[发明专利]MEMS致动系统和方法有效
申请号: | 201780068608.X | 申请日: | 2017-09-08 |
公开(公告)号: | CN110582828B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 刘晓蕾;M·伍;王桂芹;G·莫拉比托 | 申请(专利权)人: | 麦斯卓有限公司 |
主分类号: | H01H51/22 | 分类号: | H01H51/22 |
代理公司: | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人: | 王冬;赵锐 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mems 系统 方法 | ||
微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分,配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂,以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。
相关案件
本申请要求以下美国临时申请的权益:2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号;它们的内容通过引用并入本申请。
技术领域
本公开通常涉及致动器,更具体地,涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。
背景技术
如本领域所公知的,致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中,对于微型致动器来说适配在小尺寸、低功率和成本有限的这些应用内可能是有益的。
微机电系统(MEMS)技术在其最一般的形式中可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米变化。通常,MEMS致动器比传统致动器更紧凑,并且它们消耗更少的功率。
发明内容
发明#2
在一个实施方式中,微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分,配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂,以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。
以下特征可以包括其中一个或多个。主悬臂可包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。平面跨接结构可以配置为将中间悬臂部分的上表面连接到多个中间连杆的上表面。
在另一个实施方式中,微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分,配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂,以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆,其中所述多个中间连杆包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。主悬臂包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。
以下特征可以包括其中一个或多个。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。平面跨接结构可以配置为将中间悬臂部分的上表面连接到多个中间连杆的上表面。
在另一实施方式中,微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分、配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂、配置为连接中间悬臂部分和微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆,以及配置为将中间悬臂部分的上表面连接到所述多个中间连杆的上表面的平面跨接结构。主悬臂包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。
以下特征可以包括其中一个或多个。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。
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- 一种用于反射、透射、聚焦、散焦或在太赫频率范围内电磁辐射的波阵面校正的元件。所述元件包括导电片栅格,所述栅格包括有源区域,所述有源区域包括硫化物相变材料。硫化物材料可以处于非晶、结晶或部分结晶状态。所述栅格的分散特性(例如电阻抗、电钠、电容、电感)通过所存储的相位锥形的动作来影响入射电磁辐射的反射、透射、聚焦状态或波阵面特性中的一个或多个,所述相位锥形通过在所述元件的一个或多个方向上对一系列有源硫化物区域或域建立结晶度梯度来形成。栅格的分散特性通过其中所包含的有源硫化物区域的结构状态来确定,并且可以通过向硫化物材料提供能量来把一个或多个硫化物区域从一个结构状态变换到另一结构状态来重新配置所述特性。在优选实施例中,单个有源硫化物区域远小于所述元件的操作波长,以便在波长标度域中包括多个有源硫化物区域。在这些实施例中,可以通过在元件的一个或多个方向上单调增加或降低域平均分步结晶度来形成结晶度梯度,其中不需要在单个有源区域的分步结晶度上强加特定要求。在这些实施例中,域分步结晶度是对其中所包含的单个硫化物区域的统计平均值,并且可以在多态模式或二进制模式中实现相位锥形。所述元件可以是独立的、被支撑在绝缘衬底上或插入在两个或更多个绝缘材料之间。
- 一种衔铁定位可靠且更换方便的双工作气隙的极化继电器-200520084063.6
- 张仁义 - 厦门宏发电声有限公司
- 2005-06-09 - 2006-11-29 - H01H51/22
- 本实用新型公开一种衔铁定位可靠且更换方便的双工作气隙的极化继电器,该电磁继电器至少由底座部分、磁路部分、外壳组成。底座部分至少包括底座、动簧部分、静簧部分。磁路部分至少包括衔铁部分、线圈部分、隔磁片。线圈部分包括铁心、线圈。衔铁部分包括磁钢、两个衔铁、推动部分,磁钢位于两衔铁之间。衔铁、磁钢、铁心构成桥式磁路。桥式磁路的两个非工作气隙装有隔磁片,形成双工作气隙磁路,衔铁部分为磁路的动作部件,其转轴在非工作气隙侧。利用隔磁片的折弯及动簧实现衔铁部分的定位,同时增加隔磁片柔度、增加倒角方便衔铁部分的更换。
- 一种具有高灵敏度的双工作气隙的极化继电器-200520084061.7
- 张仁义 - 厦门宏发电声有限公司
- 2005-06-09 - 2006-10-18 - H01H51/22
- 本实用新型专利公开一种具有高灵敏度的双工作气隙的极化继电器,该电磁继电器至少由底座部分、磁路部分、外壳组成。底座部分至少包括底座、动簧部分、静簧部分。磁路部分至少包括衔铁部分、线圈部分。线圈部分包括铁心、线圈、隔磁片。衔铁部分包括磁钢、两个衔铁、推动部分,磁钢位于两衔铁之间。衔铁、磁钢、铁心构成桥式磁路。桥式磁路的两个非工作气隙装有隔磁片,形成双工作气隙磁路,衔铁部分为磁路的动作部件,其转轴在非工作气隙侧。
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