[实用新型]一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置

说明书

本实用新型公开了一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置，包括机架，机架上设置有安装平台，安装平台上安装有支座，该支座上摆动安装有摆架，该摆架由摆动动力装置驱动摆动，摆架的下端安装有柱面座体，该柱面座体上具有一个内凹的吸附面，该吸附面为圆柱面，柱面座体的摆动中心为圆柱面的中心轴，柱面座体上设置有负压抽吸腔，该负压抽吸腔与负压装置连通，吸附面上设置有若干个与负压抽吸腔连通的吸气孔，柱面座体的一端设置有用于校准激光直写曝光机的DMD曝光镜头的校准相机。该工件驱动装置可以吸附弧形工件并带动弧形工件绕中心轴摆动，这样可以减少DMD曝光镜头的动作，使曝光动作更加可靠，为在弧形面上的曝光提供了条件。

技术领域

本实用新型涉及一种工件驱动装置，尤其涉及一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置。

背景技术

近来，利用激光进行的直接描画的技术(Laser Direct Imaging,LDI)，即不需要底片的无光罩曝光方式，正在广泛地被使用，以取代传统利用光罩的汞灯曝光模式。此种激光直接曝光方目前还是存在一个缺点，就是激光直接曝光设备一般都是只能对平面的工件表面曝光，而无法对弧形工件的表面曝光。该限制弧形工件曝光的主要原因是目前的激光直接曝光设备的工件是平面工件，工件是直接固定在一个平台上，然后DMD曝光镜头在工件的上方进行水平面X轴方向和水平面Y轴方向移动，形成整个工件范围内是平面扫描曝光。然这种结构并不适合弧形工件的曝光。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置，该工件驱动装置可以吸附弧形工件并带动弧形工件绕中心轴摆动，这样可以减少DMD曝光镜头的动作，使曝光动作更加可靠，为在弧形面上的曝光提供了条件。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种弧形工件激光直写曝光机的工件驱动装置，包括机架，所述机架上设置有安装平台，所述安装平台上安装有支座，该支座上摆动安装有摆架，该摆架由摆动动力装置驱动摆动，所述摆架的下端安装有柱面座体，该柱面座体上具有一个内凹的吸附面，该吸附面为圆柱面，柱面座体的摆动中心为圆柱面的中心轴，所述柱面座体上设置有负压抽吸腔，该负压抽吸腔与负压装置连通，所述吸附面上设置有若干个与负压抽吸腔连通的吸气孔，所述柱面座体的一端设置有用于校准激光直写曝光机的DMD曝光镜头的校准相机。

作为一种优选的方案，所述摆架包括第一摆臂单体和第二摆臂单体，第一摆臂单体的一端和第二摆臂单体的一端分别摆动安装于支座上，所述第一摆臂单体的另一端和第二摆臂单体的另一端均通过水平设置的连接轴与柱面座体的两端连接。

作为一种优选的方案，所述第一摆臂单体和第二摆臂单体之间设置有连接杆，所述摆动动力装置为力矩电机，该力矩电机固定在支座上，该第一摆臂单体和第二摆臂单体的一端固定于力矩电机的旋转动力端。

作为一种优选的方案，所述第一摆臂单体、第二摆臂单体和连接轴上设置有镂空条孔，所述连接杆的两端分别与第一摆臂单体、第二摆臂单体之间通过螺钉可拆卸连接。

作为一种优选的方案，所述校准相机可拆卸安装于柱面座体上。

作为一种优选的方案，所述柱面座体的一端设置有一个矩形缺口，该矩形缺口的周边设置有螺钉孔，所述校准相机包括相机本体和设置于相机本体外边缘的安装法兰，所述相机本体设置于矩形缺口内，安装法兰通过安装于螺钉孔内的螺钉固定于柱面座体上。

作为一种优选的方案，所述柱面座体的吸附面上设置有方便弧形工件定位的端部定位机构。

作为一种优选的方案，所述端部定位机构包括至少一个定位柱，该定位柱设置于吸附面的一端且靠近校准相机。