[实用新型]自动解键合机

说明书

本实用新型涉及一种自动解键合机，其衬底吸附加热装置包括上连接板、设置于所述上连接板下侧面的上真空吸盘以及设置于所述上连接板上侧面的焊接波纹管，向焊接波纹管内充气后，通过焊接波纹管的伸长能驱动上真空吸盘向靠近正下方的衬底吸附固定顶片装置运动，上真空吸盘与衬底吸附固定顶片装置上的键合衬底组接触后，通过上真空吸盘能对键合衬底组加热直至使得键合衬底组解键合，解键合后得到的下衬底能吸附在衬底吸附固定顶片装置上，解键合后得到的上衬底能吸附在上真空吸盘上。本实用新型结构紧凑，能有效确保解键合过程中上真空吸盘与下真空吸盘间的平行，提高解键合的成功率，安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种解键合机，尤其是一种自动解键合机，属于微纳米的技术领域。

背景技术

在MEMS领域，解键合是一种常用的加工方法，通常是将已经用胶粘在一起的衬底通过热滑移的方式，将两片衬底重新分离。解键合工艺过程中要始终保证上下吸盘平行，否则会导致衬底碎裂或不能完成衬底分离，目前的解键合机难以满足解键合工艺的需要。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种自动解键合机，其结构紧凑，能有效确保解键合过程中上真空吸盘与下真空吸盘间的平行，提高解键合的成功率，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述自动解键合机，包括机壳，在所述机壳内设置能吸附键合衬底组的衬底吸附固定顶片装置以及能对键合衬底组进行加热的衬底吸附加热装置，所述衬底吸附加热装置位于机壳内的上部，衬底吸附固定顶片装置通过机械手安装于机壳内的下部，衬底吸附固定顶片装置通过机械手在机壳内能运动至衬底吸附加热装置的正下方；

所述衬底吸附加热装置包括上连接板、设置于所述上连接板下侧面的上真空吸盘以及设置于所述上连接板上侧面的焊接波纹管，向焊接波纹管内充气后，通过焊接波纹管的伸长能驱动上真空吸盘向靠近正下方的衬底吸附固定顶片装置运动，上真空吸盘与衬底吸附固定顶片装置上的键合衬底组接触后，通过上真空吸盘能对键合衬底组加热直至使得键合衬底组解键合，解键合后得到的下衬底能吸附在衬底吸附固定顶片装置上，解键合后得到的上衬底能吸附在上真空吸盘上。

还包括能对焊接波纹管运动进行导向的波纹管导向柱，波纹管导向柱的一端与机壳内的顶端连接，波纹管导向柱的另一端穿过上连接板，波纹管导向柱位于上连接板下方的端部设置导向柱限位端板，波纹管导向柱上套设有导向柱弹簧，所述导向柱弹簧位于导向柱限位端板与上连接板之间。

在所述上连接板上设置若干推拉气缸，所述推拉气缸的活塞杆上设置锁紧块，通过推拉气缸以及锁紧块能对相对应的波纹管导向柱锁死。

所述衬底吸附固定顶片装置包括用于与机械手连接的支撑法兰、位于所述支撑法兰正上方的下连接板以及能将下衬底顶起的衬底顶升机构，所述下连接板通过若干连接板支撑柱支撑在支撑法兰上；在下连接板上设置下真空吸盘，在下真空吸盘上设置若干贯通所述下真空吸盘的下真空吸附孔。

所述衬底顶升机构包括设置于支撑法兰上的顶针升降气缸以及若干能从下真空吸盘穿出的弹性顶针，所述弹性顶针通过顶针固定块与顶针升降气缸的活塞杆适配连接；通过弹性顶针能将下衬底从下真空吸盘上顶起。

所述机壳包括两对称分布的立板以及与所述立板固定连接的顶板，衬底吸附加热装置安装于顶板的内侧面上，在顶板上设置能对焊接波纹管进行充气的波纹管充放气接口。

所述机壳支撑于架体上，在架体的侧面板上设置内嵌拉手，在架体的底端设置若干均匀分布的支撑脚座。

在架体的正面设置显示屏，所述显示屏的显示屏壳体通过铰链与架体连接。