[发明专利]化学浴沉积装置及其沉积方法、废液回收系统

权利要求书

1.一种化学浴沉积装置，包括硫化镉反应槽，其特征在于，所述化学浴沉积装置还包括：

废液储存槽、制冷装置、过滤装置、化学液储存槽和补充供药装置；

所述废液储存槽的进液口与所述硫化镉反应槽的出液口相连；

所述废液储存槽的出液口与所述制冷装置的进液口相连；

所述制冷装置的出液口与所述过滤装置的进液口相连；

所述过滤装置的出液口与所述化学液储存槽的进液口相连；

所述补充供药装置用于向所述化学液储存槽补入化学品；

所述化学液储存槽的出液口与所述硫化镉反应槽的进液口相连。

2.根据权利要求1所述的化学浴沉积装置，其特征在于，还包括：冷却装置，包覆在所述废液储存槽的外壁上。

3.根据权利要求2所述的化学浴沉积装置，其特征在于，所述冷却装置中的冷却液为水。

4.根据权利要求1所述的化学浴沉积装置，其特征在于，所述化学液储存槽的出液口与所述硫化镉反应槽的进液口之间设置有第一调节阀；

所述化学液储存槽的进液口与所述补充供药装置的出液口之间设置有第二调节阀。

5.根据权利要求4所述的化学浴沉积装置，其特征在于，还包括电导率检测仪，设置在所述化学液储存槽中，用于测量所述化学液储存槽中的化学液的电导率。

6.根据权利要求5所述的化学浴沉积装置，其特征在于，还包括控制装置，用于根据所述电导率检测仪测量得到的电导率控制所述第二调节阀的启闭。

7.根据权利要求1所述的化学浴沉积装置，其特征在于，还包括低温维护装置，设置在所述化学液储存槽的外壁上，用于保持所述化学液储存槽内的温度处于设定的温度区间。

8.一种如权利要求1所述的化学浴沉积装置的沉积方法，其特征在于，包括：

将硫化镉反应槽中的硫化镉废液通入到废液储存槽中；

将降温后的废液通入到制冷装置中进行制冷；

将制冷后的废液通入到过滤装置中进行过滤；

将过滤后的废液通入到化学液储存槽中；

利用补充供药装置向化学液储存槽中的化学液加入化学品；

将所述化学液储存槽中的化学液通入到所述硫化镉反应槽中；以此循环进行沉积。

9.根据权利要求8所述的硫化镉层沉积方法，其特征在于，将所述化学液储存槽中的化学液通入到所述硫化镉反应槽中之前，所述方法还包括：

监测化学液储存槽中化学液的电导率，根据测得的电导率数据计算化学液中镉粒子的含量，从而得到化学品原料的浓度；

当所述化学品原料的浓度达到设定值时，控制第二调节阀关闭，从而停止向化学液储存槽中的化学液加入化学品。

10.一种废液回收系统，其特征在于，包括：废液储存槽、制冷装置、过滤装置和化学液储存槽；

所述废液储存槽的进液口用于与硫化镉反应槽的出液口相连；

所述废液储存槽的出液口与所述制冷装置的进液口相连；

所述制冷装置的出液口与所述过滤装置的进液口相连；

所述过滤装置的出液口与所述化学液储存槽的进液口相连。