[发明专利]一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法

说明书

本发明公开了一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法，属于硅片输送设备技术领域。本发明的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。本发明的载板输送系统及输送方法，上料效率和输送效率高，所输送的硅片不易发生损坏。

技术领域

本发明涉及硅片输送设备技术领域，更具体地说，涉及一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法。

背景技术

在太阳能电池生产过程中，常通过运输载板在各工序之间实现硅片的输送。当空载板进入上料工位后，上料装置将工位内成组的硅片同时进行真空吸附，然后载有硅片的真空吸盘在机械臂的驱动下移动至运输载板内硅片载盘的上方，最后将硅片放入载盘后对真空吸盘进行真空破坏并完成硅片的上料，上料完成后的载板继续输送。其中，由于运输轨道与载板间配合的限制，载板进入上料工位时不一定处于正位，从而不能确保硅片准确地进入载盘内。

发明创造名称为一种硅片的定位输送装置(申请号为2018116185792)的中国专利文件提供了一种解决方案，该方案的定位输送装置包括机架，机架顶部设置有传送链板，传送链板顶部设置有两条平行的X轴导轨，X轴导轨顶部通过电动滑块安装有两条平行的Y轴导轨，Y轴导轨顶部通过电动滑块安装有硅片定位板，硅片定位板顶部设置有若干定位吸盘，硅片定位板顶部中心位置设置有正位吸盘，正位吸盘底部连接有竖直升降柱，竖直升降柱底端安装有转位马达，转位马达固定设置在硅片定位板内。

然而，对于非固定载具式的硅片载板，硅片载板间的尺寸存在差异，且载具与载板间，以及载具与载具间均存在活动间隙，因而即使已经对载板进行定位调整，机械臂按照预设程序直接将硅片放入载具中时，硅片相对于载具的位置也不一定准确，进而使得硅片的边沿容易与载具或载板发生接触和磕碰，导致硅片发生损坏。

发明内容

1.发明要解决的技术问题

本发明的目的在于克服现有技术中硅片上料过程中其相对于载板内载具不能准确定位的不足，提供一种硅片载盘推齐定位装置。本方案通过载板推齐单元对载板进行推齐操作，并通过载盘定位单元对载盘进行推齐和定位操作，使得载板内的载盘均处于上料位正位，从而防止硅片在上料的过程中其边沿与载盘发生接触或磕碰而发生损坏。

本分明的另一个目的在于提供一种硅片载板输送系统，以及利用该硅片载板输送系统进行载板输送的方法。按照本发明的输送方法，利用本发明的输送系统对硅片进行输送，其上料效率和输送效率较高，所输送的硅片不易发生损坏。

2.技术方案

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：

本发明的一种硅片载盘推齐定位装置，其包括，

载板推齐单元，载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；输送轨用于沿第一方向输送载板，阻挡机构具有阻挡件，载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；以及，

载盘定位单元，载盘定位单元包括载盘推齐机构、载盘定位机构和安装架，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件；

硅片载盘推齐定位装置被配置为：阻挡件阻挡载板停下，第一驱动件驱使第一推齐件沿第二方向移动以将载板推齐，升降机构驱使输送轨沿第三方向运动以使载板支撑在安装架上；之后，第二驱动件驱使第二推齐件移动以将载盘推齐，载盘定位机构调整载盘相对于输送轨的角度和位置。

进一步地，输送轨包括平行设置的第一轨道和第二轨道，载板推齐机构设置在第一轨道上，第一推齐件的自由端朝向第二轨道设置。