[发明专利]内含硫化银量子点的微盘腔激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811193822.0 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109286130A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 廖晨 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 量子点 微盘 硫化银 激光器 制备 二氧化硅 量子态 简并 二氧化硅薄膜 高品质因子 点激光器 红外量子 环境友好 近红外光 品质因子 向上设置 硅基板 铅盐 涂覆 嵌入 替代 | ||
【权利要求书】：
1.一种内含硫化银量子点的微盘腔激光器，其特征在于：包括依次向上设置的硅基板(2)、硅圆柱(3)和内含硫化银量子点的二氧化硅圆盘(4)。
2.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的微盘腔激光器，其特征在于：所述内含硫化银量子点的二氧化硅圆盘(4)由二氧化硅圆盘和嵌入该二氧化硅圆盘中的硫化银量子点(1)组成。
3.根据权利要求2所述的内含硫化银量子点的微盘腔激光器，其特征在于：所述硫化银量子点(1)在二氧化硅圆盘中均匀分布。
4.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的微盘腔激光器，其特征在于：所述硫化银量子点(1)作为光增益介质。
5.根据权利要求1所述的内含硫化银量子点的微盘腔激光器，其特征在于：所述硅圆柱(3)上底面的面积小于内含硫化银量子点的二氧化硅圆盘(4)下底面的面积。
6.一种内含硫化银量子点的微盘腔激光器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)利用高温热分解法制备硫化银量子点；
(2)将步骤(1)得到的硫化银量子点分散于甲苯中，再将硫化银量子点的甲苯分散液与全氢聚硅氮烷混合，然后旋涂到硅基板上来获得内含量子点的二氧化硅膜；
(3)利用反应离子干法刻蚀将内含硫化银量子点的二氧化硅膜刻蚀成内含硫化银量子点的二氧化硅圆盘；
(4)用二氟化氙刻蚀二氧化硅圆盘下方的硅来获得支撑二氧化硅圆盘的硅圆柱。
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