[发明专利]一种包含镍-钽活性扩散障层的耐熔盐腐蚀涂层及制备方法有效
| 申请号： | 202110369854.7 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113106393B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王成旭;朱佳慧;武明;王明佳;刘仲礼 | 申请（专利权）人： | 烟台大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C28/02;C23C18/32;C25D3/12 |
| 代理公司： | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 264005 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 包含 活性 扩散 耐熔盐 腐蚀 涂层 制备 方法 | ||
1.一种包含镍-钽活性扩散障层的耐熔盐腐蚀涂层，基体上的所述耐熔盐腐蚀涂层包括镍-钽活性扩散障内层以及纯镍外层；
其中，所述镍-钽活性扩散障内层的厚度为1μm至10μm，化学成分为镍含量30wt.%至75wt.%，其余为钽元素。
2.按照权利要求1所述的包含镍-钽活性扩散障层的耐熔盐腐蚀涂层，其特征在于：所述纯镍外层的厚度为30~50μm。
3.一种任一权利要求1~2所述的包含镍-钽活性扩散障层的耐熔盐腐蚀涂层的制备方法，其特征在于包括如下工序：工序一为镍-钽活性扩散障内层的制备，工序二为纯镍外层的制备。
4.按照权利要求3所述的包含镍-钽活性扩散障层的耐熔盐腐蚀涂层的制备方法，其特征在于：所述镍-钽活性扩散障内层的制备采用物理气相沉积法（PVD）。
5.按照权利要求3所述的包含镍-钽活性扩散障层的耐熔盐腐蚀涂层的制备方法，其特征在于：采用电沉积、物理气相沉积和化学镀涂层制备方法之一或其组合制备纯镍外层；
其中，所述电沉积方法包括但不限于直流电镀或脉冲电镀；
所述物理气相沉积方法包括但不限于磁控溅射、真空离子镀或真空电弧蒸镀；
所述的组合方式包括：（1）交替使用真空物理气相沉积、电沉积、化学镀方法中的两种或三种以上方法，依次制备厚度达到总厚度要求的纯镍外层；（2）同时使用真空物理气相沉积方法中的两种或三种以上方法，包括但不限于同时使用磁控溅射和真空电弧蒸镀。
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