[发明专利]有机材料蒸镀设备和方法

说明书

本发明提供一种有机材料蒸镀设备和方法。本发明的有机材料蒸镀设备，其蒸发装置包括蒸发器皿、及导热球；所述蒸发器皿用于承载有机材料，所述导热球用于分散在有机材料中使有机材料受热均匀，在蒸镀过程中，所述导热球在有机材料内部均匀传热，从而能够平衡整个蒸镀过程中有机材料的热蒸发速率，有效提高蒸镀过程中有机材料热蒸发速率的稳定性，进而改善基板上的成膜均匀性，提高OLED器件质量。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机材料蒸镀设备和方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点，因而具有广阔的应用前景。

在OLED器件的制备过程中，往往需要利用有机小分子制备功能层，例如电子传输层(Electron Transport Layer，ETL)、空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)、空穴阻挡层(Hole Blocking Layer，HBL)、或发光层(Emitting Layer，EL)。在这类有机小分子材料的功能层的制备中，目前普遍采用热蒸镀的成膜方法，通过加热的方式将材料由固态通过升华或熔融变为蒸气状态，高速运动的气态分子到达玻璃基板并在基板上沉积固化，再变回为OLED材料的固体薄膜。具体地，就是将小分子材料置放于例如钨舟的器皿中，如图1所示，通过电加热装置110传递能量给钨舟120，再通过钨舟120将热量传递给小分子材料200，小分子材料200受热后，变成气态分子跑出钨舟120，穿过掩膜板300而沉积在基板400上，形成图案化的有机薄膜。

在热蒸镀过程中，小分子材料200热蒸发的速度非常重要，因为这关系到小分子材料200在上方基板400上沉积成膜的均匀性。而由于小分子材料200在钨舟120这样的器皿中放置时，本身的传热速率并不快，靠近中心区域的小分子材料200温度上升较慢，导致小分子材料200热蒸发的速度存在不稳定的状况。同时，对于升华型的小分子材料200，随着加热的进行，升华一定时间后小分子材料200与钨舟120壁之间会形成空隙，空隙形成后，小分子材料200需要加热到更高的温度才可以达到升华的速率，并且还容易发生塌陷，从而使得热蒸发速度剧烈波动。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有机材料蒸镀设备，蒸发装置包括用于分散于有机材料中而使有机材料受热均匀的导热球，能够平衡整个蒸镀过程中有机材料的热蒸发速率。

本发明的目的还在于提供一种有机材料蒸镀方法，通过向有机材料中掺杂导热球，改善有机材料热蒸发速率的稳定性，进而改善基板上的成膜均匀性，提高OLED器件质量。

为实现上述目的，本发明提供一种有机材料蒸镀设备，包括：加热装置、及设于加热装置上的蒸发装置；

所述蒸发装置包括蒸发器皿、及导热球；所述蒸发器皿用于承载有机材料，所述导热球用于分散在有机材料中使有机材料受热均匀。

所述导热球的粒径为1μm-100μm。

所述导热球为核壳结构，包括内核体、及包覆内核体的导热层。

所述导热层为碳纳米管层、石墨烯层、或陶瓷层；

所述内核体为聚合物微球、或SiO₂微球。

所述导热层为金属层，所述内核体为SiO₂微球，所述导热球由熔融的金属材料均匀地包覆SiO₂微球而制得。

所述导热球为金属微球。

所述蒸发器皿为钨舟。