[发明专利]一种超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2 有效
申请号: | 201611154994.8 | 申请日: | 2016-12-14 |
公开(公告)号: | CN108220896B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 刘冬梅;王强松;解国良 | 申请(专利权)人: | 有研工程技术研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/06;C22C9/06;C22C30/06;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘徐红 |
地址: | 101407 北京市怀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 摩擦系数 白铜 ni mos base sub | ||
1.一种具有超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2复合材料,其特征在于:该复合材料包括高韧性白铜基体、在基体表面通过多靶磁控溅射的方式交替溅射沉积形成的Ni纳米层和MoS2纳米层,靠近白铜基体的一层为Ni纳米层,最上层的为MoS2纳米层;
所述的白铜基体为热锻态白铜合金,其质量百分比组成为:镍:25.0~40.0%,锰:3~12%,锌:1~6%,钛:0.1~3.5%,铁:0.5~2%,铬:0.1~2%,余量为铜;
所述的热锻态白铜合金中不可避免杂质的质量百分比≤0.1%;
所述的Ni纳米层和MoS2纳米层的总厚度为3~6µm,每个Ni纳米层的厚度为9~11nm,每个MoS2纳米层的厚度为5~15nm。
2.根据权利要求1所述的具有超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2复合材料的制备方法,包括热锻态白铜基体制备、清洗基体、磁控溅射交替沉积Ni纳米层和MoS2纳米层,所述的磁控溅射交替沉积Ni纳米层和MoS2纳米层包括:将离子清洗后的白铜基体放入多靶磁控溅射仪中,先抽真空到本底真空度到1×10-4Pa以下,然后充氩气和氮气,在氩气、氮气混合气氛中交替进行Ni靶和MoS2靶溅射,通过溅射获得由多个Ni纳米层和MoS2纳米层交替叠加的多层膜,最终得到具有超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2复合材料。
3.根据权利要求2所述的具有超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2复合材料的制备方法,其特征在于:所述磁控溅射的工艺参数为:
所述的Ni靶和MoS2靶的尺寸均为Φ45×4mm,纯度为99.99wt.%;
所述的氩、氮混合气氛,总气压为0.2Pa-0.6Pa;氩气和氮气气流量均为30-70sccm;
Ni纳米层的溅射功率为180W,时间为60s;
MoS2纳米层的溅射功率为80W,时间为30s~120s;
靶基距为5-8cm;
基体温度为298℃-302℃。
4.根据权利要求2所述的具有超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2复合材料的制备方法,其特征在于:所述的热锻态白铜基体制备包括如下步骤:按合金成分配料后,在中频感应熔炼炉中熔铸白铜基体铸锭,将铸锭在600-700℃热处理20-28小时后,在500-700℃温度下进行三向锻造,总压下量为65%-75%,最后空冷至室温,制成高韧性白铜基体。
5.根据权利要求2所述的具有超低摩擦系数的白铜/Ni-MoS2复合材料的制备方法,其特征在于:所述的清洗基体包括:将热锻态白铜基体样品表面抛光,然后依次放入丙酮和无水乙醇中进行超声清洗25-35min;然后,将超声清洗后的白铜基体装进真空室,抽真空到低于6×10-4Pa后通入氩气,维持真空度在2-4Pa,用功率为80-100W射频电源对基体进行离子轰击25-35min进行离子清洗。
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