[发明专利]一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法

权利要求书

1.一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：包括，

载板推齐单元(200)，所述载板推齐单元(200)包括输送轨(210)和升降机构(220)，所述输送轨(210)上设置有阻挡机构(230)和载板推齐机构(240)；所述输送轨(210)用于沿第一方向输送载板(400)，所述阻挡机构(230)具有阻挡件，所述载板推齐机构(240)包括第一驱动件和第一推齐件；以及，

载盘定位单元(300)，所述载盘定位单元(300)包括载盘推齐机构(310)、载盘定位机构(320)和安装架(330)，所述载盘推齐机构(310)包括第二驱动件和第二推齐件；

所述硅片载盘推齐定位装置被配置为：所述阻挡件阻挡载板(400)停下，所述第一驱动件驱使第一推齐件沿第二方向移动以将所述载板(400)推齐，所述升降机构(220)驱使所述输送轨(210)沿第三方向运动以使所述载板(400)支撑在所述安装架(330)上；之后，所述第二驱动件驱使第二推齐件移动以将所述载盘(420)推齐，所述载盘定位机构(320)调整载盘(420)相对于输送轨(210)的角度和位置。

2.根据权利要求1所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述输送轨(210)包括平行设置的第一轨道和第二轨道；所述载板推齐机构(240)设置在第一轨道上，所述第一推齐件的自由端朝向第二轨道设置。

3.根据权利要求2所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述载板推齐机构(240)至少设置有两个，至少两个所述载板推齐机构(240)中的至少一个位于第一轨道上靠近前端的位置，至少两个所述载板推齐机构(240)中的至少一个位于第一轨道上靠近后端的位置；和/或，

所述阻挡机构(230)设置为两个，两个所述阻挡机构(230)分别设置在第一轨道和第二轨道上。

4.根据权利要求2所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述阻挡件具有阻挡部，所述阻挡件由第三驱动件驱动以使阻挡部旋转至阻挡位；或者，

所述阻挡件的阻挡部连接在第三驱动件的运动端上，所述阻挡部由第三驱动件驱动以伸长至阻挡位。

5.根据权利要求1所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述载盘推齐机构(310)还包括第四驱动件，所述第四驱动件用于驱使所述第二推齐件沿第三方向运动。

6.根据权利要求1所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述载盘定位机构(320)包括二维移动平台和旋转平台，所述二维移动平台用于调整载盘推齐机构(310)相对于输送轨(210)在第一方向和第二方向上的位置，所述旋转平台用于调整载盘推齐机构(310)相对于输送轨(210)的角度；或者，

所述载盘定位机构为高精度回转定位平台。

7.根据权利要求1所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述载盘推齐机构(310)设置有多个，多个所述载盘推齐机构(310)沿第一方向排列。

8.根据权利要求1所述的一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：所述输送轨(210)上方设置有多个拍摄相机(140)，多个所述拍摄相机(140)用于采集载盘(420)的位置信息和角度信息。

9.一种硅片载板输送系统，其特征在于：包括上料装置(100)和载盘推齐定位装置，所述载盘推齐定位装置为权利要求1～8中任一项所述的载盘推齐定位装置，所述上料装置(100)的上料机构(110)能够沿第二方向将硅片(500)输送至上料位。

10.一种硅片载板输送方法，其特征在于：采用权利要求9所述的输送系统进行硅片(500)的输送，具体包括以下步骤：

步骤一、载板(400)沿着输送轨(210)进入载盘推齐定位装置，阻挡机构(230)的阻挡件完成对载板(400)的阻挡，载板推齐机构(240)完成对载板(400)的推齐；

步骤二、升降机构(220)驱动输送轨(210)下降，使得载板(400)支撑在载盘推齐机构(310)上；载盘推齐机构(310)的第四驱动件驱使第二推齐件沿第三方向顶升，第二驱动件驱使第二推齐件将所述载盘(420)推齐；

步骤三、输送轨(210)上方的多个拍摄相机(140)对载盘(420)的位置信息和角度信息进行采集，同时计算出载盘(420)相对于输送轨(210)的偏移距离和偏移角度；

步骤四、第四驱动件驱使第二推齐件沿第三方向缩回，载盘定位机构(320)完成对载盘(420)相对于输送轨(210)位置和角度的调整；上料装置(100)对载板(400)进行硅片(500)的上料；

步骤五、载板(400)完成硅片(500)的上料后，继续向下游工序输送。