[发明专利]一种单晶炉自动调温方法在审

专利信息
申请号: 202111050448.0 申请日: 2021-09-08
公开(公告)号: CN113913923A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 王艺澄;文勇;黄振华 申请(专利权)人: 包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
主分类号: C30B15/22 分类号: C30B15/22;C30B29/06
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 任立
地址: 014010 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明公开了一种单晶炉自动调温方法,具体为:对单晶炉进行循环调温缓慢降液面当前温度及调节引晶功率,通过单晶炉自动调温的控制系统逻辑实时检测当次循环时单晶炉中液面当前温度,并根据起始引晶功率及设定的目标温度、降温周期、循环周期、功率调整系数来计算功率降幅,根据功率降幅及设定引晶功率来计算出一个调温循环周期结束后的显示功率,下一个循环调温前温度对应的现有功率为P1,进行循环,在P1的基础上上升至此次循环调温结束时温度对应计算出的显示功率P2;不断循环以上操作,当温度相差设定的范围内时,功率直接上升到引晶功率P0,开始进度稳温阶段,本发明降低人员操作要求及对人员技能依赖程度,很好的控制调温时间。
搜索关键词: 一种 单晶炉 自动 调温 方法
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  • 2020-08-06 - 2020-10-02 - C30B15/22
  • 本发明涉及一种液相提拉晶体生长过程中的放肩过程的晶体形貌调节方法,特别涉及一种锑化铟晶体生长过程中放肩形貌的调节装置及调节方法。包括单晶炉装置和炉外控制装置,炉外控制装置包括:氢气流量计、氩气流量计、上位机控制装置、压力变送器、控压仪表、电控阀门、机械泵、分子泵前级阀、分子泵。由于本发明利用放肩过程中对动态气氛流量的精准控制,并通过缓慢线性的增大动态气氛流量,极大的提高了锑化铟单晶生长过程中的放肩过程持续稳定,晶体的放肩角度光滑连续,对晶体放肩过程的形貌有着较好的调节作用,有助于高质量的锑化铟单晶生长。
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