[发明专利]成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法

说明书

本发明提供一种成膜装置、成膜方法、及电子器件的制造方法。在多个群集型单元连结的结构的成膜装置中，提供一种用于实现高精度的膜厚控制和高生产性的技术。成膜装置具备：具有对基板成膜出第一层的第一成膜室的群集型的第一单元；具有与第一层重叠地成膜出第二层的第二成膜室的群集型的第二单元；配设在第一单元与第二单元之间并将相邻的群集型的单元连结的连结室；至少一部分设置于连结室包含的通路室内，测定在通路室收容的基板上成膜的膜的膜厚的膜厚测定部；以及基于通过膜厚测定部测定的膜厚，控制第一成膜室的成膜条件及第二成膜室的成膜条件中的至少一方的控制部。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法、及电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，有机EL显示装置(有机EL显示器)作为平板显示装置而备受关注。有机EL显示装置为自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶显示器优异，在以监视器、电视机、智能手机为代表的各种便携终端等中取代既存的液晶面板显示器而逐渐普及。而且，也将其应用领域扩展于汽车用显示器等。

构成有机EL显示装置的有机EL元件(有机发光元件，OLED：Organic LightEmitting Diode)具有形成有功能层的基本结构，该功能层具有在两个面对的电极(阴极电极、阳极电极)之间产生发光的作为有机物层的发光层。有机EL元件的功能层及电极层例如可以通过将构成各个层的材料在真空成膜装置内经由掩模向基板成膜来制造。

有机EL元件通过将基板向各成膜室顺次传送并在基板的被处理面上顺次形成电极及各种功能层来制造。专利文献1公开了在将多个群集型单元连结的结构的制造装置中，在各个单元设置多个成膜室和检查室，将在某成膜室成膜的基板向检查室传送以测定膜厚的结构。并且，公开了使用膜厚测定结果进行发光特性模拟，基于模拟结果，在同一成膜室或其他的成膜室进行色度补正层的成膜的结构。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2005-322612号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

在专利文献1的结构中，由于在群集型单元内设置有检查室，因此不得不使用配置在单元中央的基板传送机器人进行基板的向检查室的送入送出。在该情况下，仅为了检查室内的检查而使用基板传送机器人，与在群集型单元内未设置检查室的情况相比基板传送机器人的运转率上升，存在保养费用增大的课题。而且，由于在检查用中占有在成膜用中能够使用的一个室，因此通过一个单元能够成膜的层数(与没有检查室的情况相比)减少。其结果是，例如，以往通过三个单元能够制造，但是产生需要四个以上的单元等弊病。该弊病除了可能导致单元间的交接工时的增加引起的生产能力的下降之外，还可能导致制造装置整体的大型化(设置面积的增大)。

本发明是鉴于上述实际情况而作出的发明，其目的在于提供一种在多个群集型单元连结的结构的成膜装置中用于实现高精度的膜厚控制和高生产性的技术。

【用于解决课题的方案】

本公开包括成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置具备：

群集型的第一单元，所述第一单元具有第一传送机构以及配设在所述第一传送机构的周围且包括对基板形成第一膜的第一成膜室的多个成膜室；

群集型的第二单元，所述第二单元具有第二传送机构以及配设在所述第二传送机构的周围且包括对所述基板形成与所述第一膜重叠的第二膜的第二成膜室的多个成膜室；

连结室，所述连结室配设于从所述第一单元至所述第二单元的所述基板的传送路径，将两个群集型的单元连结；及

第一测定部，所述第一测定部的至少一部分设置于所述连结室，测定成膜于所述基板的膜的厚度。

【发明效果】