[发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，具备：

物体保持部，其保持物体；

第1底座，其支承该物体保持部；

驱动部，其使该物体保持部往彼此交叉的第1方向与第2方向移动；

第2底座，其与该第1底座分离设置，并支承该驱动部；

基准构件，其作为该驱动部所进行的该物体保持部的移动的基准；

第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该物体保持部相对该驱动部的位置信息，该多个第1读头设在该物体保持部与该驱动部的一方，该第1格子构件设在该物体保持部与该驱动部的另一方且具有该第1方向与该第2方向的测量成分，并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该物体保持部于该第1方向的移动范围；

第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该驱动部相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该驱动部与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在该驱动部与该基准构件中的另一方且具有该第1方向及该第2方向的测量成分，并可测量该物体保持部于该第2方向的移动范围；以及

测量部，根据由该第1测量系统及该第2测量系统的各个的测量系统所取得的位置信息，测量相对该基准构件的该第1方向与该第2方向的该物体保持部的位置；

该驱动部，于该第2底座上往该第1方向与该第2方向移动，并根据该测量部的测量结果，使该物体保持部在该第1底座上移动。

2.一种曝光装置，其具备：

如权利要求1所述的移动体装置；以及

对该物体照射能量束，以使该物体曝光的光学系统。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其中，该第1方向是于该曝光时，该物体通过该物体保持部而相对该光学系统相对移动的方向。

4.如权利要求2或3所述的曝光装置，其中，该第2方向是具有多个区划区域的该物体，为变更该曝光的对象区域而移动的方向。

5.如权利要求2至4中任一项权利要求所述的曝光装置，其中，该物体是用于平板显示器的基板。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其中，该基板的至少一边的长度或对角长为500mm以上，且该基板用于平板显示器。

7.一种平板显示器的制造方法，其包含：

使用权利要求2至6中任一项权利要求所述的曝光装置使基板曝光的动作；以及

使曝光后的该基板显影的动作。