[发明专利]TFT-LCD减薄镀膜生产线

说明书

本发明公开一种TFT‑LCD减薄镀膜生产线，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室，所述工艺室包括多个磁控溅射腔，所述磁控溅射腔设有旋转阴极，多个所述磁控溅射腔的旋转阴极不全位于同一侧；所述生产线还包括传送系统，所述传送系统包括磁导向摩擦传动装置。本发明的TFT‑LCD减薄镀膜生产线，可以适用于各种面积的基片溅射，镀膜效果好。

技术领域

本发明涉及玻璃镀膜结构技术领域，尤其涉及一种大面积的TFT-LCD减薄镀膜生产线。

背景技术

TFT-LCD是采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术，是液晶(LC)、无机和有机薄膜电致发光(EL和OEL)平板显示器的基础。TFT是在玻璃或塑料基板等非单晶片上(当然也可以在晶片上)通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜，通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路(LSIC)。采用非单晶基板可以大幅度地降低成本，是传统大规模集成电路向大面积、多功能、低成本方向的延伸。在大面积玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)开关性能的TFT比在硅片上制造大规模IC的技术难度更大。对生产环境的要求(净化度为100级)，对原材料纯度的要求(电子特气的纯度为99.999985％)，对生产设备和生产技术的要求都超过半导体大规模集成，是现代大生产的顶尖技术。

TFT-LCD面板由上下两个基板构成，上基板为CF基板，设置有CF(Color Filter，彩色滤光片)，用于产生颜色，下基板为TFT基板，设置有TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)矩阵，用来控制像素矩阵的灰阶显示，两个基板之间为液晶盒。给像素施加不同的驱动电压，液晶分子就会随着电压的大小发生不同角度的偏转，调整背光源入射光线的穿透率，产生不同的灰阶显示。CF侧通常设置有红、绿、蓝三原色构成的彩色滤光片矩阵，与TFT侧的薄膜晶体管矩阵一一对应，通过不同灰阶的红绿蓝进行混色产生不同的色彩和明暗度。

随着移动手机、平板电脑等电子消费品尺寸越来越大及轻薄化的趋势不断发展，对玻璃基板减薄的要求将日益提高。

显示面板经过减薄后具备主要两方面的优势：面板厚度减少(现阶段至少40％以上)；面板质量大幅提升，如反射性能及导电系数大幅提升。追求更纤细(Slimmer)的显示面板，首先带来的效益是可以增加电池容量与供电时效。现有的锂电池科技进步相当缓慢却又不可或缺，其电力储存容量与供电时间跟电池体积成正比。如果把LCD模组厚度减少25％，空出来的空间可以让锂电池容量增加10％，假使以1部智能手机使用1,200mAH锂聚合物电池来看，多出来的120mAH相当于增加了可以多看2小时电影的电量。

另一个效益则是减少重量，当显示面板的LCD模组厚度减少10％，整个装置重量可以减少15％，同时更纤细化将带动潮流。苹果的产品除了Interface好用之外，简洁与时尚(Stylish)的产品外型设计也是一个卖点。这几年从强调功能、规格的工程师思维产品(EngineerProduct)，已逐渐转变成强调生活应用，甚至以时尚外观供女性做为装饰品的一部分。

现有的卧式真空镀膜机生产线不能适用于减薄玻璃的镀膜。

发明内容

本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种TFT-LCD减薄镀膜生产线，克服了传统生产线，透过率范围不高，无传送室，基片装载架的传送速度转换比小，生产效率较低等缺陷，且适合用于各类显示面板、太阳能面板和装饰面板的透明导电膜、抗反射膜、高反射膜等大面积玻璃镀膜的生产。

为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

一种TFT-LCD减薄镀膜生产线，依次包括进口室、进口缓冲室、进口传送室、工艺室、出口传送室、出口缓冲室和出口室，所述工艺室包括多个磁控溅射腔，所述磁控溅射腔设有旋转阴极，多个所述磁控溅射腔的旋转阴极不全位于同一侧；所述生产线还包括传送系统，所述传送系统包括磁导向摩擦传动装置。