[发明专利]一种半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置及压膜拆膜方法有效

专利信息
申请号: 201910361283.5 申请日: 2019-04-30
公开(公告)号: CN111864529B 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 张广明;王婷婷;赵克宁;秦莉 申请(专利权)人: 潍坊华光光电子有限公司
主分类号: H01S5/02 分类号: H01S5/02;H01S5/02355
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 王楠
地址: 261061 山东省潍坊市奎文区*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体激光器 cos 快速 压膜拆膜 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:包括底座、圆座、旋转机构、圆盘、压膜拆膜机构;所述底座上侧设置有圆座,圆座上侧设置有圆盘,圆盘上设置有压膜拆膜机构,底座上固定设置有升降机构,所述圆盘与底座之间还设置有旋转机构,旋转机构用于控制圆盘的水平转动;所述底座下侧设置有地脚;

所述压膜拆膜机构包括压座、内圆环、外圆环、压环;压座固定设置在圆盘上,压座上向上依次设置有内圆环、外圆环、压环;压环与升降机构连接,升降机构用于控制压环的升降移动;

所述旋转机构包括旋转轮、第二滑块、第三气缸;旋转轮下端设有第二滑块,第二滑块一侧设有第三气缸,第三气缸一侧设有第二调节旋钮,第二滑块下设置有与其相适应的第二滑轨,电机固定设置在底座上,电机输出端与旋转轮相连接。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:所述升降机构包括第一气缸、升降杆、连接块;第一气缸固定设置在底座上,第一气缸上设有升降杆,升降杆上端设有连接块,连接块与压环相连;

升降机构还包括翻转电机,连接块与压环之间通过翻转电机连接,翻转电机的输出端与压环相连。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:所述半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置还包括锁紧机构,所述锁紧机构固定设置在底座上,锁紧机构包括支撑架、第一滑轨、第一滑块、挡销、第二气缸,圆盘下侧设有挡柱组,挡柱组包括两个挡柱,所述第一滑轨位于支撑架的上端,第一滑轨上端设有第一滑块,第一滑块上设有挡销,第二气缸固定设置在支撑架上,第二气缸输出端与挡销连接,第二气缸一端设有第一调节旋钮。

4.根据权利要求1所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:所述半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置还包括位置定位装置,位置定位装置包括有检测片、传感器,检测片位于圆盘下端,传感器设于圆座一端。

5.根据权利要求1所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:所述压座上依次设置有第一压座凸圆和第二压座凸圆,所述第一压座凸圆直径与内圆环外径尺寸相适应;第二压座凸圆直径与内圆环内径相适应。

6.根据权利要求1所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:所述压环内由上至下依次设置有第一凸环、第二凸环、第三凸环;第一凸环的直径尺寸与外圆环的外径尺寸相适应,第三凸环的直径尺寸与内圆环外径尺寸相适应,第二凸环的直径尺寸与内圆环外径尺寸相适应,第二凸环与第三凸环之间设有间隔环台,间隔环台的直径小于第二凸环的直径,第二凸环的高度尺寸大于内圆环的高度。

7.根据权利要求1所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,其特征在于:所述底座上设置有按钮组,所述按钮组包括启动按钮、翻转按钮,启动按钮和翻转按钮均固定安装在底座上,启动按钮与旋转机构、锁紧机构、升降机构相连,翻转按钮与翻转电机相连;所述底座下侧设置有地脚。

8.一种半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置的压膜方法,包括使用权利要求1-7任意一项权利要求所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,包括如下步骤:

(1)圆盘上设置至少2个压座,设置检测片的数量与压座相同,检测片的分布间隔与压座的分布间隔相同,在圆盘上端的压座上端分别放置一个内圆环;

(2)将每个内圆环的上端放置一片正方形白膜,把外圆环放置到白膜上端;

(3)启动旋转机构;

(4)旋转机构带动圆盘转动,检测片转动至传感器位置时,旋转机构复位、启动锁紧机构将圆盘锁紧;

(5)第一气缸带动压环向下移动,将外圆环、白膜和内圆环压制配合在一起;

(6)第一气缸和锁紧机构复位,再次启动旋转机构,旋转机构带动圆盘转动到下一个检测片移动至传感器位置;

(7)重复上述步骤(4)~(6),待整个装置上的外圆环、白膜与内圆环配合完成后,将压膜后的配合体取出下传到COS固晶工序,完成压膜工作。

9.一种半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置的拆膜方法,包括使用权利要求1-7任意一项权利要求所述的半导体激光器COS固晶快速压膜拆膜装置,包括如下步骤:

(1)圆盘上设有至少2个压座,设置检测片的数量与压座相同,检测片的分布间隔与压座的分布间隔相同,将外圆环、白膜与内圆环的配合体放置到圆盘的压座上端;

(2)启动翻转电机,翻转电机转动180度,从而使压环旋转180度;

(3)启动旋转机构;

(4)旋转机构带动圆盘转动,检测片转动至传感器位置时,旋转机构复位、启动锁紧机构将圆盘锁紧;

(5)第一气缸向下移动,将排满COS的白膜与内圆环和外圆环进行分离;

(6)第一气缸和锁紧机构复位,再次启动旋转机构,旋转机构带动圆盘转动到下一个检测片移动至传感器位置;

(7)重复上述步骤(4)~(6),待整个装置上的外圆环、白膜与内圆环都完成分离后,将排COS的白膜从装置取出后下传,将分离后的外圆环与内圆环取出以备压膜使用,完成拆膜工作。

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