[发明专利]一种改良N型单晶硅棒特性的掺杂方法在审
| 申请号： | 201710009114.6 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN108277524A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张立平;梁永生;冉瑞应;李博一;金雪 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅原料 纯铝 单晶硅棒 掺杂 改良 单晶炉 加热器 熔化 电阻率分布 保护气体 电阻分布 高温熔化 缺陷产生 生长过程 石英坩埚 不良率 硅溶液 等径 电阻 放肩 分凝 停炉 引晶 收尾 装入 密封 生长 | ||
【权利要求书】：
1.一种改良N型单晶硅棒特性的掺杂方法，其特征在于，包括如下步骤：先按一定比例在硅原料中添加纯铝颗粒，然后将硅原料及纯铝颗粒装入单晶炉内的石英坩埚中，将单晶炉密封通入保护气体后，通过加热器将硅原料及纯铝颗粒熔化，最后经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉工序后，得到N型单晶硅棒。
2.如权利要求1所述的一种改良N型单晶硅棒特性的掺杂方法，其特征在于，所述纯铝颗粒与硅原料按照0.01-0.05g/100kg的比例添加到硅原料中。
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