[发明专利]真空搬运装置及搬运方法

说明书

本申请提供一种真空搬运装置及搬运方法，搬运装置包括传送机构以及承载机构，承载机构包括第一吸附构件、第二吸附构件以及供电装置，第一吸附构件与第二吸附构件相对设置，供电装置设置在第一吸附构件和第二吸附构件之间，供电装置用于为第一吸附构件和第二吸附构件提供吸附力，且承载机构可相对传送机构进行翻转，通过吸附构件的吸附面对转移的基板进行吸附，从而防止了基板的下垂问题，同时有效的提高了搬运的效率并简化了生产工艺。

技术领域

本申请涉及显示面板制造及运输领域，特别是涉及一种真空搬运装置及真空搬运方法。

背景技术

随着显示面板制造技术的不断提高，人们对显示面板的制备工艺以及在制备过程中的搬运方式也提出了更高的要求，以便制备并得到最佳性能的显示面板。

在显示面板的制备工艺过程中，需要对显示面板中的基板进行搬运并制备，当显示面板的尺寸越大，其对应的基板的尺寸也越大。现有技术中，在对大尺寸的基板进行运输以及加工过程时，往往需要通过卡盘将大尺寸的基板的四周卡合，然后在进行传送并进一步加工。但是，由于大尺寸基板的重量以及其对应的表面积均较大，当通过对基板的四周进行卡合时，在基板的中间区域内，由于重力的作用，基板会出现较大程度的下垂，使得基板的表面变成非水平面，当在该非水平面上继续钻孔时，便会出现精度偏差。同时，由于该传送方式是通过卡盘对四周的边缘区域进行卡合，这种搬运方式对设备的要求较高，一旦卡合不牢固，极容易造成基板掉落，从而不利于显示面板的制备。

综上所述，在现有的对显示面板的基板的搬运以及制备过程中，尤其对于大尺寸显示面板而言，往往通过卡合的搬运方式进行搬运及加工，但是通过卡合的方式进行搬运，基板容易卡合不牢固，并且所卡合的基板容易出现下垂量过大等问题，从而不利于基板的搬运以及显示面板的制备。

发明内容

本申请实施例提供一种真空搬运装置及搬运方法，以有效的改善显示面板的基板在搬运的过程中，基板容易出现下垂量过大的问题，进而影响显示面板的制备等问题。

为解决上述技术问题，本申请实施例提供的技术方法如下：

本申请实施例的第一方面，提供了一种真空搬运装置，包括：

传送机构；以及，

承载机构，所述承载机构设置在所述传送机构上，并可随所述传送机构移动；

其中，所述承载机构包括第一吸附构件以及第二吸附构件，所述第一吸附构件与所述第二吸附构件相对设置，且所述第一吸附构件和所述第二吸附构件具有吸附面，所述承载机构可相对所述传送机构进行翻转。

根据本申请一实施例，所述真空搬运装置还包括顶出机构，所述顶出机构设置在所述承载机构内，所述顶出机构可相对所述第一吸附构件和所述第二吸附构件进行伸缩，当进行真空搬运时，所述顶出机构相对所述第一吸附构件或所述第二吸附构件伸出。

根据本申请一实施例，所述第一吸附构件和所述第二吸附构件还设置有顶出孔，所述顶出孔与所述顶出机构对应设置，当所述真空搬运装置工作时，所述顶出机构沿着所述顶出孔伸出。

根据本申请一实施例，所述顶出机构包括顶针，所述顶针的长度小于所述承载机构的厚度，当所述真空搬运装置不工作时，所述顶针收缩在所述顶出孔内。

根据本申请一实施例，所述承载机构还包括供电装置，所述供电装置设置在所述第一吸附构件与所述第二吸附构件之间。

根据本申请一实施例，所述传送机构包括第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域，所述第一工作区域与所述第二工作区域相邻，所述第二工作区域与所述第三工作区域相邻，且所述真空搬运装置在所述第一工作区域、第二工作区域以及第三工作区域内的工作状态均不相同。

根据本申请一实施例，所述真空搬运装置还包括钻孔装置，所述钻孔装置对应的设置在所述第三工作区域内。