[发明专利]用于晶片级器件辐射效应试验的X射线辐照测试设备在审
申请号: | 201610516216.2 | 申请日: | 2016-07-04 |
公开(公告)号: | CN106199372A | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 李豫东;于新;于刚;文林;何承发;郭旗 | 申请(专利权)人: | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
主分类号: | G01R31/265 | 分类号: | G01R31/265;G01R31/303 |
代理公司: | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所 65106 | 代理人: | 张莉 |
地址: | 830011 新疆维吾尔*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 晶片 器件 辐射 效应 试验 射线 辐照 测试 设备 | ||
【权利要求书】:
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