[实用新型]低温等离子体表面处理装置

说明书

本实用新型涉及低温等离子体表面处理装置。更详细地，本实用新型涉及用于提高生物材料的生物相容性的低温等离子体表面处理装置。

技术领域

本实用新型涉及利用低温等离子体的表面处理装置(Low temperature plasmadevice for surface treatment)。更详细地，本实用新型涉及用于提高生物材料的生物相容性的低温等离子体表面处理装置。

背景技术

用于提高生物材料的生物相容性的低温等离子体表面处理技术为近期对此需求发生急剧增加的高附加值生物表面处理技术。对于2000年代初期作为半导体、显示产业的表面处理技术而急速发展的大气压等离子体技术，近期通过生物-等离子体技术之间的融合而具有开创出保健相关的新技术领域的趋势，可以适用于医疗与保健相关的多种应用领域。

目前在韩国正在开发中的低温等离子体表面处理技术中，作为生物材料表面处理的代表性例子有利用等离子射流(Plasma Jet)的种植体夹具(fixture)表面处理装置。所述等离子体射流形式具有如下问题：持续供给惰性气体(Ar、He)的必要性、因铅笔类型处理形式引起的处理不均匀性、手术现场中的难以方便使用等。因此，相关产业界对于能够解决上述问题的低温等离子体表面处理技术的需求正在急剧增加。

作为本实用新型的背景技术，大韩民国注册专利号第10-0595418号中记载有铝等离子体腔室及其制造方法。

实用新型内容

需要解决的问题

本实用新型的目的在于提供一种低温等离子体表面处理装置，该低温等离子体表面处理装置用于提高生物材料的生物相容性且用于超亲水表面处理。

本实用新型的另一目的在于提供一种低温等离子体表面处理装置，该低温等离子体表面处理装置用于杀菌。

本实用新型的又一目的在于提供一种在牙科医院可供医生容易使用的形式的低温等离子体表面处理装置，以用于牙科种植体材料的表面处理。

本实用新型的其它目的以及优点通过下述发明的详细描述、权利要求以及附图更加明确。

解决问题的手段

根据一个方面，提供一种低温等离子体表面处理装置，包括：腔室，该腔室内设置有至少一个管状的低温等离子体发生部，以用于供被处理物插入；盖部，该盖部可开闭地覆盖所述腔室的上表面，低温等离子体发生部为从外侧以第一电极、介电体管和第二电极的顺序围绕布置的管状，所述第一电极为用于施加电压的电极，所述第二电极为接地电极。

根据一个实施方式，所述第二电极可以为图案型或多孔性形态。

根据一个实施方式，还可以包括活性物种排出单元，该活性物种排出单元用于排出所述腔室内部产生的活性物种。

根据一个实施方式，所述盖部可以构成为能够独立地开闭所述低温等离子体发生部。

根据另一方面，提供一种低温等离子体表面处理装置，包括腔室，该腔室内设置有至少一个管状的低温等离子体发生部，以用于供金属材料的被处理物插入，所述低温等离子体发生部包括：介电体管；以及第一电极，该第一电极设置在所述介电体管的外侧，所述第一电极为用于施加电压的电极，金属材料的被处理物为接地电极。

根据一个实施方式，所述介电体管可以由陶瓷、高分子聚合物或玻璃制成。

根据一个实施方式，所述介电体管的一侧用于供被处理物插入，所述介电体管的另一侧上还可以设置有活性物种排出单元。

根据一个实施方式，所述活性物种排出单元可以包括：管，该管与所述介电体管连接；泵，该泵与所述管连接；以及臭氧去除部，该臭氧去除部设置在所述泵的前侧或后侧。