抛光设备昂贵，工艺复杂，要获得高质量的光学表面加工时间比较长，抛光成本比较高，亟需一种能降低抛光成本但又能获得高质量光学表面的方法。

发明内容

本申请实施例提供了一种光学镜头的镀膜方法、装置及产品，可以解决各口径光学镜头的初始表面误差较大的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种光学镜头的镀膜方法，包括：

基于所述光学镜头的半径和所述光学镜头的第一膜层厚度获得补偿数据，所述第一膜层厚度为所述光学镜头从中心依次到边缘的预设连续膜层厚度；

基于所述补偿数据中最大值和第一预设弧度，获得第二预设弧度内的第二连续半径，所述第二预设弧度≤2π，所述第二预设弧度≤π，所述第一预设弧度≥所述第二预设弧度；

基于所述第二预设弧度和所述第二连续半径，获得预设数量的基于所述光学镜头的中心对称的面形掩膜层；

基于第一预设转动方式的所述面形掩膜层和预设蒸发源，在第二预设转动方式的至少1个所述光学镜头的预设镜面上进行预设时间的镀膜获得所述第一膜层厚度的镀膜层，所述预设蒸发源为预设淀积方向的预设镀膜速率的蒸发源。

在本申请的实施例中，

所述基于所述补偿数据中最大值和第二预设弧度，获得第二预设弧度内的第二连续半径的步骤，包括：

基于所述补偿数据中最大值及第一预设弧度，获得预设掩膜区域的第二膜层厚度，所述第一预设弧度为所述预设掩膜区域对应角的弧度；

基于所述补偿数据中最大值和所述第二膜层厚度，获得第一预设弧度内的第一连续半径；

基于所述补偿数据中最大值和所述第一连续半径，获得第二预设弧度内的第二连续半径。

在本申请的实施例中，

所述第二膜层厚度的计算式为：

其中，d为所述第二膜层厚度，单位为nm；

k为所述补偿数据中的最大值，单位为nm；

θ为所述第一预设弧度；

π为圆周率。

在本申请的实施例中，

所述预设数量≥2。

在本申请的实施例中，

所述面形掩膜层包括至少1个扇形、三角形、四边形、或圆形的掩膜。