[发明专利]一种宽量程高精度流量传感器及制作方法

权利要求书

1.一种宽量程高精度流量传感器，包括封装总管道(1)，其特征在于：所述封装总管道(1)包括依次连接的封装总管道入口腔体(10)、封装总管分流腔体(11)与封装总管道出口腔体(12)，所述封装总管分流腔体(11)内设有粗分管道(2)与细分管道(3)，所述粗分管道(2)与细分管道(3)一端分别连通于封装总管道入口腔体(10)，所述粗分管道(2)与细分管道(3)另一端分别连通于封装总管道出口腔体(12)，所述粗分管道(2)与细分管道(3)内均设有热式流量测试装置。

2.根据权利要求1所述的一种宽量程高精度流量传感器，其特征在于：所述封装总管道入口腔体(10)的口径大小与封装总管道出口腔体(12)的口径大小相等，所述粗分管道(2)的口径小于封装总管道入口腔体(10)的口径，所述细分管道(3)小于粗分管道(2)的口径，所述粗分管道(2)与细分管道(3)的长度相等，所述粗分管道(2)与细分管道(3)采用上下平行结构设于封装总管分流腔体(11)内。

3.根据权利要求1所述的一种宽量程高精度流量传感器，其特征在于：所述热式流量测试装置由加热电阻(5)、温度传感器一(6)、温度传感器二(7)与芯片衬底(8)组成，所述加热电阻(5)设于芯片衬底(8)中心位置上，所述温度传感器一(6)与温度传感器二(7)分别对称设于加热电阻(5)两侧位置。

4.根据权利要求1所述的一种宽量程高精度流量传感器，其特征在于：所述热式流量测试装置包括热式流量测试装置一(40)与热式流量测试装置二(41)，所述热式流量测试装置一(40)设于粗分管道(2)中心位置，且与粗分管道(2)的管道壁齐平或稍突出管道壁一些，所述热式流量测试装置二(41)设于细分管道(3)中心位置，且与细分管道(3)的管道壁齐平或稍突出管道壁一些。

5.根据权利要求1所述的一种宽量程高精度流量传感器，其特征在于：所述粗分管道(2)与细分管道(3)内的热式流量测试装置的引线焊盘设于封装总管分流腔体(11)外壁上。

6.根据权利要求1～5所述的一种宽量程高精度流量传感器，其制作方法，步骤如下：

步骤一，首先，制造热式流量测试装置，采用硅晶圆作为芯片衬底(8)，通过氧化在硅片表面生长一层热二氧化硅薄膜，然后采用剥离工艺光刻形成加热电阻(5)、温度传感器一(6)与温度传感器二(7)的图形；

步骤二，采用磁控溅射法生长金属铂薄膜，利用剥离工艺形成加热电阻(5)、温度传感器一(6)与温度传感器二(7)的结构；

步骤三，通过机械铸模的方法，利用ABS塑料注塑形成封装总管道(1)的结构，在封装总管道入口腔体(10)中的粗分管道(2)与细分管道(3)中心段开槽，大小可以嵌入制造热式流量测试装置，且将热式流量测试装置引线焊盘留在封装总管道入口腔体(10)的外壁上，便于引线；

步骤四，采用环氧类灌封胶将热式流量测试装置一(40)与热式流量测试装置二(41)密封于粗分管道(2)与细分管道(3)上，从而实现了传感器的制造。