[发明专利]一种单晶炉自动调温方法

权利要求书

1.一种单晶炉自动调温方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤一：开始对单晶炉进行循环调温缓慢降液面当前温度及调节引晶功率，通过单晶炉自动调温的控制系统逻辑实时检测当次循环时单晶炉中液面当前温度，并根据单晶炉的起始引晶功率及设定的目标温度、降温周期、循环周期、功率调整系数来计算功率降幅，具体根据如下公式：

功率降幅=T/t*(A-C)*B*D，

其中：A：当前温度，C：目标温度，T：降温周期，t：循环周期，B：功率调整系数，D：起始引晶功率；

步骤二：根据步骤一获得的功率降幅及检测到的设定引晶功率来计算出一个调温循环周期结束后的显示功率，具体根据如下公式：

具体根据如下公式：P2=P0-T/t*(A-C)*B*D，

其中：A：当前温度，C：目标温度，T：降温周期，t：循环周期，B：功率调整系数，D：起始引晶功率，P0：设定引晶功率，P2：显示功率；

步骤三：一个循环调温周期结束后，下一个循环调温前温度对应的现有功率为P1，进行循环，在P1的基础上上升至此次循环调温结束时温度对应计算出的显示功率P2；

步骤四：不断进行单次调温循环比对，直至最后液面当前温度与目标温度相差值在1-3℃时，停止循环调温操作直接将功率提升到设定引晶功率P0达到自动调温的作用，开始进入稳温阶段。

2.根据权利要求1所述的单晶炉自动调温方法，其特征在于：单晶炉调温时间控制在65min内。

3.根据权利要求1所述的单晶炉自动调温方法，其特征在于：所述显示功率最小值为设定引晶功率*最低功率系数，最低功率系数为可调整量，具体公式如下：

Pmin=P0*e

其中，Pmin：显示功率最小值，e最低功率系数，e限定调温过程中允许最低功率。