[实用新型]磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201620785714.2 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN205803585U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈轶 | 申请（专利权）人： | 昆山迅立光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 阴极 磁场 移动 调节 装置 真空镀膜 设备 | ||
【说明书】：
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