[发明专利]硒源蒸发活化处理设备

权利要求书

1.一种硒源蒸发活化处理设备，包括硒源蒸发装置和硒源活化装置，其中，所述硒源活化装置包括：

硒源活化腔室，所述硒源活化腔室的一侧设置有活化腔室入口，与所述硒源蒸发装置出口相连；与所述硒源活化腔室的一侧相对的另一侧设置有活化腔室出口；

硒源活化器，设置于所述硒源活化腔室内部，用于有效活化所述硒源蒸发装置中的硒源蒸发出来的硒蒸气；

其中，所述硒源活化腔室和所述硒源活化器的制备材料均为非金属材料；所述硒源活化器的表面设置有n个螺旋状凹槽，其中，n≥3。

2.根据权利要求1所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述硒源活化装置还包括：

加热单元，包裹于所述硒源活化腔室的外侧，用于对所述硒源活化腔室进行加热；

第一保温单元，包裹于所述加热单元的外侧，用于维持所述硒源活化腔室的温度。

3.根据权利要求要求2所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述加热单元由钽丝或钼丝上下连续弯曲围成空心圆柱筒状。

4.根据权利要求2所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述第一保温单元外侧设置有小孔，用于通过外部加热电路对所述加热单元进行加热；所述第一保温单元包括k层金属保温材料，其中，k≥5。

5.根据权利要求1所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述硒源活化器设置于所述硒源活化腔室内部，包括：所述硒源活化器分别与所述活化腔室入口和所述活化腔室出口设置有预设距离。

6.根据权利要求1所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述所述硒源活化腔室的一侧设置有活化腔室入口，与所述硒源蒸发装置出口相连，包括：所述硒源活化室入口的内径大于所述硒源蒸发装置出口的外径，以保证所述硒源蒸发装置中的硒蒸气进入所述硒源活化腔室中。

7.根据权利要求1所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述硒源蒸发装置包括：硒源蒸发腔室，与所述硒源活化装置中所述活化腔室入口相连的所述硒源蒸发腔室一侧设置有所述硒源蒸发装置出口。

8.根据权利要求7所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述硒源蒸发装置还包括：第二保温单元，设置于所述硒源蒸发腔室的外侧，用于维持所述硒源蒸发腔室的温度。

9.根据权利要求7所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述硒源蒸发腔室的制备材料为非金属材料。

10.根据权利要求1或9所述的硒源蒸发活化处理设备，其中，所述非金属材料包括以下至少之一：石墨、氮化硼、Al₂O₃。