[发明专利]OLED显示装置及其制作方法

说明书

本发明提供一种OLED显示装置及其制作方法，通过在红、绿、蓝色OLED器件的阳极层中分别设置第一、第二、第三透明半导体层，并且将所述第一、第二、第三透明半导体层设置为不同的厚度来实现红、绿、蓝色OLED器件的发光效率分别达到最佳，所述第一、第二、第三透明半导体层通过利用三道掩膜板进行等离子体增强化学气相沉积的方法沉积形成，与传统的OLED显示装置相比，本发明中分别设置于红、绿、蓝色OLED器件中的空穴传输层的厚度相等，可以采用一道普通金属掩膜板在同一道蒸镀制程中形成，由于利用FMM沉积无机膜的技术相对于沉积有机膜的技术更成熟且有更高的良率，所以从总体来讲，本发明的技术方案具有明显的制程优势。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种OLED显示装置及其制作方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。其优越性能和巨大的市场潜力，吸引了全世界众多厂家和科研机构投入到OLED显示面板的生产和研发中。

OLED器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极。OLED器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。具体的，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。

为了制备具有窄带发射的OLED显示面板，人们通过改变OLED显示面板的结构，制备OLED显示面板的法布里-珀罗(Fabry-Perot)光学微腔来获得高亮度的窄带发射。光学微腔不仅实现了窄带发射，而且还使得发射强度相对于无微腔结构的器件而言大大增强。常规的Fabry-Perot光学微腔结构需要两个反射镜面，一般采用金属-金属结构，因此Fabry-Perot光学微腔结构的微腔总光程受制于OLED显示面板中有机膜层的厚度及折射率。

具体的，对于全彩显示OLED显示装置来说，为了使红、绿、蓝色OLED器件分别达到最优化的发光效率，一般将不同颜色OLED器件中的空穴传输层设置为不同的厚度，来调节红、绿、蓝光的光程，利用Fabry-Perot共振原理计算出最佳光程，使红、绿、蓝色发光层分别位于第二反波节的位置，从而发光效率达到最大。这就要求所述红、绿、蓝色OLED器件的空穴传输层需要采用三道不同的精密金属掩膜板(FMM，Fine Metal Mask)并且通过三道蒸镀制程制备，从而增加了生产成本并延长了制程时间，同时由于制程的复杂性导致产品良率降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED显示装置，能够实现红、绿、蓝色OLED器件的发光效率分别达到最佳，并且制程工艺成熟，能够降低成本，提高产品良率。

本发明的目的还在于提供一种OLED显示装置的制作方法，能够实现红、绿、蓝色OLED器件的发光效率分别达到最佳，并且制程工艺成熟，能够降低成本，提高产品良率。

为实现上述目的，本发明提供一种OLED显示装置，包括基板、以及数个阵列排布于所述基板上的红色OLED器件、绿色OLED器件及蓝色OLED器件；

所述红色OLED器件、绿色OLED器件及蓝色OLED器件均包括在所述基板上从下到上依次设置的第一透明导电金属氧化物层、金属层、透明半导体层、第二透明导电金属氧化物层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层及阴极层；