[发明专利]一种MEMS器件及其防吸附方法

说明书

本发明提供了一种MEMS器件及其防吸附方法，包括可动结构、不可动结构和振荡器；所述可动结构包括可动质量块和固定在所述可动质量块上的可动梳齿；所述不可动结构包括不可动基底以及固定在所述不可动基底上的至少两个固定梳齿；所述振荡器用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号，以使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力，使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开，从而解决了由于可动梳齿与固定梳齿吸附而影响MEMS器件正常运行的问题。

技术领域

本发明涉及微机电技术领域，更具体地说，涉及一种MEMS器件及其防吸附方法。

背景技术

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)，是采用微细加工技术将微传感器、控制器、制动器和电路集成于一体的系统。但是，由于MEMS部件的尺寸非常小，如从几个微米到数百微米不等，因此，当两个MEMS部件足够接近时，部件表面的原子吸附力或范德瓦尔斯的力会导致两个部件粘在一起，从而影响MEMS部件的正常运作。

下面以MEMS加速度计为例进行说明。如图1所示，MEMS加速度计包括可动结构10、不可动结构11、固定锚点12和弹性梁13，可动结构10包括可动质量块101和可动梳齿102，不可动结构11包括不可动基底110和固定梳齿111。当MEMS加速度计上有加速度输入时，可动结构10相对于不可动结构11移动；当加速度消失时，弹性梁13的恢复力可以将可动结构10拉回其原来静止状态时的位置。

但是，当可动结构10受到的加速度冲击较大时，连接在可动结构10上的可动梳齿102会移动到足够接近固定梳齿111的位置，从而导致可动梳齿102与固定梳齿111的吸附，如图2所示，固定梳齿111a与可动梳齿102发生了吸附。并且，当可动梳齿102与固定梳齿111发生吸附时，弹性梁13的恢复力并不能释放可动梳齿102与固定梳齿111之间的吸附力，即不能将可动结构10拉回其原来静止状态时的位置，从而导致MEMS加速度计的失效。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种MEMS器件及其防吸附方法，以解决由于MEMS器件的可动梳齿和固定梳齿吸附在一起，而影响MEMS器件正常运行的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种MEMS器件，包括可动结构、不可动结构和振荡器；

所述可动结构包括可动质量块和固定在所述可动质量块上的可动梳齿；

所述不可动结构包括不可动基底以及固定在所述不可动基底上的至少两个固定梳齿；

所述振荡器用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号，以使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力，使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开。

优选地，还包括多路电子切换开关；

所述多路电子切换开关包括多个输入端和一个输出端；

所述多个输入端与所述至少两个固定梳齿分别连接；

所述输出端与所述振荡器的一端相连；所述振荡器的另一端与所述可动梳齿相连；

所述多路电子切换开关用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，将所述振荡器和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿连通，以使所述振荡器向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号。

优选地，所述MEMS器件包括多个所述振荡器和多个所述多路电子切换开关，所述多路电子切换开关与所述振荡器一一对应设置。

优选地，还包括检测电路；