[发明专利]柔性显示基板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201710378410.3 | 申请日: | 2017-05-25 |
公开(公告)号: | CN107170758B | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 牛亚男;李春延;田宏伟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 于非凡;陈岚 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
1.一种柔性显示基板,包括:柔性基板,以及设置在所述柔性基板上的栅极、源漏极和多条导电布线,其中每条导电布线的表面在所述柔性显示基板的弯折区域设有多个凹槽,所述凹槽未完全穿透所述导电布线的厚度,并且所述柔性显示基板配置成在所述弯折区域沿所述柔性显示基板的厚度方向弯折,
其中在与所述柔性基板的表面垂直的方向上,每条导电布线在所述凹槽的尺寸小于所述弯折区域中除了所述凹槽之外的位置的尺寸,
其中在与所述柔性基板的表面平行并且与每条导线布线的延伸方向垂直的方向上,每条导电布线具有固定的尺寸。
2.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其中每条导电布线中的所述多个凹槽不连续地分布。
3.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其中每条导电布线中的所述多个凹槽沿导电布线的长度方向等间距分布。
4.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其中所述凹槽的深度为所述导电布线的厚度的10-90%,或者所述凹槽的宽度为所述导电布线的宽度的10-90%。
5.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其中所述导电布线与所述源漏极和所述栅极其中之一同层设置。
6.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其中所述柔性显示基板还包括设置在所述栅极和所述源漏极之间的层间电介质层,以及覆盖所述源漏极和所述导电布线的平坦化层。
7.一种显示装置,包括根据权利要求1-6中任意一项所述的柔性显示基板。
8.一种柔性显示基板的制作方法,包括:
准备柔性基板;
在所述柔性基板上形成栅极、源漏极和多条导电布线;以及
在所述柔性显示基板的弯折区域中,在每条导电布线的表面形成多个凹槽,其中所述凹槽未完全穿透所述导电布线的厚度,并且所述柔性显示基板配置成在所述弯折区域沿所述柔性显示基板的厚度方向弯折,其中在与所述柔性基板的表面垂直的方向上,每条导电布线在所述凹槽的尺寸小于所述弯折区域中除了所述凹槽之外的位置的尺寸,其中在与所述柔性基板的表面平行并且与每条导线布线的延伸方向垂直的方向上,每条导电布线具有固定的尺寸。
9.根据权利要求8所述的制作方法,其中所述凹槽的深度为所述导电布线的厚度的10-90%,或者所述凹槽的宽度为所述导电布线的宽度的10-90%。
10.根据权利要求8所述的制作方法,其中在所述柔性基板上形成栅极、源漏极和多条导电布线包括:在形成所述源漏极或所述栅极的同时,形成所述多条导电布线。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的