[发明专利]一种等离子工艺设备

权利要求书

1.一种等离子工艺设备，所述等离子工艺设备包括电磁波转换组件和工艺腔，所述电磁波转换组件包括天线板，所述天线板用于接收电磁波，且所述天线板设置在所述工艺腔内，以将接收到的电磁波以电磁场的形式馈入所述工艺腔中，其特征在于，所述天线板包括中央区域和环绕所述中央区域设置的边缘区域，在所述中央区域形成有至少一个中央缝隙，且在所述边缘区域形成有至少一个边缘缝隙；

所述天线板包括天线板主体、至少一个连接部和至少一个支臂部，所述支臂部与所述连接部一一对应，所述连接部用于将与该连接部相对应的支臂部与所述天线板主体连接，以在所述支臂部与所述天线板主体之间形成所述边缘缝隙，所述连接部和所述支臂部的延伸方向相交。

2.根据权利要求1所述的等离子工艺设备，其特征在于，所述支臂部沿所述天线板主体的周向延伸。

3.根据权利要求2所述的等离子工艺设备，其特征在于，所述连接部沿所述天线板主体的径向延伸。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的等离子工艺设备，其特征在于，多个所述中央缝隙沿圆周方向阵列排布。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的等离子工艺设备，其特征在于，所述电磁波转换组件还包括石英窗和慢波板，所述慢波板设置在所述天线板背离所述工艺腔的一侧，所述石英窗设置在所述天线板朝向所述工艺腔的一侧。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的等离子工艺设备，其特征在于，所述等离子工艺设备还包括电磁波生成组件，用于向所述天线板提供电磁波。