[发明专利]一种半导体硅片用电阻检测分类装置

说明书

本发明公开了一种半导体硅片用电阻检测分类装置，属于半导体硅片技术领域，包括底箱、除尘机构、夹紧机构，所述底箱的正面两端设有防护门，所述防护门的表面右侧安装门扣，所述底箱的顶部安装壳体，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱、排尘口、抽气泵、吸尘头、吸尘管，所述检测机构包括气缸、安装板、安装壳、传感器、检测探头，本发明通过设置除尘机构，可以使在进行对半导体硅片进行检测时，会使检测的准确性提高，从而降低过多的损失，也起到提高一定的检测效率。

技术领域

本发明属于半导体硅片技术领域，具体涉及一种半导体硅片用电阻检测分类装置。

背景技术

半导体硅片是一类具有半导体性能，用来制作半导体器件的硅材料，主要包括硅粉、硅棒、硅片、籽晶、单晶硅、多晶硅、半导体晶体管、单晶硅棒、单晶硅片、单晶硅切磨片、单晶硅抛光片、单晶硅外延片、单晶硅太阳能电池板、单晶硅芯片、砷化镓、单晶锗、太阳能电池圆片、方片、二级管、三级管、硅堆、复合半导体器件、微波射频器件、可控硅器件、高频管、低频管、功率管、MOS管、集成电路等等。

目前，在进行对半导体硅片进行电阻检测途中，由于硅片上的表面所残留的积尘，会使使检测的数值不准确，易造成不必要的损失，且由于检测完后，需要把合格与不合格的半导体硅片进行分类，这个过程通常是由人工来完成的，从而导致检测效率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体硅片用电阻检测分类装置，通过设置除尘机构，可以使在进行对半导体硅片进行检测时，会使检测的准确性提高，从而降低过多的损失，也起到提高一定的检测效率，通过设置夹紧机构，可以使当检测出不合格的产品时，通过其进行对其产品夹住，从而移动到不合格存放箱中，从而减轻人工分类的工作量，也提高了分类的效率；通过设置防护棉，可使在进行对半导体硅片进行夹紧分类时，对其起到一定的保护性，防止在夹紧时，使其造成损坏，避免造成经济损失，通过设置传感器，可使在通过检测探头进行检测的数值通过传输到终端，从而保障了数值的准确性。

以解决上述背景技术中提出现有技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种半导体硅片用电阻检测分类装置，包括底箱、除尘机构、夹紧机构，所述底箱的正面两端设有防护门，所述防护门的表面右侧安装门扣，所述底箱的顶部安装壳体，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱、排尘口、抽气泵、吸尘头、吸尘管，所述检测机构包括气缸、安装板、安装壳、传感器、检测探头，所述夹紧机构包括电机、第一螺纹杆、第一轴承、第一滑块、第一电动伸缩杆、安装块、第二电动伸缩杆、放置壳、马达、第二滑块、第二螺纹杆、第二轴承、固定夹爪、移动夹爪、防护棉。

优选的，所述底箱的顶部中心安装检测台，所述检测台的顶部两端固定安装固定块，所述底箱的内部两端分别设有合格存放箱与不合格存放箱，所述合格存放箱的右侧安装第一出料口，所述不合格存放箱的左侧安装第二出料口。

优选的，所述壳体内的底部部两端固定电机，所述电机的输出端活动连接第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的另一端活动连接第一轴承，所述第一螺纹杆的表面螺纹连接第一滑块。

优选的，所述第一滑块的右侧固定第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的另一端固定安装块，所述安装块的顶部固定第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆连通安装块的另一端固定放置壳。

优选的，所述放置壳的右侧安装马达，所述马达的输出端活动连接第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的另一端活动连接第二轴承，所述第二螺纹杆的表面螺纹连接第二滑块，所述第二滑块的底部通过连杆固定移动夹爪，所述放置壳的底部右端安装固定夹爪，所述移动夹爪与固定夹爪的内侧安装防护棉。

优选的，所述壳体的内部上方固定气缸，所述气缸的输出端固定安装板。