[发明专利]一种表面增强基底的制备与标定性能的方法

权利要求书

1.一种表面增强基底的制备方法，其特征在于，通过动态阴影沉积技术，利用电子束蒸发薄膜沉积系统，在高真空度条件下在干净的玻璃片上生长均匀倾斜排列的银纳米棒阵列，具体步骤为：

(1)将玻璃片切割成1×1cm2大小的正方形，浸泡于混合洗涤液中煮沸20min，取出后用二次去离子水冲洗三遍，氮气吹干后放入沉积室中；

(2)确认坩埚内蒸镀材料银和钛的体积是否占坩埚体积的70％，确认膜厚传感器的寿命是否大于30％，检查整机冷却水循环是否正常，样品台转动是否正常；

(3)在控制柜系统操作的真空界面中选择自动抽真空，约1.5小时后真空度达到5×10-7Torr后，进行基底的制备；

(4)设置材料参数、膜厚、速率以及选择传感器，使用一号电子枪以0.2nm/s蒸镀速率匀速沉积20nm厚的Ti薄膜，随后使用二号电子枪以0.3nm/s的速率沉积200nm厚的Ag薄膜。接着设置样品台角度，使样品台相对蒸汽源入射方向转动86°，继续使用二号电子枪以0.3nm/s的速率匀速沉积厚度为2000nm的银层。

2.根据权利要求1所述的一种表面增强基底的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述混合洗涤液为浓硫酸与双氧水的份数比为8：2。

3.一种标定根据权利要求1制备的一种表面增强基底性能的方法，其特征在于，将2uL浓度为10-5mol/L的BPE溶液滴加到根据权利要求1制备的一种表面增强基底上，自然风干后，检测其SERS信号，重复权利要求1所述的一种表面增强基底性能的方法制备20组基底，对每组基底中随机抽取6片进行了增强因子测试和计算，以验证基底的重复性。

4.根据权利要求3所述的一种标定根据权利要求1制备的一种表面增强基底性能的方法，其特征在于，检测SERS信号时，积分时间为1s，激光功率为30mW。