[发明专利]激光抛光实现激光氮化锆基非晶合金表面平坦化的方法有效

专利信息
申请号: 202110565580.9 申请日: 2021-05-24
公开(公告)号: CN113275740B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 黄虎;洪婧;钱永峰;王超;崔明明;刘翰林 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: B23K26/12 分类号: B23K26/12;B23K26/352;B23K26/354;B23K26/60
代理公司: 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 代理人: 李荣武
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 激光 抛光 实现 氮化 锆基非晶 合金 表面 平坦 方法
【权利要求书】:

1.一种激光抛光实现激光氮化锆基非晶合金表面平坦化的方法,其特征在于:通过在氮气氛围中对激光氮化锆基非晶合金表面进行多线扫描,实现激光与材料之间的热量传递,当激光束聚焦在激光氮化表面时,温度瞬间升高并将该表面融化,在重力和毛细力的作用下,表面变得平坦,从而降低表面粗糙度,具体步骤包括:

步骤A对锆基非晶合金表面进行机械研磨、抛光,并利用酒精进行清洗,获得光洁表面;

步骤B利用纳秒脉冲激光器,激光脉冲宽度为10ns,波长1064nm,重复频率600kHz,光斑直径43μm,在氮气氛围内在激光平均功率2.78W,扫描速度1mm/s,相邻扫描线重叠率50%的条件下,对锆基非晶合金表面进行辐照,制备激光氮化锆基非晶合金表面;

步骤C利用纳秒脉冲激光器在氮气氛围内对激光氮化锆基非晶合金表面进行快速多线扫描,先对激光氮化锆基非晶合金表面在激光平均功率3.75~8.82W,扫描速度100~500mm/s,相邻扫描线重叠率80~90%的条件下,进行激光粗抛光,大幅度降低表面粗糙度;再对激光粗抛光获得的表面在激光平均功率2.17~7.12W,扫描速度100~500mm/s,相邻扫描线重叠率80%的条件下,进行精细抛光,进一步降低表面粗糙度,通过改变激光抛光参数,来改变激光氮化锆基非晶合金表面的热量输入,从而实现对激光氮化锆基非晶合金表面粗糙度的调控。

2.根据权利要求1所述的激光抛光实现激光氮化锆基非晶合金表面平坦化的方法,其特征在于:步骤C中纳秒激光粗抛光工艺参数和纳秒激光精细抛光工艺参数为:激光脉冲宽度为10ns,波长1064nm,重复频率600kHz,光斑直径43μm。

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